边料部的除去方法及基板加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了能够抑制断裂端面的伤痕或不良品的产生的边料部的除去方法及基板加工装置。本发明专利技术的方法是从基板(M)除去从所述基板的边缘向内侧凹陷的边料部(2)的方法，包括：第一工序，加工成为产品部(1)与边料部(2)的边界线的边界划线线条(S)；第二工序，在边料部(2)侧的表面，使具有平坦的圆周面的按压辊(4)沿着边界划线线条(S)的附近一边描绘重复接近和远离所述边界划线线条的轨迹(K)一边按压行进，使边界划线线条(S)预断开或使其变脆弱；以及第三工序，将边料部(2)向从产品部(1)离开的方向拉拽而除去该边料部。方向拉拽而除去该边料部。方向拉拽而除去该边料部。

【技术实现步骤摘要】
边料部的除去方法及基板加工装置


[0001]本专利技术涉及从由玻璃等脆性材料构成的基板分离除去凹陷成凹状的边料部的方法及基板加工装置。

技术介绍

[0002]一般而言，在从成为母材的基板切出成为产品的单位基板时，需要将不需要的边料部分分离除去(例如参照专利文献1)。通常，对于分离边料部而言，以刀轮或激光加工成为基板与边料部的边界线的划线线条，之后，使边料部弯曲或向分离方向拉拽等而从单位基板分离。
[0003]对于成为产品的单位基板(以下称为产品部)而言，如图1所示，在产品部1的边缘1a处存在具有后部的宽度依次变窄的梯形形状的凹陷部3的结构。此时，以往大多采用如图6所示的方法，即，在凹陷部形成前的基板M通过刀轮加工成为边料边界线的梯形形状的划线线条S，之后，以夹盘等抓住边料部2向拉开的方向拉拽，由此将边料部2从产品部1除去。
[0004]通常，通过刀轮形成的划线线条S由表示刀轮的切入痕迹的肋标记以及从肋标记向基板厚度方向浸透的垂直裂纹形成。垂直裂纹的深度通常为基板厚度的80％～95％，厚度方向的一部分以非分离状态残留。因此，若将通过以梯形形状进入的划线线条S划分的边料部2以上述拉拽等加工方法分离，则在产品部1的断裂端面部分会产生鞘尾或缺口、破碎痕等伤痕，存在加工品质大幅降低的问题。特别是，在梯形形状的左右侧边部分通过断裂端面彼此的摩擦等而经常发生该现象。
[0005]因此，代替上述方法，如图10及图11所示，已知有如下方法：在梯形形状的边料部2加工斜向延伸的边料分割用划线线条S4，将边料部分割为多个，从靠前的边料依次除去，由此分散施加于基板与边料部的边界划线线条的断裂时的应力，缓和上述的在断裂端面产生伤痕。
[0006]另外，如图2所示，对于产品部而言，在产品部21的边缘21a处存在具有开口为
“コ”
字形的凹陷部23的结构。此时，如图12所示，虽在凹陷部形成前的基板M通过刀轮加工成为边料边界线的
“コ”
字形的划线线条S1，之后除去边料部22，但由于边料部22的左右侧边平行，因此仅以夹盘等抓住边料而向分离方向拉开，边料部左右侧边和与其邻接的产品部1的断裂面会相互摩擦而在产品部产生鞘尾或缺口、或不规则的水平方向的龟裂等伤痕，存在成品率不佳的问题。
[0007]因此，本专利技术人等尝试了如下方法：如图13所示，通过分割用划线线条S2、S3将边料部22以下述方式分割成三个边料部件，依序从靠前的边料部件分离除去。
[0008]即，尝试了如下方法：划分成三个边料部件，即边料部件22A以及左右两个边料部件22B、22C，所述边料部件22A是将边料部22的被开放的边缘22a的一部分作为底边的等腰三角形，其顶角为90
°
，通过形成为三角形的顶部位于边料部22的后部的分割用划线线条S2划分而成，所述边料部件22B、22C是将除了该三角形边料部件以外的其他边料部通过从三角形的顶部附近倾斜延伸至与所述边缘22a平行的边界划线线条S1的分割用划线线条S3划
分而成的。然后，在拉拽靠前的三角形边料部件22A而进行除去之后，沿从产品部1离开的方向即箭头方向拉拽左侧的边料部件22B进行除去，最后，向箭头方向拉拽剩余的边料部件22C进行除去。
[0009]现有技术文献
[0010]专利文献
[0011]专利文献1：日本专利第53744545号公报

