【技术实现步骤摘要】
探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法
本专利技术属于半导体工业中的测试
，特别是涉及一种探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法。
技术介绍
集成电路的制造过程中，通常可分为晶圆制程、晶圆测试、封装及最后测试几个阶段。在封装之前，通常需要对晶圆上的集成电路进行电学性能测试和晶圆测试，以判断集成电路是否良好，而完成封装工艺后的集成电路则必须再进行最终测试，即最后测试以筛选出因封装工艺不佳造成的不良品，进一步提升最终成品的良率。探针台是晶圆测试系统中的主要设备，主要由软体控制程序、硬体部件组成。其中硬体部件主要包括驱动器1、马达2、气缸3、传感器4、相机、导柱5、丝杆6及运动控制器等，如图1所示为探针台装载部分的结构示意图。探针台由于长时间使用，其运行程序及硬体部件会出现故障。探针台某一运动模块都是由驱动器、马达、传感器、运动控制器及导轨部件等组成，一旦此模块发生故障，设备工程师很难快速的判断出故障点，例如，探针台在开机时，在探针台系统还未完全开启的情况下，如果此时某一硬件部分发生故障，是无法判断出...
【技术保护点】
1.一种探针台故障检测系统，其特征在于，所述探针台故障检测系统至少包括：存储模块，数据采集模块，数据处理模块和显示模块；其中，/n所述存储模块用于存储探针台硬体部位的变量的设定参数值；/n所述数据采集模块用于采集探针台硬体部位的变量的实时进度数据值，并将采集到的所述实时进度数据值传输至所述数据处理模块；/n所述数据处理模块连接所述数据采集模块及所述存储模块，用于获取所述设定参数值及所述实时进度数据值，将所述设定参数值与所述实时进度数据值对比，获得对比结果，并根据所述对比结果获得探针台硬体部位的具体故障点；/n所述显示模块连接所述数据处理模块，用于显示所述设定参数值、所述实时...
【技术特征摘要】
1.一种探针台故障检测系统，其特征在于，所述探针台故障检测系统至少包括：存储模块，数据采集模块，数据处理模块和显示模块；其中，
所述存储模块用于存储探针台硬体部位的变量的设定参数值；
所述数据采集模块用于采集探针台硬体部位的变量的实时进度数据值，并将采集到的所述实时进度数据值传输至所述数据处理模块；
所述数据处理模块连接所述数据采集模块及所述存储模块，用于获取所述设定参数值及所述实时进度数据值，将所述设定参数值与所述实时进度数据值对比，获得对比结果，并根据所述对比结果获得探针台硬体部位的具体故障点；
所述显示模块连接所述数据处理模块，用于显示所述设定参数值、所述实时进度数据值及所述对比结果。
2.根据权利要求1所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述探针台硬体部位包括装载部位、承载部位及主系统。
3.根据权利要求2所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述装载部位包括料盒锁、料盒承载、料盒盖、机械手臂及预对准卡盘；所述承载部位包括卡盘及清针台；所述主系统包括主真空系统、主压缩系统及主电源系统。
4.根据权利要求1所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述探针台硬体部位的所述变量包括供电状态、传感器开关状态、电磁阀开关状态、驱动器状态、气体压力值、部件运行位置及马达状态。
5.根据权利要求4所述的探针台故障检测系统，其特征在于：当所述变量为所述气体压力值及所述部件运行位置时，所述显示模块显示该变量的所述设定参数值及所述实时进度数据值；当所述变量为所述供电状态、所述传感器开关状态、所述电磁阀开关状态、所述驱动器状态及所述马达状态时，所述显示模块显示该变量的状态为“ON”或“OFF”。
6.根据权利要求1所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述探针台故障检测系统用于对所述探针台开机过程中故障的检测和/或对所述探针台运行过程中故障的检测。
7.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括如权利要求1～6任意一项所述的探针台故障检测系统。
8.一种探针台故障检测方法，其特征在于，所述检测方法至少包括如下步骤：
获取探针台硬体部位的变量的设定参数值；
采集探针台硬体部位的变量的实时进度数据值；
将所述设定参数值与所述实时进度数据值对比，获得对比结果，并根据所述对比结果获得探针台硬体部位的具体故障点；
显示所述设定参数值、所述实时进度数据值及所述对比结果。
9.根据权利要求8所述的探针台故障检...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱海斌，严大生，蔡育源，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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