一种用于集成电路加工用反应腔室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于集成电路加工用反应腔室，涉及集成电路加工设备技术领域，包括底座和反应腔室，所述底座的顶部固定连接有两个支座，所述支座的顶部均固定连接有反应腔室，所述底座的顶部且位于反应腔室的一侧固定连接有加热箱，本实用新型专利技术有益增效：设置有清洗组件、第一电机、齿轮、复位杆和滑动套，实现了通过第一电机转动，来实现对整体装置高度的调整，从而保证了清洗的全面性，设置有温度传感器和压力传感器，实现了当检测到内部压力过高时，通过排气阀管道及时排出，避免了压力过大导致一些不必要的问题，及时进行补充所需的热量，整体装置简单易操作，降低了成本，提高了整体的集成电路加工工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路加工用反应腔室
本技术涉及集成电路加工设备
，具体为一种用于集成电路加工用反应腔室。
技术介绍
在集成电路晶片的加工过程中,通常将晶片放置于反应腔室内部的晶片载台上，工艺气体注入反应腔室，在高频电场作用下产生等离子体来加工品片表面。品片表面的工艺气体分布将决定品片加工的速率以及品片加工的均匀性，非均匀性的气体分布将导致品片表面的加工速率和均匀性有较大的变化，对品片的加工质量以及性能具有很大影响。在进行加工后，需要对进加工时所用的反应腔室进行清理，现有技术较为死板，现有的反应腔室在进行泄压之后，也会导致内部的温度急速下降，使得下次正常进行加工时带来不便，而且在对内部进行清洗时不全面，导致时间一长容易对整体装置的使用寿命造成影响，增加成本消耗，因此需要设计一种可以在进行泄压之后自动为反应腔室内部进行补充热量、在进行清洗时做到全方位全角度、整体装置简单易操作、降低成本的用于集成电路加工用反应腔室。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于集成电路加工用反应腔室，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于集成电路加工用反应腔室,包括底座和反应腔室，所述底座的顶部固定连接有两个支座，所述支座的顶部均固定连接有反应腔室，所述底座的顶部且位于反应腔室的一侧固定连接有加热箱，所述底座的顶部且远离加热箱的一侧固定连接有蓄水箱，所述底座的内部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧固定连接有齿轮，所述螺纹杆远离齿轮的一端套有滑动套，所述底座的顶部且位于螺纹杆的一侧固定安装有弹簧，所述弹簧的顶部固定连接有L字型结构的连接套，所述底座的顶部且位于弹簧的一侧固定连接有L字型结构的固定板，所述固定板与滑动套滑动连接，所述固定板与连接套滑动连接，所述固定板与连接套之间固定连接有复位杆，所述复位杆与连接套的顶部滑动连接，所述滑动套的顶部固定连接有横板，所述横板靠近反应腔室的一端安装有清洗组件。优选的，所述清洗组件包括固定箱和第二电机，所述横板贯穿反应腔室的内部的一端固定连接有固定箱，所述固定箱的外侧固定安装有第二电机，所述固定箱的内部转动连接有蜗杆，所述第二电机的输出端贯穿固定箱且与蜗杆固定连接，所述固定箱的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的外侧固定安装有蜗轮，所述蜗杆与蜗轮啮合连接，所述转动杆延伸至固定箱外侧的一端固定连接有旋转接头，所述旋转接头的一侧固定安装有均匀分布的出水口。优选的，所述蓄水箱的顶部固定安装有水泵，所述水泵的输出端通过输水管道与出水口相连接，所述水泵的输入端通过输水管道与蓄水箱相连接。优选的，所述反应腔室的内壁固定安装有压力传感器，所述反应腔室的内壁固定安装有温度传感器。优选的，所述反应腔室的顶部开设有排气阀管道，所述反应腔室的底部且位于两个支座之间开设有废水出口。优选的，所述加热箱的外侧固定安装有控制面板，所述加热箱的内部固定安装有风扇，所述加热箱的内部且位于风扇出风口固定安装有均匀分布的电热丝，所述加热箱的顶部固定安装有鼓风机，所述鼓风机的输出端通过输风管道与反应腔室相连接，所述鼓风机的输入端通过输风管道与加热箱相连接。优选的，所述压力传感器、温度传感器、风扇、第一电机和第二电机均与控制面板电性连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：设置有清洗组件，实现了在清洗时能够实现转动，旋转接头则保证了即使高速运转下也能正常进行输送水、出水，提高了清洗的全面性，设置有第一电机、齿轮、复位杆和滑动套，实现了通过第一电机转动，来实现对整体装置高度的调整，从而保证了清洗的全面性，设置有温度传感器和压力传感器，实现了当检测到内部压力过高时，通过排气阀管道及时排出，避免了压力过大导致一些不必要的问题，实现了当排出气压导致内部温度下降，不符合集成电路加工时所需温度时，及时进行补充所需的热量，整体装置简单易操作，降低了成本，提高了整体的集成电路加工工作效率。附图说明图1为本技术结构剖视图；图2为本技术结构加热箱剖视图；图3为本技术结构清洗组件放大图。