一种多气源气体注射装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种多气源气体注射装置，其中，外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，气源安装工位用于安装气源发生模块；外壳的一端与轴向驱动模块连接，外壳的另一端与气体注射模块连接；气体注射模块延伸至外壳另一端的内部与气源发生模块连接，轴向驱动模块延伸至外壳一端的内部与气源发生模块连接，用于驱动气源发生模块进行轴向运动。本发明专利技术提供的多气源气体注射装置，多个气源发生模块沿多气源气体注射装置的轴向安装，形成轴向分布，占用空间小，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，有利于避免气源发生模块和其他部件干涉。发生模块和其他部件干涉。发生模块和其他部件干涉。

【技术实现步骤摘要】
一种多气源气体注射装置


[0001]本专利技术涉及半导体材料加工
，特别涉及一种多气源气体注射装置。

技术介绍

[0002]带电粒子束能够改变材料入射表面位置的形貌特征，可以用于纳米制造，其中，带电粒子束可以为电子束或离子束。单独使用离子束或电子束对样品进行作业时的效率较低，通常使用气体注射装置辅助电子束或离子束对样品进行作业，以提高作业效率，诸如进行掩膜修复、电路重组、电路修复和样品切片等具体作业。由于不同材料的特性不同，所需要的气体也不同，所以有必要使用多气源气体注射装置。
[0003]在现有技术中，多个气源发生模块分别设置在多气源气体注射装置的径向上，形成圆周分布，占用空间大，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，因为气源发生模块会和其他部件干涉，所以无法将多气源气体注射装置安装在用于安装单气源气体注射装置的安装工位上，其中，该安装工位可以使得注射喷嘴和带电粒子束之间具有较为合适的角度；气源发生模块的数量固定，无法模块化增加或减少气源发生模块。

技术实现思路

[0004]本专利技术针对现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多气源气体注射装置，其特征在于，包括：外壳、轴向驱动模块、气源发生模块及气体注射模块；所述外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，所述气源安装工位用于安装所述气源发生模块，所述外壳的一端与所述轴向驱动模块连接，所述外壳的另一端与所述气体注射模块连接；所述气体注射模块延伸至所述外壳另一端的内部与所述气源发生模块连接，所述轴向驱动模块延伸至所述外壳一端的内部与所述气源发生模块连接，用于驱动所述气源发生模块和气体注射模块进行轴向运动。2.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述气源发生模块包括：开关单元、气源坩埚和第一温控单元，所述开关单元用于控制所述气源坩埚的气道的开关，所述第一温控单元设置在气源坩埚上，用于改变所述气源坩埚的温度以产生气体。3.根据权利要求2所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述开关单元包括腔体和推杆，所述气源发生模块还包括连接构件；所述连接构件开设有贯穿左右两端的第一气道，以及开设有贯穿上下两端的第二气道，所述第一气道和所述第二气道交叉连通；所述连接构件用于连接所述轴向驱动模块及所述气体注射模块，所述第一气道与所述气体注射模块的气道连通，所述第二气道能够与所述气源坩埚相连通；所述腔体通过所述连接构件与所述气源坩埚固定连接；所述推杆的一端设置在所述腔体内，另一端延伸至所述第二气道中，并能够关闭或打开所述气源坩埚的气道。4.根据权利要求1所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述气体注射模块包括：支撑管件、注射喷嘴及第二温控单元；所述注射喷嘴固定在所述支撑管件的头部；所述支撑管件内部设置的气道与所述注射喷嘴内部设置的气道连通；所述支撑管件的另一端具有尾部，所述尾部安装在所述外壳内，并能够在所述外壳内沿轴向运动；所述第二温控单元设置在所述支撑管件的内部，用于改变所述支撑管件的气道内气体的温度。5.根据权利要求4所述的多气源气体注射装置，其特征在于，所述第二温控单元包括温控件，所述支撑管件内设置有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪晖华，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：