技术实现思路

[0012]专利技术要解决的问题
[0013]但是，即使以如上所述的方式将边料部分割成多个，由于各个边料部与产品部的边界划线线条处的垂直裂纹的浸透深度不变，因此在断裂后仍然残留与上述同样的伤痕。
[0014]此外，如图13所示，通过将边料部件22B和22C以从产品部离开的方式沿倾斜方向拉出，能够减少上述的伤痕的产生。但是，在分别分离各边料部件时，有时会伴随着较硬的冲击，特别是在拔出三角形边料部件20A时，其他边料部件22B、22C会伴随而受到拉拽方向的力而从产品部1部分地分离，在除去边料部后，经常发生产品断裂面残留有鞘尾或缺口等伤痕，而无法得到充分满足的结果。
[0015]因此，本专利技术鉴于上述课题，其目的在于提供一种能够在抑制鞘尾或缺口等伤痕产生的状态下从产品部分离除去凹陷的边料部的新方法及装置。
[0016]用于解决问题的方案
[0017]为了解决上述问题，在本专利技术的一方式中采用了如下的技术方法。即，本专利技术是一种从基板除去从所述基板的边缘向内侧凹陷的边料部的方法，包括：第一工序，加工成为所述基板的产品部与所述边料部的边界线的边界划线线条；第二工序，在所述边料部侧的表面，使具有平坦的圆周面的按压辊沿着所述边界划线线条的附近一边描绘重复接近和远离所述边界划线线条的轨迹一边按压行进；以及第三工序，将所述边料部向从所述产品部离开的方向拉拽而除去该边料部。
[0018]在此，优选的是，作为所述按压辊的行进轨迹的波形是间距为1～10mm的波状形状的曲线，并且与所述边界划线线条的间隔为0.3～2.0mm。
[0019]另外，优选的是，所述按压辊的直径为1～3mm，且前端宽度为0.1～0.7mm，以10～20N的荷重一边按压边料部表面一边以5～20mm/秒的速度行进。
[0020]另外，本专利技术从另一观点来看，其特征在于，提供一种基板加工装置，用于从基板除去从所述基板的边缘向内侧凹陷的边料部，所述基板加工装置具备：工作台，载置并保持所述基板；划线线条加工单元，对载置在所述工作台上的基板加工成为所述边料部与产品部的边界线的边界划线线条；以及按压辊，在所述边料部侧的表面，沿着所述边界划线线条的附近一边描绘重复接近和远离所述边界划线线条的轨迹一边按压行进。
[0021]另外，为了解决上述课题，在本专利技术的其他方式中采用了如下的技术方法。即，本专利技术是一种从基板除去从所述基板的边缘朝向内侧凹陷的边料部的方法，包括：第一工序，加工成为所述基板的产品部与所述边料部的边界线的边界划线线条；以及第二工序，加工将所述边料部区分为多个边料部件的分割用划线线条，所述多个边料部件的至少一个边料部件面向所述边料部的被开放的边缘的一部分，通过所述分割用划线线条进行区分而形
成，所述边料部除去方法还包括：第三工序，在所述边料部表面，使具有平坦的圆周面的按压辊沿着所述分割用划线线条的附近一边描绘重复接近和远离所述分割用划线线条的轨迹一边按压行进；以及第四工序，在拉拽面向所述边料部的被开放的边缘的一部分的所述边料部件而进行分离除去后，针对剩余的边料部件从靠前的边料部件依次向从所述产品部离开的方向拉拽而进行分离除去。
[0022]专利技术效果
[0023]在本专利技术的一方式中，使按压辊沿着边界划线线条的附近一边描绘重复接近和远离边界划线线条画的轨迹一边按压行进，从而在边界划线线条预断开后除去边料部，因此能够以较小的力容易地分离边料部，由此能够抑制断裂部分的鞘尾、破碎痕等伤痕的产生，从而能够得到高品质的产品。
[0024]另外，在本专利技术的其他方式中，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边料部除去方法，其特征在于，从基板除去从所述基板的边缘向内侧凹陷的边料部，所述边料部除去方法包括：第一工序，加工成为所述基板的产品部与所述边料部的边界线的边界划线线条；第二工序，在所述边料部侧的表面，使具有平坦的圆周面的按压辊沿着所述边界划线线条的附近一边描绘重复接近和远离所述边界划线线条的轨迹一边按压行进；以及第三工序，将所述边料部向从所述产品部离开的方向拉拽而除去该边料部。2.根据权利要求1所述的边料部除去方法，其特征在于，所述按压辊的行进轨迹是间距为1～10mm的波形的曲线，并且与所述边界划线线条的间隔为0.3～2.0mm。3.根据权利要求1或2所述的边料部除去方法，其特征在于，所述按压辊的直径为1～3mm，且前端宽度为0.1～0.7mm，以10～20N的荷重一边按压边料部表面一边以5～20mm/秒的速度行进。4.根据权利要求1至3中任一项所述的边料部除去方法，其特征在于，所述边料部是将后部的宽度设为较窄的梯形形状。5.一种基板加工装置，其特征在于，对从基板的边缘向内侧凹陷的边料部进行加工，具备：工作台，载置并保持所述基板；划线线条加工单元，对载置在所述工作台上的基板加工成为所述边料部与产品部的边界线的边界划线线条；以及按压辊，在所述边料部侧的表面，沿着所述边界划线线条的附近一边描绘波形的轨迹一边按压行进。6.一种边料部除去方法，其特征在于，从基板除去从所述基板的边缘朝向内侧凹陷的边料部，包括：第一工序，加工成为所述基板的产品部与所述边料部的边界线的边界划线线条；以及第二工序，加工将所述边料部区分为多个边料部件的分割用划线线条，所述多个边料部件的至少一个边料部件面向所述边料部的被开放的边缘的一部分，通过所述分割用划线线条进行区分而形成，所述边料部除去方法还包括：第三工序，在所述边料部表面，使具有平坦的圆周面的按压辊沿着所述分割用划线线条的附近一边描绘重复接近和远离所述分割用...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川智子，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：