一种超硬平面靶材的切割设备制造技术

本实用新型专利技术涉及靶材技术领域，具体为一种超硬平面靶材的切割设备，包括设备支架和推动轴，设备支架的顶端中部固定连接有工作平台，设备支架所使用的材料为钢材，且由多组钢材焊接而成，设备支架的一侧焊接有传动架，传动架的顶端中部固定连接有两个滑轨，两个滑轨与传动架的中轴线呈对称设置，工作平台的顶端固定连接有控制板，设备支架的中部设置有电路模组，电路模组的顶端与控制板的底端电性连接，电路模组的靠近传动架的一侧与传动架的一侧固定连接，通过设置在切盘和转轴外侧的外架，因在切割的过程中平面靶材的材质较硬会产生大量的花火，这样容易产生火灾，因此外架可以遮挡切割时产生的火花。

【技术实现步骤摘要】
一种超硬平面靶材的切割设备
本技术涉及靶材
，具体为一种超硬平面靶材的切割设备。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来，溅射靶材及溅射技术的同步发展，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如，在半导体集成电路制造过程中，以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线：在平面显示器产业中，各种显示技术(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步发展，有的已经用于电脑及计算机的显示器制造；在信息存储产业中，磁性存储器的存储容量不断增加，新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求，需求数量也逐年增加。缺点：在现有的平面靶材中，需要对平面靶材进行切割，一般设备在对平面靶材进行切割的时候，因靶材的内部使用的材料会因切割造成在切缝处产生弯曲，切割出产生粗糙不均匀。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种超硬平面靶材的切割设备。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：包括设备支架和推动轴，所述设备支架的顶端中部固定连接有工作平台，所述设备支架所使用的材料为钢材，且由多组钢材焊接而成，所述设备支架的一侧焊接有传动架，所述传动架的顶端中部固定连接有两个滑轨，两个所述滑轨与传动架的中轴线呈对称设置，所述工作平台的顶端固定连接有控制板，所述设备支架的中部设置有电路模组，所述电路模组的顶端与控制板的底端电性连接，所述电路模组的靠近传动架的一侧与传动架的一侧固定连接。优选的，所述设备支架的顶端远离工作平台的位置固定连接有限位块，所述限位块的一侧固定连接有外架，所述外架呈半圆弧状设置，所述外架靠近限位块的一侧固定连接有转轴。优选的，所述外架的表面一周固定连接有连接装置，所述连接装置的顶端固定连接有拉杆，所述拉杆的顶端固定连接有三角架，所述三角架的一侧与设备外架靠近工作平台的一侧固定连接。优选的，所述转轴的表面一周贯穿连接有切盘，所述切盘的中轴线与拉杆在同一水平面内，所述切盘的外形轮廓小于外架的外形轮廓。优选的，所述工作平台的顶端固定连接有固定连接有两个支座，两个所述支座与工作平台的中轴线呈对称设置，所述支座靠近控制板的一侧固定连接有推动轴。优选的，所述推动轴远离支座的一端固定连接有液压轴，所述液压轴的远离支座的一侧固定连接有液压杆，所述推动轴靠近支座的一端固定连接有连接块，所述液压杆的表面一周固定连接有安装杆。本技术提供了产品名称。具备以下有益效果：(1)本技术中通过设置在工作平台上设置的液压杆和推动轴，首先将平面靶材通过传动架上设置的滑轨将平面靶材传动至工作平台上时，再通过拖动轴带动液压轴和液压杆向支座方向推动平面靶材，这样可以将平面靶材匀速的传送至设置在拉杆和转轴上的切盘，再通过液压杆上设置的安装块可以紧固的将液压杆安装完成，因支座与推动轴之间设置的连接块和液压轴可以是厚重的液压杆平顺平稳的将平面靶材推送到切盘下，在其过程中平稳的推送，可以控制平面靶材的切割速率，这样可以保证平面靶材在切割过程中不会出现弯曲褶皱的情况发生。(2)本技术中，通过设置在切盘和转轴外侧的外架，因在切割的过程中平面靶材的材质较硬会产生大量的花火，这样容易产生火灾，因此外架可以遮挡切割时产生的火花。附图说明图1为本技术轴视结构示意图；图2为本技术侧视结构示意图；图3为本技术局部放大结构示意图。图中：1、设备支架；2、传动架；3、滑轨；4、控制板；5、液压杆；6、安装杆；7、液压轴；8、推动轴；9、支座；10、工作平台；11、连接块；12、电路模组；13、切盘；14、外架；15、拉杆；16、三角架；17、连接装置；18、转轴；19、限位块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。