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本发明公开了一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室及其制作工艺，属于MEMS工艺技术领域；所述防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室包括基底、墙壁、发热电阻层和喷孔板，所述基底上设置进墨通道，所述墙壁内部设置压力腔，所述压力腔底部设置发热电阻层，所...
该专利属于苏州印科杰特半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州印科杰特半导体科技有限公司授权不得商用。

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