MFC检测装置和MFC检测系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种MFC检测装置，控制器控制MFC接口选择组件选择导通指定的MFC接口，控制器通过该MFC接口向与该MFC接口连接的待检测MFC发送温补开始信号或接收待检测MFC的温补状态信号以及流量信号，并根据温补状态信号和流量信号进行运行状态判断和精度测算，最后向结果输出组件输出待检测MFC的温度补偿是否合格的信息。MFC检测组件包括至少一个MFC接口，可连接一个或多个待检测MFC，控制器可控制MFC接口选择组件逐个选择导通多个MFC接口，可自动对每个待检测MFC依次进行检测，解决了现有技术中接线复杂，以及需要人工观测并记录数据导致的时间耗费较大的问题。本实用新型专利技术提供的MFC检测系统，由于具备如上所述的MFC检测装置，因此同样具备如上所述的优势。因此同样具备如上所述的优势。因此同样具备如上所述的优势。

【技术实现步骤摘要】
MFC检测装置和MFC检测系统


[0001]本技术涉及MFC检测
，尤其涉及一种MFC检测装置和MFC检测系统。

技术介绍

[0002]质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制，具有精度高，重复性好等优势，被广泛用于石油化工、冶金、制药等领域。
[0003]质量流量控制器种类众多，其中一种为热式质量流量控制器，工作温度的变化会引起热式质量流量控制器的零点漂移，当漂移量较大时，便会影响控制和测量精度。目前有一种具有零点温度补偿功能的模拟型热式质量流量控制器，可自动实时修正温度变化引起的零点漂移。
[0004]为了判断上述模拟型热式质量流量控制器的补偿过程是否正常，结果是否合格，需要对其进行检测。由于每台模拟型热式质量流量控制器的温度特性各不相同，因此每台模拟型热式质量流量控制器均需要进行检测。现有的检测方法必须接入多种设备，且接线复杂，还需要人工在每个阶段观测并记录多个数据，十分耗费工时。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种MFC检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MFC检测装置，其特征在于，包括：MFC接口组件，包括至少一个MFC接口，每个所述MFC接口均用于与一个待检测MFC对应连接；MFC接口选择组件，所述MFC接口选择组件的输出端与所述MFC接口对应相连，所述MFC接口选择组件用于选择导通其中一个所述MFC接口；控制器，所述控制器与所述MFC接口选择组件的输入端相连，所述控制器用于控制所述MFC接口选择组件选择导通指定的一个所述MFC接口，所述控制器能够通过被选择的所述MFC接口向对应的所述待检测MFC发送温补开始信号或检测所述待检测MFC的温补状态信号和流量信号，并根据所述温补状态信号和所述流量信号进行运行状态判断和精度测算；结果输出组件，与所述控制器相连，用于接收并输出所述控制器根据所述运行状态判断的结果和所述精度测算的结果发出的被检测MFC的温补过程是否合格的信息。2.根据权利要求1所述的MFC检测装置，其特征在于，还包括通信组件，所述控制器能够通过所述通信组件与监视控制装置连接。3.根据权利要求1所述的MFC检测装置，其特征在于，还包括设定信号输入组件，所述设定信号输入组件包括用于与控制器连接的参数输入组件和设置在所述控制器与所述MFC接口组件之间的设定信号转换组件。4.根据权利要求3所述的MFC检测装置，其特征在于，所述参数输入组件包括用于与所述控制器相连的按键组...

【专利技术属性】
技术研发人员：王温普，
申请(专利权)人：厚礼博精密仪器北京有限公司，
类型：新型
国别省市：