下面结合附图描述本技术的具体实施例。具体实施例：参照图1-3，包括设备支架1和推动轴8，设备支架1的顶端中部固定连接有工作平台10，设备支架1所使用的材料为钢材，且由多组钢材焊接而成，设备支架1的一侧焊接有传动架2，传动架2的顶端中部固定连接有两个滑轨3，两个滑轨3与传动架2的中轴线呈对称设置，工作平台10的顶端固定连接有控制板4，设备支架1的中部设置有电路模组12，电路模组12的顶端与控制板4的底端电性连接，电路模组12的靠近传动架2的一侧与传动架2的一侧固定连接，设备支架1的顶端远离工作平台10的位置固定连接有限位块19，限位块19的一侧固定连接有外架14，外架14呈半圆弧状设置，外架14靠近限位块19的一侧固定连接有转轴18。可选地，在本实施例中，外架14的表面一周固定连接有连接装置17，连接装置17的顶端固定连接有拉杆15，拉杆15的顶端固定连接有三角架16，三角架16的一侧与设备外架14靠近工作平台10的一侧固定连接，转轴18的表面一周贯穿连接有切盘13，切盘13的中轴线与拉杆15在同一水平面内，切盘13的外形轮廓小于外架14的外形轮廓，工作平台10的顶端固定连接有固定连接有两个支座9，两个支座9与工作平台10的中轴线呈对称设置，支座9靠近控制板4的一侧固定连接有推动轴8，推动轴8远离支座9的一端固定连接有液压轴7，液压轴7的远离支座9的一侧固定连接有液压杆5，推动轴8靠近支座9的一端固定连接有连接块11，液压杆5的表面一周固定连接有安装杆6。值得说明的是，通过设置在设备支架1一侧的传动架2，因传动架2使用的材质为钢材，其结构设置的为倒三角形状，所以平面靶材在传动架2上设置的滑轨3上滑动的时候，可以保持平面靶材滑动的更为稳定。再具体地说，通过设置在设备支架1上的线路模组和控制板4电性连接，可以通过控制板4直接控制设备转盘的转速和切割角度，这样可以达到不用在使用人工切割的好处。本技术的工作原理：通过设置在工作平台10上设置的液压杆5和推动轴8，首先将平面靶材通过传动架2上设置的滑轨3将平面靶材传动至工作平台10上时，再通过拖动轴带动液压轴7和液压杆5向支本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超硬平面靶材的切割设备，包括设备支架(1)和推动轴(8)，其特征在于：所述设备支架(1)的顶端中部固定连接有工作平台(10)，所述设备支架(1)所使用的材料为钢材，且由多组钢材焊接而成，所述设备支架(1)的一侧焊接有传动架(2)，所述传动架(2)的顶端中部固定连接有两个滑轨(3)，两个所述滑轨(3)与传动架(2)的中轴线呈对称设置，所述工作平台(10)的顶端固定连接有控制板(4)，所述设备支架(1)的中部设置有电路模组(12)，所述电路模组(12)的顶端与控制板(4)的底端电性连接，所述电路模组(12)的靠近传动架(2)的一侧与传动架(2)的一侧固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种超硬平面靶材的切割设备，包括设备支架(1)和推动轴(8)，其特征在于：所述设备支架(1)的顶端中部固定连接有工作平台(10)，所述设备支架(1)所使用的材料为钢材，且由多组钢材焊接而成，所述设备支架(1)的一侧焊接有传动架(2)，所述传动架(2)的顶端中部固定连接有两个滑轨(3)，两个所述滑轨(3)与传动架(2)的中轴线呈对称设置，所述工作平台(10)的顶端固定连接有控制板(4)，所述设备支架(1)的中部设置有电路模组(12)，所述电路模组(12)的顶端与控制板(4)的底端电性连接，所述电路模组(12)的靠近传动架(2)的一侧与传动架(2)的一侧固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于：所述设备支架(1)的顶端远离工作平台(10)的位置固定连接有限位块(19)，所述限位块(19)的一侧固定连接有外架(14)，所述外架(14)呈半圆弧状设置，所述外架(14)靠近限位块(19)的一侧固定连接有转轴(18)。


3.根据权利要求2所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于：所述外架(14)的表面一周固定连接有连接装置(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：温欢，张学智，
申请(专利权)人：河北冠靶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13