图中：1、底座；2、支座；3、反应腔室；4、清洗组件；5、废水出口；6、压力传感器；7、温度传感器；8、加热箱；9、控制面板；10、鼓风机；11、输风管道；12、蓄水箱；13、水泵；14、输水管道；15、风扇；16、电热丝；17、第一电机；18、齿轮；19、螺纹杆；20、固定板；21、连接套；22、弹簧；23、滑动套；24、横板；25、固定箱；26、第二电机；27、蜗杆；28、转动杆；29、蜗轮；30、旋转接头；31、出水口；32、排气阀管道；33、复位杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种技术方案：一种用于集成电路加工用反应腔室,包括底座1和反应腔室3，其特征在于：底座1的顶部固定连接有两个支座2，保证了整体的稳定性，支座2的顶部均固定连接有反应腔室3，底座1的顶部且位于反应腔室3的一侧固定连接有加热箱8，实现了维持内部加工时所需的热量，底座1的顶部且远离加热箱8的一侧固定连接有蓄水箱12，底座1的内部固定安装有第一电机17，第一电机17的输出端固定连接有螺纹杆19，螺纹杆19的外侧固定连接有齿轮18，螺纹杆19远离齿轮18的一端套有滑动套23，底座1的顶部且位于螺纹杆19的一侧固定安装有弹簧22，弹簧22的顶部固定连接有L字型结构的连接套21，底座1的顶部且位于弹簧22的一侧固定连接有L字型结构的固定板20，实现了整体的正常运行，固定板20与滑动套23滑动连接，固定板20与连接套21滑动连接，固定板20与连接套21之间固定连接有复位杆33，实现了整体的正常升降，复位杆33与连接套21的顶部滑动连接，滑动套23的顶部固定连接有横板24，横板24靠近反应腔室3的一端安装有清洗组件4，实现了可以对反应腔室3内部及时进行清洗。进一步的，清洗组件4包括固定箱25和第二电机26，横板24贯穿反应腔室3的内部的一端固定连接有固定箱25，固定箱25的外侧固定安装有第二电机26，固定箱25的内部转动连接有蜗杆27，第二电机26的输出端贯穿固定箱25且与蜗杆27固定连接，固定箱25的内部转动连接有转动杆28，转动杆28的外侧固定安装有蜗轮29，蜗杆27与蜗轮29啮合连接，转动杆28延伸至固定箱25外侧的一端固定连接有旋转接头30，旋转接头30的一侧固定安装有均匀分布的出水口31，实现了可以保持高速旋转下进行清洗，提高了清洗的全方位。进一步的，蓄水箱12的顶部固定安装有水泵13，水泵13的输出端通过输水管道14与出水口31相连接，水泵13的输入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于集成电路加工用反应腔室，包括底座(1)和反应腔室(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有两个支座(2)，所述支座(2)的顶部均固定连接有反应腔室(3)，所述底座(1)的顶部且位于反应腔室(3)的一侧固定连接有加热箱(8)，所述底座(1)的顶部且远离加热箱(8)的一侧固定连接有蓄水箱(12)，所述底座(1)的内部固定安装有第一电机(17)，所述第一电机(17)的输出端固定连接有螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)的外侧固定连接有齿轮(18)，所述螺纹杆(19)远离齿轮(18)的一端套有滑动套(23)，所述底座(1)的顶部且位于螺纹杆(19)的一侧固定安装有弹簧(22)，所述弹簧(22)的顶部固定连接有L字型结构的连接套(21)，所述底座(1)的顶部且位于弹簧(22)的一侧固定连接有L字型结构的固定板(20)，所述固定板(20)与滑动套(23)滑动连接，所述固定板(20)与连接套(21)滑动连接，所述固定板(20)与连接套(21)之间固定连接有复位杆(33)，所述复位杆(33)与连接套(21)的顶部滑动连接，所述滑动套(23)的顶部固定连接有横板(24)，所述横板(24)靠近反应腔室(3)的一端安装有清洗组件(4)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路加工用反应腔室，包括底座(1)和反应腔室(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有两个支座(2)，所述支座(2)的顶部均固定连接有反应腔室(3)，所述底座(1)的顶部且位于反应腔室(3)的一侧固定连接有加热箱(8)，所述底座(1)的顶部且远离加热箱(8)的一侧固定连接有蓄水箱(12)，所述底座(1)的内部固定安装有第一电机(17)，所述第一电机(17)的输出端固定连接有螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)的外侧固定连接有齿轮(18)，所述螺纹杆(19)远离齿轮(18)的一端套有滑动套(23)，所述底座(1)的顶部且位于螺纹杆(19)的一侧固定安装有弹簧(22)，所述弹簧(22)的顶部固定连接有L字型结构的连接套(21)，所述底座(1)的顶部且位于弹簧(22)的一侧固定连接有L字型结构的固定板(20)，所述固定板(20)与滑动套(23)滑动连接，所述固定板(20)与连接套(21)滑动连接，所述固定板(20)与连接套(21)之间固定连接有复位杆(33)，所述复位杆(33)与连接套(21)的顶部滑动连接，所述滑动套(23)的顶部固定连接有横板(24)，所述横板(24)靠近反应腔室(3)的一端安装有清洗组件(4)。


2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路加工用反应腔室，其特征在于：所述清洗组件(4)包括固定箱(25)和第二电机(26)，所述横板(24)贯穿反应腔室(3)的内部的一端固定连接有固定箱(25)，所述固定箱(25)的外侧固定安装有第二电机(26)，所述固定箱(25)的内部转动连接有蜗杆(27)，所述第二电机(26)的输出端贯穿固定箱(25)且与蜗杆(27)固定连接，所述固定箱(25)的内部转动连接有转动杆(28)，所述转动杆(28)的外侧固定安装有蜗轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王景文，周梦，朱双利，
申请(专利权)人：武汉市明佳芯源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42