一种柔性调节机构和夹具制造技术

本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种柔性调节机构和夹具，包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性调节机构和夹具
本申请涉及半导体加工设备
，更具体的说，特别涉及一种柔性调节机构和夹具。
技术介绍
在半导体封装设备、功率器件夹具领域中，需要在焊接工艺的工位上对功率器件进行固定。现有夹具存在的问题：功率器件两侧相对高度固定连接，更换功率器件时，需要对两侧整体进行拆卸后调整再锁紧，工作繁琐且误差较大(调整后高度和锁紧后高度存在误差)，不容易观察；压力调节仅依赖于软件控制，容易出现误操作等现象。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种柔性调节机构和夹具，将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量。为了解决以上提出的问题，本技术实施例提供了如下所述的技术方案：一种柔性调节机构，包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。进一步地，所述底部支撑板上设有螺纹孔，所述调节件为设于所述螺纹孔内的螺栓，所述螺栓与所述侧面支撑板连接。进一步地，所述底部支撑板和侧面支撑板之间设有弹性件。进一步地，所述弹性件为多组。进一步地，所述弹性件为弹簧，所述底部支撑板上设有弹簧压板，所述弹簧设于所述弹簧压板与所述侧面支撑板之间。进一步地，所述侧面支撑板设有通槽，所述弹簧压板与所述通槽的槽底形成弹簧的可压缩及缓冲空间。>进一步地，所述底部支撑板上设有通孔，所述弹簧安装于所述通孔内。进一步地，所述底部支撑板上设有交叉滚子导轨。进一步地，所述侧面支撑板上设有直线导轨。为了解决以上提出的技术问题，本技术实施例还提供了一种夹具，采用了如下所述的技术方案：一种夹具，包括动力源、压爪及如上所述的柔性调节机构，所述压爪设于所述侧面支撑板上，所述动力源驱动所述柔性调节机构在竖直方向移动。与现有技术相比，本技术实施例主要有以下有益效果：一种柔性调节机构，将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。附图说明为了更清楚地说明本技术的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中柔性调节机构的结构示意图；图2为本技术实施例中柔性调节机构的爆炸图；图3为本技术实施例中夹具的结构示意图；图4为图3中A－A处的剖面图。附图标记说明：1、底部支撑板；2、侧面支撑板；3、螺纹孔；4、弹性件；5、弹簧压板；6、通槽；7、通孔；8、交叉滚子导轨；9、直线导轨；10、动力源；11、压爪。具体实施方式除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。为了使本领域技术人员更好地理解本技术方案，下面将参照相关附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例一种柔性调节机构，如图1和图2所示，包括底部支撑板1、侧面支撑板2和调节件；结合图3，所述侧面支撑板2为两个并供压爪11安装，所述侧面支撑板2设于所述底部支撑板1两侧，所述调节件设于所述底部支撑板1上，调节所述侧面支撑板2在竖直方向的位置。本技术实施例提供的柔性调节机构，将单一的刚性零件拆分为多个零件，即底部支撑板1和两个侧面支撑板2，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板2在竖直方向的位置，以调节压爪11在竖直方向的位置，从而可以对压爪11对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量。本技术实施例中，所述底部支撑板1上设有螺纹孔3，所述调节件为设于所述螺纹孔3内的螺栓，所述螺栓与所述侧面支撑板2连接。通过螺栓调节侧面支撑板2在竖直方向的位置，以调节压爪11在竖直方向的位置，从而通过机械方式可以直接调节压爪11对功率器件的压力大小。所述底部支撑板1和侧面支撑板2之间设有弹性件4。所述弹性件4为多组，本技术实施例中，弹性件4设置为三组，在其他实施例中，也可设置为一组、两组或者三组以上。所述弹性件4为弹簧，所述底部支撑板1上设有弹簧压板5，所述弹簧设于所述弹簧压板5与所述侧面支撑板2之间。底部支撑板1和侧面支撑板2之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。所述侧面支撑板2设有通槽6，结合图4，所述弹簧压板5与所述通槽6的槽底形成弹簧的可压缩及缓冲空间。所述底部支撑板1上设有通孔7，所述弹簧安装于所述通孔7内。所述底部支撑板1上设有交叉滚子导轨8，为底部支撑板1在竖直方向提供导向。所述侧面支撑板2上设有直线导轨9，为侧面支撑板2在竖直方向提供导向。本技术实施例提供的柔性调节机构，将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板2在竖直方向的位置，以调节压爪11在竖直方向的位置，从而可以对压爪11对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板1和侧面支撑板2之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。为了解决以上提出的技术问题，本技术实施例还提供了一种夹具，采用了如下所述的技术方案：一种夹具，如图3和图4所示，包括动力源10、压爪11及如上所述的柔性调节机构，所述压爪11设于所述侧面支撑板2上，所述动力源10驱动所述柔性调节机构在竖直方向移动。本技术实施例中，动力源10为电机，电机输出轴上设有齿轮，电机通过齿轮和凸轮机构，带动与侧面支撑板2相连的连接板在竖直方向移动，带动侧面支撑板2在竖直方向移动，从而带动压爪11在竖直方向移动，从而实现对产品的夹持；在其他实施例中，动力源10也可为气缸或者电机丝杆机构。本技术实施例提供的夹具，将柔性调节机构中单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板2在竖直方向的位置，以调节压爪11在竖直方向的位置，从而可以对压爪11对功率器件的压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性调节机构，其特征在于，/n包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；/n所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性调节机构，其特征在于，
包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；
所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。


2.根据权利要求1所述的柔性调节机构，其特征在于，
所述底部支撑板上设有螺纹孔，所述调节件为设于所述螺纹孔内的螺栓，所述螺栓与所述侧面支撑板连接。


3.根据权利要求1所述的柔性调节机构，其特征在于，
所述底部支撑板和侧面支撑板之间设有弹性件。


4.根据权利要求3所述的柔性调节机构，其特征在于，
所述弹性件为多组。


5.根据权利要求3所述的柔性调节机构，其特征在于，
所述弹性件为弹簧，所述底部支撑板上设有弹簧压板，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈祥，
申请(专利权)人：深圳市开玖自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44