一种半导体生产装置的稳固机构制造方法及图纸

技术编号:28996406 阅读:20 留言:0更新日期:2021-06-23 09:59
本实用新型专利技术涉及半导体生产技术领域,公开了一种半导体生产装置的稳固机构,机体底部固定连接有固定架,固定架的顶部内壁开设有螺纹孔,螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆外表面,螺纹杆顶部固定连接有六角转盘,螺纹杆的底部通过轴承活动连接有移动块。本实用新型专利技术通过使用者先用手使L型杆向内侧移动,使复位弹簧压缩,再使用工具转动六角转盘,使六角转盘旋转带动螺纹杆旋转,螺纹杆通过表面的螺纹与固定架顶部的螺纹孔内部的螺纹啮合而使移动块向下移动,移动块再带动连杆向下移动使L型杆向下移动,再松开L型杆,使弹簧复位,L型杆的下端就插入到限位孔内,与限位孔内开设的凹槽卡接,达到了对检测装置的位置进行固定的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产装置的稳固机构
本技术涉及半导体生产
,具体为一种半导体生产装置的稳固机构。
技术介绍
半导体材料很多,按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类,锗和硅是最常用的元素半导体;化合物半导体包括第Ⅲ和第Ⅴ族化合物(砷化镓、磷化镓等)、第Ⅱ和第Ⅵ族化合物(硫化镉、硫化锌等)、氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体(镓铝砷、镓砷磷等),除上述晶态半导体外,还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等;在半导体生产的过程中,需要用到检测装置对半导体进行检测,但是现有的检测装置在固定的过程中,无法对检测装置的位置进行固定,容易导致检测装置晃动,降低了检测装置的实用性。
技术实现思路
本技术提供了一种半导体生产装置的稳固机构,该半导体生产装置的稳固机构,解决了现有的检测装置在固定的过程中,无法对检测装置的位置进行固定,容易导致检测装置晃动,降低了检测装置的实用性的问题。为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体生产装置的稳固机构,包括机体,所述机体底部固定连接有固定架,所述固定架的顶部内壁开设有螺纹孔,所述螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆顶部固定连接有六角转盘,所述螺纹杆的底部通过轴承活动连接有移动块,所述移动块的两侧均固定连接有连杆,所述连杆的外表面套接有复位弹簧;所述固定架的内壁外表面开设有滑槽,所述滑槽内活动连接有滑块,所述滑块远离固定架的一侧固定连接有连杆的一端,所述连杆外表面套接有滑套的内壁,所述滑块的底部固定连接有L型杆,所述L型杆的另一端通过固定架底部开设的通孔延伸至固定架底部的外部;所述固定架的底部设置有地板,所述地板的上表面开设有限位孔,所述L型杆的一端伸入限位孔内并与限位孔的内壁贴合。优选的,所述机体的四角设置有支撑块,所述支撑块上设置有液压杆,所述液压杆的顶部贯穿支撑块的顶部并与支撑块固定连接,所述液压杆的底部与滑轮的顶部固定连接。优选的,所述复位弹簧的一侧与移动板固定连接,所述复位弹簧的另一侧与滑套固定连接。优选的,所述L型杆的水平端在限位孔内与限位孔内壁贴合,所述L型杆竖直端与滑套底部固定连接。优选的,所述限位孔的内部预留有配合L型杆水平端卡接的凹槽且限位孔的上开口大小与固定架底部开设的通孔大小相同。优选的,所述液压杆的外表面固定连接有支撑架,支撑架安装在支撑块上。借由上述技术方案,本技术提供了一种半导体生产装置的稳固机构。至少具备以下有益效果:(1)该半导体生产装置的稳固机构,通过使用者先用手使L型杆向内侧移动,L型杆带动滑套向内侧移动,使复位弹簧压缩,再使用工具转动六角转盘,使六角转盘旋转带动螺纹杆旋转,螺纹杆通过表面的螺纹与固定架顶部的螺纹孔内部的螺纹啮合而使移动块向下移动,移动块再带动连杆向下移动使L型杆向下移动,再松开L型杆,使弹簧复位,L型杆的下端就插入到限位孔内,与限位孔内开设的凹槽卡接,由于L型杆下端的被凹槽限制住,达到了对检测装置的位置进行固定的目的,起到了防止检测装置晃动,提高了检测装置的实用性的效果。(2)该半导体生产装置的稳固机构,通过在控制液压杆的上下移动来实现滑轮的升降,在需要将检测装置进行移动时就让液压杆向下延伸使滑轮接触地板,使滑轮承载机体,再将L型杆向内侧移动,使弹簧压缩,旋转六角转盘使移动块升起,移动块在带动L型杆向上升离开限位孔,这时候就可以推动机体运动,起到了方便机体运动的作用。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解,构成本申请的一部分:图1为本技术的结构示意图;图2为本技术图1中A部的结构示意图;图3为本技术图1的正视图。