【技术实现步骤摘要】
气控微动平台装置
本技术涉及高精度定位及位移控制
，特别是涉及一种气控微动平台装置。
技术介绍
微动平台是精密定位技术研究中的核心内容，当前在高精度控制、医疗仪器、精密机械、细胞生物学、光学定位等领域，都离不开高精度的定位技术。如今先进的定位技术已经可以实现微米及纳米级的精确定位，但通常都带有一定弊端，如实现难度大、成本高，精度受环境影响大，稳定性差，寿命短等。现存的微动平台的驱动形式主要包括：压电式，例如输出位移精度10nm的压电陶瓷驱动的整体式柔顺精密定位平台，压电式传感器的缺点是压电材料需要防潮措施，而且输出的直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器；直线电机式，然而直线电机存在耗电量大、振动高、发热量大等缺点；还有机械控制式，但是纯机械控制的微动平台结构复杂，对加工精度要求较高。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此，本技术提出一种气控微动平台装置，以解决现有微动平台实现难度大的问题。根据本技术实施例的一种气控微动平台装置，包括比例调节阀和微动...
【技术保护点】
1.一种气控微动平台装置，其特征在于，包括比例调节阀和微动平台，所述比例调节阀包括阀体，所述阀体设有进气通道、支气通道和出气通道，所述进气通道通过喷嘴与所述支气通道连通，所述支气通道内设有活动铁芯，所述活动铁芯的第一端设有与所述喷嘴的出气口相适配的堵头，所述活动铁芯沿所述支气通道的轴线方向可滑动设置，所述活动铁芯的第二端与所述微动平台连接，所述支气通道与所述出气通道连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种气控微动平台装置，其特征在于，包括比例调节阀和微动平台，所述比例调节阀包括阀体，所述阀体设有进气通道、支气通道和出气通道，所述进气通道通过喷嘴与所述支气通道连通，所述支气通道内设有活动铁芯，所述活动铁芯的第一端设有与所述喷嘴的出气口相适配的堵头，所述活动铁芯沿所述支气通道的轴线方向可滑动设置，所述活动铁芯的第二端与所述微动平台连接，所述支气通道与所述出气通道连通。
2.根据权利要求1所述的气控微动平台装置，其特征在于，所述活动铁芯的外侧套设有套筒，所述套筒的周侧绕设有电磁线圈，所述活动铁芯可沿所述套筒的轴线方向移动。
3.根据权利要求2所述的气控微动平台装置，其特征在于，还包括控制电路，所述控制电路与所述电磁线圈连接。
4.根据权利要求3所述的气控微动平台装置，其特征在于，所述进气通道设有第一压力传感器，所述出气通道设有第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器均与所述控制电路连接。
5.根据权利要求3所述的气控微动平台装置，其特征在于，所述进气通道连通有毛细管，所述毛细管的两端分别与所述进气通道连通，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔德保，许丽琪，
申请(专利权)人：厚礼博精密仪器北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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