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本发明提出一种MEMS电容式触觉压力传感器，包括：衬底；绝缘层，设置在所述衬底上；电极，设置在所述绝缘层上；电介质层，设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，设置在所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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