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本发明提供一种探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法，该故障检测系统包括：用于存储设定参数值的存储模块，用于采集实时进度数据值的数据采集模块，数据处理模块和显示模块；数据处理模块用于获取设定参数值及实时进度数据值，并将其对比，并根据...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

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