【技术实现步骤摘要】
基于半导体基底飞秒光制备微纳结构实现超疏水功能的方法
本专利技术是针对半导体基底实现超疏水的一种方法，特别是涉及利用飞秒激光在镀有贵金属膜的半导体材料表面制备微纳结构以实现超疏水功能的方法，其中的贵金属起到了一个辅助作用，进一步增加了表面粗糙度。该方法提出了一种创新思路，利用飞秒激光加工技术对半导体材料表面进行改性，使其从亲水转变为超疏水。该方法属于基于超快激光对半导体材料表面改性的研究，可应用于微流控和生物芯片中，属于表面改性
技术介绍
具有超疏水特性的生物，如荷叶、蝉翼和沙漠甲虫背都表现出极强的拒水能力，这样的表面与水的静态接触角通常高于150°和滚动角低于10°，被称为超疏水表面。对荷叶表面结构形貌的研究表明，表面润湿性差是表面微纳米凹凸性和化学物质共同作用的结果。荷叶表面有许多微米级的小乳突,而这些乳突及乳突之间又被众多纳米级的蜡晶所覆盖。这种双层结构，再加上覆盖荷叶的蜡层，使液滴在其表面处于Cassie状态，液滴不能进入荷叶的微米结构间距内部，所以不能浸润荷叶表面，从而实现超疏水的效果。此外，荷叶表面的水...
【技术保护点】
1.基于半导体基底飞秒光制备微纳结构实现超疏水功能的方法，其特征在于：包括以下步骤：/n1)采用热蒸镀法或磁控溅射法在半导体材料表面镀金属膜；/n2)利用飞秒激光微纳加工技术在镀有金属膜的半导体表面制备微纳结构。/n
【技术特征摘要】
1.基于半导体基底飞秒光制备微纳结构实现超疏水功能的方法，其特征在于：包括以下步骤：
1)采用热蒸镀法或磁控溅射法在半导体材料表面镀金属膜；
2)利用飞秒激光微纳加工技术在镀有金属膜的半导体表面制备微纳结构。
2.根据权利要求1所述的基于半导体基底飞秒光制备微纳结构实现超疏水功能的方法，其特征在于，在镀有金属膜的半导体材料表面实现超疏水功能。
3.根据权利要求2所述的基于半...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世炳，王胜男，宋海英，王冰，吴坚，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
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