【技术实现步骤摘要】
一种先进的测量装置
本技术涉及芯片制造
,更具体的说,尤其涉及一种先进的测量装置。
技术介绍
在芯片制造过程中,COW厚片(研磨切割之前)在研磨过程中的厚度,需要每片监控,并且需要监控五个位置(上中下左右),但现有测量装置只能对单独一位置的厚度进行测量,测量五个位置需要来回移动产品并记录数据,操作流程较为繁琐,在使用时存在诸多不便。有鉴于此,针对现有的问题予以研究改良,提供一种先进的测量装置,旨在通过该技术,达到解决问题与提高实用价值性的目的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种先进的测量装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题和不足。为实现上述目的,本技术提供了一种先进的测量装置,由以下具体技术手段所达成:一种先进的测量装置,包括:底座、产品摆放台、支撑杆、横梁、第一锁紧旋钮、第二锁紧旋钮、拉杆、手柄、支架、第三锁紧旋钮、厚度测试仪;所述底座为矩形板状结构,且产品摆放台设置在底座的上方;所述支撑杆安装在产品摆放台的一侧,且支撑杆与底座通过插接方式连接;所述横梁的一端套入安装在支 ...
【技术保护点】
1.一种先进的测量装置,包括:底座(1)、产品摆放台(2)、支撑杆(3)、横梁(4)、第一锁紧旋钮(5)、第二锁紧旋钮(6)、拉杆(7)、手柄(8)、支架(9)、第三锁紧旋钮(10)、厚度测试仪(11);其特征在于:所述底座(1)为矩形板状结构,且产品摆放台(2)设置在底座(1)的上方;所述支撑杆(3)安装在产品摆放台(2)的一侧,且支撑杆(3)与底座(1)通过插接方式连接;所述横梁(4)的一端套入安装在支撑杆(3)上,且横梁(4)与支撑杆(3)通过第一锁紧旋钮(5)锁紧固定;所述第一锁紧旋钮(5)安装在横梁(4)一端的前侧,且第一锁紧旋钮(5)与横梁(4)拧接连接;所述拉 ...
【技术特征摘要】
1.一种先进的测量装置,包括:底座(1)、产品摆放台(2)、支撑杆(3)、横梁(4)、第一锁紧旋钮(5)、第二锁紧旋钮(6)、拉杆(7)、手柄(8)、支架(9)、第三锁紧旋钮(10)、厚度测试仪(11);其特征在于:所述底座(1)为矩形板状结构,且产品摆放台(2)设置在底座(1)的上方;所述支撑杆(3)安装在产品摆放台(2)的一侧,且支撑杆(3)与底座(1)通过插接方式连接;所述横梁(4)的一端套入安装在支撑杆(3)上,且横梁(4)与支撑杆(3)通过第一锁紧旋钮(5)锁紧固定;所述第一锁紧旋钮(5)安装在横梁(4)一端的前侧,且第一锁紧旋钮(5)与横梁(4)拧接连接;所述拉杆(7)插接安装在横梁(4)的另一端,且拉杆(7)与横梁(4)通过第二锁紧旋钮(6)锁紧固定;所述第二锁紧旋钮(6)安装在横梁(4)另一端的前侧,且第二锁紧旋钮(6)与横梁(4)拧接连接;所述手柄(8)通过螺栓固定安装在拉杆(7)的顶端;所述支架(9)安装在拉杆(7)的底部,且支架(9)与拉杆(7)通过插接方式连接;所述厚度测试仪(11)插接安装在支架(9)上,且厚度测试仪(11)与支架(9)通过第三锁紧旋钮(10)锁紧固定;所述第三锁紧...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭祖福,官婷,
申请(专利权)人:湘能华磊光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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