MOCVD装置输运管检漏用连接机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了MOCVD装置输运管检漏用连接机构，包括设置为凸字形的下固定块，下固定块的凸台与上固定块的台阶孔相配合；所述的上固定块的内表面设置有锥形面，锥形面与下固定块的上端面之间设置有密封圈；下固定块上端面与密封圈之间形成环形密封面；所述的上固定块与下固定块之间通过锁紧螺丝相连接固定；所述的上固定块上方设置有密封接头，密封接头与上固定块之间通过对接管道相连接，密封接头外部设置有螺母。优点是结构简单，使用方便，能重复使用，大大降低了使用成本；且安装快速便捷，通用程度高，密封效果好，不会对管体表面造成损伤；大大提高了对输运管本体、焊缝或连接处存在的孔洞、裂纹或间隙等漏点检测的效率。

【技术实现步骤摘要】
MOCVD装置输运管检漏用连接机构
本技术涉及连接机构的领域，尤其涉及一种MOCVD装置输运管检漏用连接机构。
技术介绍
MOCVD设备的气体输运管都是不锈钢管道；为了防止存储效应，管内进行了电解抛光。管道的接头用氢弧焊或VCR及Swagelok方式连接，并进行正压检漏及Snoop液体或He泄漏检测，保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一。流量是由不同量程、响应时间快、精度高的质量流量计和电磁阀、气动阀等来实现。在真空系统与反应室之间设有过滤器，以防油污或其它颗粒倒吸到反应室中。为了迅速变化反应室内的反应气体，而且不引起反应室内压力的变化，设置“run”和“vent”管道。因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。由于不锈钢管道表面光滑且壁薄,无固定密封装置,对本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等漏点检测的效率过低；因此需要设计一种密封性能较好的连接机构。
技术实现思路
本技术目的是提供一种MOCVD装置输运管检漏用连接机构，结构简单，稳定性好，使用方便，密封性能好；解决了以上技术问题。为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：MOCVD装置输运管检漏用连接机构，连接机构的一端与输运管相连接固定，另一端与测漏仪相连接固定；其特征在于：包括设置为凸字形的下固定块，下固定块的凸台与上固定块的台阶孔相配合；所述的上固定块的内表面设置有锥形面，锥形面与下固定块的上端面之间设置有密封圈；下固定块上端面与密封圈之间形成环形密封面；所述的上固定块与下固定块之间通过锁紧螺丝相连接固定；所述的上固定块上方设置有密封接头，密封接头与上固定块之间通过对接管道相连接，密封接头外部设置有螺母。优选的：所述的锁紧螺丝设置为三个，分别分布在上固定块、下固定块的圆弧角位置。优选的：所述的密封圈的内径与输运管的外径相等。优选的：所述的对接管道与上固定块之间设置为焊接连接。优选的：所述的螺母设置为VCR面密封内螺纹螺母。本技术的有益效果；MOCVD装置输运管检漏用连接机构，结构简单，使用方便，能重复使用，大大降低了使用成本；且安装快速便捷，通用程度高，密封效果好，不会对管体表面造成损伤；大大提高了对输运管本体、焊缝或连接处存在的孔洞、裂纹或间隙等漏点检测的效率。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术具体实施例1示意图；在图中：1.连接机构；2.输运管；3.测漏仪；11.下固定块；12.上固定块；13.锥形面；14.密封圈；15.锁紧螺丝；16.密封接头；17.对接管道；18.螺母。具体实施方式为了使本技术的专利技术目的、技术方案及其有益技术效果更加清晰，以下结合附图和具体实施方式，对本技术进行进一步详细说明；在附图1、2中：一种MOCVD装置输运管检漏用连接机构，连接机构1的一端与输运管2相连接固定，另一端与测漏仪3相连接固定；连接机构1包括设置为凸字形的下固定块11，下固定块11的凸台与上固定块12的台阶孔相配合；所述的上固定块12的内表面设置有锥形面13，锥形面13与下固定块11的上端面之间设置有密封圈14，下固定块11上端面与密封圈14之间形成环形密封面；上固定块与下固定块锁紧时，锥形面斜向挤压O型圈与管道接触密封，密封效果好；所述的上固定块12与下固定块11之间通过锁紧螺丝15相连接固定；连接可靠，且可以调节；所述的上固定块12上方设置有密封接头16，密封接头16与上固定块12之间通过对接管道17相连接，密封接头16外部设置有螺母18。具体的，所述的锁紧螺丝15设置为三个，分别分布在上固定块12、下固定块11的圆弧角位置；使得锁紧力均匀，连接可靠，密封效果好；所述的密封圈14的内径与输运管2的外径相等；配合度高，密封圈与锥形面相配合，大大提高了密封效果；所述的对接管道17与上固定块12之间设置为焊接连接；牢固稳定，使用寿命长；所述的螺母18设置为VCR面密封内螺纹螺母。实施例1：进行输运管检漏操作时，将环形输运管的一端用堵头密封，环形输运管的另一端装上连接机构，连接机构的另一端通过螺母与测漏仪相连接；具体安装时，将输运管穿过下固定块的通孔，在输运管上套上密封圈，再将上固定块与下固定块配合，依次装上锁紧螺丝，此时密封圈在锥形面斜向挤压作用下与管道接触密封；然后用不锈钢VCR面密封内螺纹螺母将连接机构连接到测漏仪上，利用抽真空装置与真空计达到一定的气压后，会使下固定块与上固定块贴合更紧密，再进一步调节锁紧螺丝，通过调节不锈钢螺丝将连接机构固定并锁紧在输运管上，从而达到对漏点检测的效果。上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本技术的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.MOCVD装置输运管检漏用连接机构，连接机构（1）的一端与输运管（2）相连接固定，另一端与测漏仪（3）相连接固定；其特征在于：包括设置为凸字形的下固定块（11），下固定块（11）的凸台与上固定块（12）的台阶孔相配合；所述的上固定块（12）的内表面设置有锥形面（13），锥形面（13）与下固定块（11）的上端面之间设置有密封圈（14），下固定块（11）上端面与密封圈（14）之间形成环形密封面；所述的上固定块（12）与下固定块（11）之间通过锁紧螺丝（15）相连接固定；所述的上固定块（12）上方设置有密封接头（16），密封接头（16）与上固定块（12）之间通过对接管道（17）相连接，密封接头（16）外部设置有螺母（18）。/n

【技术特征摘要】
1.MOCVD装置输运管检漏用连接机构，连接机构（1）的一端与输运管（2）相连接固定，另一端与测漏仪（3）相连接固定；其特征在于：包括设置为凸字形的下固定块（11），下固定块（11）的凸台与上固定块（12）的台阶孔相配合；所述的上固定块（12）的内表面设置有锥形面（13），锥形面（13）与下固定块（11）的上端面之间设置有密封圈（14），下固定块（11）上端面与密封圈（14）之间形成环形密封面；所述的上固定块（12）与下固定块（11）之间通过锁紧螺丝（15）相连接固定；所述的上固定块（12）上方设置有密封接头（16），密封接头（16）与上固定块（12）之间通过对接管道（17）相连接，密封接头（16）外部设置有螺母（18）。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾昆良，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32