图中:1机体、2固定架、3螺纹孔、4螺纹杆、5六角转盘、6移动块、7连杆、8复位弹簧、9滑槽、10滑块、11滑套、12L型杆、13通孔、14地板、15限位孔、16支撑块、17液压杆、18滑轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种半导体生产装置的稳固机构,包括机体1,机体1的四角设置有支撑块16,支撑块16上设置有液压杆17,液压杆17的顶部贯穿支撑块16的顶部并与支撑块16固定连接,液压杆17的底部与滑轮18的顶部固定连接,液压杆17的外表面固定连接有支撑架,支撑架安装在支撑块16上,使用支撑块16与支撑架可以增加液压杆17的稳定性;通过在控制液压杆17的上下移动来实现滑轮18的升降,在需要将检测装置进行移动时就让液压杆17向下延伸使滑轮18接触地板14,使滑轮18承载机体1,再将L型杆12向内侧移动,使弹簧压缩,旋转六角转盘5使移动块6升起,移动块6在带动L型杆12向上升离开限位孔15,这时候就可以推动机体1运动,起到了方便机体1运动的作用。机体1底部固定连接有固定架2,固定架2的顶部内壁开设有螺纹孔3,螺纹孔3内壁螺纹连接有螺纹杆4,螺纹杆4顶部固定连接有六角转盘5,螺纹杆4的底部通过轴承活动连接有移动块6,移动块6的两侧均固定连接有连杆7,连杆7的外表面套接有复位弹簧8。固定架2的内壁外表面开设有滑槽9,滑槽9内活动连接有滑块10,滑块10远离固定架2的一侧固定连接有连杆7的一端,连杆7外表面套接有滑套11的内壁,复位弹簧8的一侧与移动板固定连接,复位弹簧8的另一侧与滑套11固定连接,滑块10的底部固定连接有L型杆12,L型杆12的另一端通过固定架2底部开设的通孔13延伸至固定架2底部的外部,L型杆12的水平端在限位孔15内与限位孔15内壁贴合,L型杆12竖直端与滑套11底部固定连接;固定架2的底部设置有地板14,地板14的上表面开设有限位孔15,L型杆12的一端伸入限位孔15内并与限位孔15的内壁贴合,限位孔15的内部预留有配合L型杆12水平端卡接的凹槽且限位孔15的上开口大小与固定架2底部开设的通孔13大小相同,在限位孔15内设置有凹槽可以更好的限制住L型杆12的运动。通过使用者先用手使L型杆12向内侧移动,L型杆12带动滑套11向内侧移动,使复位弹簧8压缩,再使用工具转动六角转盘5,使六角转盘5旋转带动螺纹杆4旋转,螺纹杆4通过表面的螺纹与固定架2顶部的螺纹孔3内部的螺纹啮合而使移动块6向下移动,移动块6再带动连杆7向下移动使L型杆12向下移动,再松开L型杆12,使弹簧复位,L型杆12的下端就插入到限位孔15内,与限位孔15内开设的凹槽卡接,由于L型杆12下端的被凹槽限制住,达到了对检测装置的位置进行固定的目的,起到了防止检测装置晃动,提高了检测装置的实用性的效果。在使用时,通过使用者先用手使L型杆12向内侧移动,L型杆12带动滑套11向内侧移动,使复位弹簧8压缩,再使用工具转动六角转盘5,使六角转盘5旋转带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产装置的稳固机构,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)底部固定连接有固定架(2),所述固定架(2)的顶部内壁开设有螺纹孔(3),所述螺纹孔(3)内壁螺纹连接有螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)顶部固定连接有六角转盘(5),所述螺纹杆(4)的底部通过轴承活动连接有移动块(6),所述移动块(6)的两侧均固定连接有连杆(7),所述连杆(7)的外表面套接有复位弹簧(8);/n所述固定架(2)的内壁外表面开设有滑槽(9),所述滑槽(9)内活动连接有滑块(10),所述滑块(10)远离固定架(2)的一侧固定连接有连杆(7)的一端,所述连杆(7)外表面套接有滑套(11)的内壁,所述滑块(10)的底部固定连接有L型杆(12),所述L型杆(12)的另一端通过固定架(2)底部开设的通孔(13)延伸至固定架(2)底部的外部;/n所述固定架(2)的底部设置有地板(14),所述地板(14)的上表面开设有限位孔(15),所述L型杆(12)的一端伸入限位孔(15)内并与限位孔(15)的内壁贴合。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产装置的稳固机构,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)底部固定连接有固定架(2),所述固定架(2)的顶部内壁开设有螺纹孔(3),所述螺纹孔(3)内壁螺纹连接有螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)顶部固定连接有六角转盘(5),所述螺纹杆(4)的底部通过轴承活动连接有移动块(6),所述移动块(6)的两侧均固定连接有连杆(7),所述连杆(7)的外表面套接有复位弹簧(8);
所述固定架(2)的内壁外表面开设有滑槽(9),所述滑槽(9)内活动连接有滑块(10),所述滑块(10)远离固定架(2)的一侧固定连接有连杆(7)的一端,所述连杆(7)外表面套接有滑套(11)的内壁,所述滑块(10)的底部固定连接有L型杆(12),所述L型杆(12)的另一端通过固定架(2)底部开设的通孔(13)延伸至固定架(2)底部的外部;
所述固定架(2)的底部设置有地板(14),所述地板(14)的上表面开设有限位孔(15),所述L型杆(12)的一端伸入限位孔(15)内并与限位孔(15)的内壁贴合。


2.根据权利要求1所述的一种半导体生产装置的稳固机构,其特征在于:所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹永亮
申请(专利权)人:西安市多极电磁技术有限公司
类型:新型
国别省市:陕西;61

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