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本实用新型涉及高精度定位及位移控制技术领域，提供了一种气控微动平台装置。该气控微动平台装置，包括比例调节阀和微动平台，比例调节阀包括阀体，阀体设有进气通道、支气通道和出气通道，进气通道通过喷嘴与支气通道连通，支气通道内设有活动铁芯，活动铁芯...
该专利属于厚礼博精密仪器(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厚礼博精密仪器(北京)有限公司授权不得商用。

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