基板拾取装置及基板拾取方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及在拾取基板时减少其他基板的跟随的基板拾取装置及基板拾取方法。基板拾取装置是从在载置台上排列的多个单位基板中拾取一个单位基板的装置，并具备吸附手和控制器。吸附手装配于机械臂。吸附手具有：压杆，其从上方对拾取对象的单位基板的第一边角料及第二边角料进行按压；以及吸附部主体，其能够相对于压杆向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的单位基板进行吸附。控制部执行以下步骤：使压杆从上方按压第一边角料及第二边角料的步骤；使吸附部主体对拾取对象的单位基板进行吸附的步骤；以及通过使吸附部主体以相对于压杆向斜上方离开的方式移动，而对拾取对象的单位基板进行拾取的步骤。

【技术实现步骤摘要】
基板拾取装置及基板拾取方法
本专利技术涉及基板拾取装置及基板拾取方法，特别涉及对基板进行拾取并从其他基板分离的基板拾取装置及基板拾取方法。
技术介绍
通常，在液晶面板的制造工序中，制造将成为制造单位的多个单位显示面板(单位基板)图案化而成的大面积的贴合玻璃基板(母基板)，接着将其分割为每个单位显示面板。具体而言，使用上下一对的刀轮从上下方向对母基板两面同时进行刻划，接着与两面同时分离，由此分割为每个单位显示面板。在单位显示面板彼此之间设置有多余的部分，它们在截断后成为边角料。在拾取单位基板时，用吸附手吸附单个基板并笔直向上提起而进行拾取(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2019-107779号公报然而，在上述拾取方法中，根据刻划的状态，而存在与被拾取的单位基板相邻的其他单位基板一同被吸引而提起这样的问题。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于，在基板拾取装置中，在拾取基板时减少其他基板的跟随。用于解决课题的方案以下，作为用于解决课题的方案来说明多个方式。这些方式可以根据需要任意地组合。本专利技术的一个观点的基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置，并具备吸附手和控制部。吸附手装配于机械臂。吸附手具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附。控制部执行下述步骤。◎使按压构件从上方按压边角料的步骤。◎使吸附部对拾取对象的基板进行吸附的步骤。◎通过使吸附部以相对于按压构件向斜上方离开的方式移动，而对拾取对象的基板进行拾取的步骤。在该装置中，在利用吸附手的按压构件对基板的边角料进行了按压的状态下，将吸附手向斜上方提起，由此抬起基板。由此，能够防止拾取对象的基板的相邻的其他基板被吸引而提起。其结果是，能够防止拾取时的基板的擦伤、豁口等不良情况。也可以是，基板拾取装置还具备驱动装置，该驱动装置用于使吸附部相对于按压构件沿倾斜方向移动。也可以是，驱动装置具有多个工作缸。也可以是，按压构件在俯视下呈L字形状。本专利技术的其他观点的基板拾取方法使用基板拾取装置来执行。基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置并具备吸附手，该吸附手具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附。基板拾取方法具备下述步骤。◎使按压构件从上方按压边角料的步骤。◎使吸附部对拾取对象的基板进行吸附的步骤。◎通过使吸附部以相对于按压构件向斜上方离开的方式移动，而对拾取对象的基板进行拾取的步骤。在该方法中，在利用吸附手的按压构件对基板的边角料进行了按压的状态下，将吸附手向斜上方提起。由此，防止与被拾取的基板相邻的其他基板被吸引而提起。其结果是，能够防止拾取时的基板的擦伤、豁口等不良情况。专利技术效果在本专利技术的基板拾取装置及基板拾取方法中，能够在拾取基板时减少其他基板的跟随。附图说明图1是第一实施方式的拾取装置的示意性的立体图。图2是吸附手的示意性的立体图。图3是吸附手的示意性的仰视图。图4是基板的示意性的立体图。图5是示出拾取装置的控制结构的框图。图6是拾取装置的拾取动作的流程图。图7是示出拾取装置的拾取动作的示意图。图8是示出拾取装置的拾取动作的示意图。图9是示出拾取装置的拾取动作的示意图。图10是示出拾取装置的拾取动作的示意图。图11是示出拾取装置的拾取动作的示意图。图12是吸附手的示意性的立体图。图13是吸附手的示意性的俯视图。图14是吸附手的示意性的俯视图。图15是吸附手的示意性的侧视图。图16是吸附手的示意性的侧视图。图17是基板的示意性的立体图。