一种多通道半导体晶圆筛选设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种多通道半导体晶圆筛选设备。包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置。本发明专利技术的有益之处：采用光学检测晶圆的缺陷，并根据检测结果将晶圆分类放置，设备检测分类上料可自动化运行，无需人工，可提高生产效率降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种多通道半导体晶圆筛选设备
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种多通道半导体晶圆筛选设备。
技术介绍
晶圆缺陷检测是保证产品良率的重要的步骤之一，对于检测精度和速度有较高要求，目前国内通常采用进口设备，因进口设备价格高昂，交期长，无法满足国内快速反应的生产节奏。现有技术的缺点：1)晶圆测试机不稳定，误判率高；2)难以检测微小缺陷；3)料盒只能存放少量晶圆，需人工频繁更换料盒，影响检测效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供一种多通道半导体晶圆筛选设备，以克服目前现有技术存在的上述不足。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置；所述检测单元包括检测单元固定安装座、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置；/n所述检测单元包括检测单元固定安装座、设置在检测单元固定安装座上的旋转电机、设置在旋转电机端部的旋转载台、设置在检测单元固定安装座端部的感应器安装块、设置在所述感应器安装块上的缺陷检测器以及设置在所述感应器安装块上的位置补正器，所述缺陷检测器对应着所述旋转载台设置，所述位置补正器设置在所...

【技术特征摘要】
1.一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置；
所述检测单元包括检测单元固定安装座、设置在检测单元固定安装座上的旋转电机、设置在旋转电机端部的旋转载台、设置在检测单元固定安装座端部的感应器安装块、设置在所述感应器安装块上的缺陷检测器以及设置在所述感应器安装块上的位置补正器，所述缺陷检测器对应着所述旋转载台设置，所述位置补正器设置在所述旋转载台的上方位置，所述旋转载...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立江，袁丹，
申请(专利权)人：苏州普洛泰科精密工业有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32