一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提出一种MEMS电容式触觉压力传感器，包括：衬底；绝缘层，设置在所述衬底上；电极，设置在所述绝缘层上；电介质层，设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，设置在所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极。本发明专利技术所提出的MEMS电容式触觉压力传感器主要依赖电容电极间的面积变化来响应触觉压力的变化，相比于现有的通过电极间距变化来响应触觉压力变化的MEMS触觉压力传感器，具有高线性度、高灵敏度的优点。且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。制备。制备。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及微机电系统（MEMS）领域，具体涉及一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]触觉压力传感器是一类用于机器人模仿人类触觉功能的传感器，它是仿生学领域最基本的元器件之一，在机器人、人机交互等领域应用前景广阔。得益于MEMS技术的微型化、高精度和可批量生产等特点，MEMS触觉压力传感器具有高灵敏度、高可靠性、高精度、微型化和低成本等优点，具有广阔的发展前途。常见的MEMS触觉压力传感器包括MEMS压阻式触觉压力传感器和电容式MEMS触觉压力传感器等类型。MEMS压阻式触觉压力传感器的优点是线性度高，但由于压阻系数和电阻率易受温度影响，其环境适应性不佳。常见的MEMS电容式触觉压力传感器的优点是受环境温度影响小，但是其存在灵敏度低、线性度差等缺点，并导致相应的接口电路设计难度较高。

技术实现思路

[0003]为了解决本领域触觉压力传感器存在的一些问题，本专利技术提出一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法，它具有结构和制备简单、灵敏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS电容式触觉压力传感器，其特征在于，所述MEMS电容式触觉压力传感器包括：衬底；绝缘层，所述绝缘层设置在所述衬底上；电极，所述电极设置在所述绝缘层上；电介质层，所述电介质层设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，所述触觉敏感体设置在所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极；其中，所述触觉敏感体与所述电介质层接触的下表面为弧形；所述触觉敏感体的材料为弹性导电复合材料。2.根据权利要求1所述的MEMS电容式触觉压力传感器，其特征在于，所述触觉敏感体的材料为PEDOT:PSS/PDMS。3.根据权利要求1所述的MEMS电容式触觉压力传感器，其特征在于，所述触觉敏感体与所述电极正对设置。4.根据权利要求1所述的MEMS电容式触觉压力传感器，其特征在于，所述触觉敏感体具有1μm
‑
100μm的高度。5.一种MEMS电容式触觉压力传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维平，兰之康，
申请(专利权)人：南京高华科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：