【技术实现步骤摘要】
一种双运动台精密协同控制系统及方法
[0001]本专利技术涉及一种控制系统及方法，尤其是一种双运动台精密协同控制系统及方法，属于超精密装备制造领域。
技术介绍
[0002]超精密装备在工作过程中，往往需要多个机构协同配合来满足复杂的工艺需求，而且协同运动精度具有较高要求。以我国正在研发的浸没式光刻机为例，为了满足成像精度要求，匀速曝光过程中，掩模台与工件台必须按4:1的轨迹关系在扫描方向上协同运动，同步误差要满足MA(Moving Average)<0.5nm，MSD(Moving Standard Deviation)<5nm的严苛要求。
[0003]我国现有节点光刻机所采用的“PID反馈+加速度前馈”的控制策略由于受限于运动平台机械带宽和模型精度，已经无法满足如此苛刻的精度要求，亟需研究新的协同控制系统及方法。美国加州大学、荷兰埃因霍温理工大学、我国的清华大学等国际著名高校曾将迭代学习控制方法引入到光刻机掩模台与工件台在扫描方向的协同运动中，但是现有方法往往仅能提升单个运动台的伺服精度...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双运动台精密协同控制系统，其特征在于：包括轨迹生成器C
r
、运动台1的闭环系统以及运动台2的闭环系统，所述运动台1的闭环系统包括反馈控制器C1、前馈控制信号e
f1
、运动台1的模型P1，所述运动台2的闭环系统包括反馈控制器C2、前馈控制信号e
f2
、运动台2的模型P2，所述轨迹生成器C
r
生成运动台1的期望运动轨迹y
d1
及运动台2的期望运动轨迹y
d2
，所述运动台2的期望运动轨迹y
d2
与所述运动台1的期望运动轨迹y
d1
满足关系式y
d2
＝γy
d1
，γ为比例系数，运动台1的闭环系统根据运动台1的期望运动轨迹y
d1
减去运动台1的实际运动轨迹y1，得到运动台1的伺服误差e1，运动台2的闭环系统根据运动台2的期望运动轨迹y
d2
减去运动台2的实际运动轨迹y2，得到运动台2的伺服误差e2，所述运动台1的伺服误差e1加上所述前馈控制信号e
f1
得到信号e
c1
，所述信号e
c1
经过反馈控制器C1得到控制信号u1，所述控制信号u1作用于运动台1的模型P1，得到所述运动台1的实际运动轨迹y1，所述运动台2的伺服误差e2加上所述前馈控制信号e
f2
得到信号e
c2
，所述信号e
c2
经过反馈控制器C2得到控制信号u2，所述控制信号u2作用于运动台2的模型P2，得到所述运动台2的实际运动轨迹y2，协同运动误差2.根据权利要求1所述的一种双运动台精密协同控制系统，其特征在于：所述运动台1的模型P1通过对运动台1的执行器、驱动对象和测量传感器建模得到，所述运动台2的模型P2通过对运动台2的执行器...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋法质，刘杨，刘凯鑫，张晓辉，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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