附图标记说明：1：拾取装置2：载置台3：机械臂5：吸附手7：吸附部主体7a：吸附孔9：压杆21：倾斜驱动装置23：工作缸主体25：第一转动连结部27：第二转动连结部31：臂驱动装置33：负压产生装置51：控制器M：母基板Ma1：第一边角料Ma2：第二边角料Ma3：第三边角料Ma4：第四边角料P：单位基板S：刻划线。具体实施方式1.第一实施方式(1)拾取装置的结构使用图1～图4说明拾取装置1(基板拾取装置的一例)的结构。图1是第一实施方式的拾取装置的示意性的立体图。图2是吸附手的示意性的立体图。图3是吸附手的示意性的仰视图。图4是基板的示意性的立体图。在本实施方式中，截断对象是母基板M。母基板M例如是由两片基板构成的贴合玻璃。利用刻划装置(未图示)的上下的刀轮在两片基板形成有刻划线S。如图4所示，母基板M具有多个单位基板P。具体而言，在图4中示出了四片单位基板P。在单位基板P的周围(包括与其他单位基板P的边界)设置有边角料。例如，在图4所示的一片单位基板P1的周围设置有第一边角料Ma1、第二边角料Ma2、第三边角料Ma3、第四边角料Ma4。第一边角料Ma1、第二边角料Ma2设置于该单位基板P1与其他单位基板P的边界。第三边角料Ma3及第四边角料Ma4构成母基板M的外侧缘。拾取装置1是从在载置台2(图7)上配置的母基板M的多个单位基板P中拾取一个单位基板P的装置，具体而言，拾取装置1进行基板截断动作和基板吸附搬运动作。如图1所示，拾取装置1具有机械臂3。机械臂3能够利用臂驱动装置31(图5)使吸附手5(后述)升降、向侧方移动。臂驱动装置31例如包括马达等。拾取装置1具有吸附手5(吸附手的一例)。吸附手5是对母基板M进行吸附并进行搬运的装置。吸附手5装配于机械臂3的前端。吸附手5具有吸附部主体7(吸附部的一例)。如图3所示，在吸附部主体7的下表面设置有吸附孔7a。吸附孔7a从上方对拾取对象的母基板M进行吸附。吸附孔7a与真空泵等负压产生装置33(图5)连接。吸附手5具有压杆9(按压构件的一例)。压杆9从上方对拾取对象的母基板M的边角料Ma进行按压，具体而言，压杆9从吸附部主体7下降并将母基板M的边角料Ma按压于载置台2。压杆9相对于吸附部主体7连结成能够沿倾斜方向移动(后述)。压杆9具有平板的底面。在本实施方式中，压杆9在俯视下呈L字形。具体而言，压杆9配置成接近或抵接于吸附部主体7的矩形底面的两边的外侧。拾取装置1具有倾斜驱动装置21。倾斜驱动装置21是使吸附部主体7以相对于铅垂方向倾斜的方式相对于压杆9升降的装置。换言之，倾斜驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板拾取装置，该基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置，其中，/n所述基板拾取装置具备吸附手和控制部，/n所述吸附手装配于机械臂并具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于所述按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附，/n所述控制部执行以下步骤：使所述按压构件从上方按压所述边角料的步骤；使所述吸附部对所述拾取对象的基板进行吸附的步骤；以及通过使所述吸附部以相对于所述按压构件向斜上方离开的方式移动，而对所述拾取对象的基板进行拾取的步骤。/n

【技术特征摘要】
20191220 JP 2019-2308181.一种基板拾取装置，该基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置，其中，
所述基板拾取装置具备吸附手和控制部，
所述吸附手装配于机械臂并具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于所述按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附，
所述控制部执行以下步骤：使所述按压构件从上方按压所述边角料的步骤；使所述吸附部对所述拾取对象的基板进行吸附的步骤；以及通过使所述吸附部以相对于所述按压构件向斜上方离开的方式移动，而对所述拾取对象的基板进行拾取的步骤。


2.根据权利要求1所述的基板拾取装置，其中，
所述基板拾取装置还具备驱动装置，该驱动装置用于使所述吸附部相对于所述按压构件沿倾斜方向移动。
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【专利技术属性】
技术研发人员：中田胜喜，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP