【技术实现步骤摘要】
基板支架
本专利技术涉及用于保持基板的基板支架。
技术介绍
在半导体晶圆、印刷电路基板等基板的表面形成布线、凸块(突起状电极)等。作为形成该布线以及凸块等的方法,已知有电解电镀法。在电解电镀法所使用的电镀装置中,具备密封圆形或者多边形的基板的端面,使被电镀面露出并保持的基板支架。在这样的电镀装置中在基板表面进行电镀处理时,使保持了基板的基板支架浸渍到电镀液中。如日本特开2018-40045号公报(专利文献1)以及日本特开2019-7075号公报(专利文献2)所记载的那样,已知有与大型的特别是矩形的基板对应的基板支架。在日本特开2018-40045号公报(专利文献1)记载了利用夹具将基板固定到背板,之后将背板与前板重叠,并利用夹钳将前板固定到背板,从而保持基板的基板支架。另外,在日本特开2019-7075号公报(专利文献2)记载了经由汇流条对配置在基板的周围的多个基板接点进行供电的基板支架。另外,在日本特开2008-133526号公报(专利文献3)记载了改善对基板的按压力的提供的电镀夹具的例子。在该例子中,通过在放置在夹具主体上的凹部内的基板上重叠按压部件,并将与基板中心对应地设置了弹簧的罩部件固定在夹具主体的上表面,从而在罩部件与按压部件之间压缩弹簧而向密封部件按压基板,将基板密封。另外,在日本特开2007-46154号公报(专利文献4)公开了通过使环的卡定机构与卡定于工件支架主体侧的可挠性部件卡定,并通过可挠性部件向主体侧拉动环,来利用环的密封面按压基板的构成的工件支架。该工件支架在主体内内 ...
【技术保护点】
1.一种基板支架,具备:/n接点组件,具有接点、密封部件以及保持体,上述接点作为与基板的第一面的外周部接触的电接点,上述密封部件具有覆盖上述接点的前端部的周围并与上述第一面接触的密封部,上述保持体保持上述接点以及上述密封部件;/n第一板,位于上述基板的第二面侧,在该第一板与上述接点组件之间夹持上述基板;/n至少一个第一销,固定于上述接点组件的上述保持体,上述第一销在上述基板的外侧朝向上述第二面侧延伸,且具有被卡定部;/n卡定部件,相对于上述第一板配置在上述第二面侧,且能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态;以及/n至少一个第一施压部件,沿着上述基板的外周部,设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离,在上述卡定状态下在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩,朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。/n
【技术特征摘要】
20191213 JP 2019-2257771.一种基板支架,具备:
接点组件,具有接点、密封部件以及保持体,上述接点作为与基板的第一面的外周部接触的电接点,上述密封部件具有覆盖上述接点的前端部的周围并与上述第一面接触的密封部,上述保持体保持上述接点以及上述密封部件;
第一板,位于上述基板的第二面侧,在该第一板与上述接点组件之间夹持上述基板;
至少一个第一销,固定于上述接点组件的上述保持体,上述第一销在上述基板的外侧朝向上述第二面侧延伸,且具有被卡定部;
卡定部件,相对于上述第一板配置在上述第二面侧,且能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态;以及
至少一个第一施压部件,沿着上述基板的外周部,设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离,在上述卡定状态下在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩,朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。
2.一种基板支架,具备:
接点组件,具有接点、密封部件以及保持体,上述接点作为与基板的第一面的外周部接触的电接点,上述密封部件具有在上述接点的内侧与上述第一面接触的密封部,上述保持体保持上述接点以及上述密封部件;
第一板,位于上述基板的第二面侧,在该第一板与上述接点组件之间夹持上述基板;
多个第一销,固定于上述接点组件的上述保持体,上述第一销在上述基板的外侧朝向上述第二面侧延伸,且具有被卡定部;
卡定部件,相对于上述第一板配置在上述第二面侧,且能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态;以及
多个第一施压部件,沿着上述基板的外周部设置,设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离,在上述卡定状态下,在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩,朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。
3.根据权利要求1或者2所述的基板支架,其中,
还具备相对于上述第一板配置的第二板,
上述第一施压部件配置在上述第一板与上述第二板之间以使上述第一板与上述第二板相互分离,
上述卡定部件在上述第二板的与上述第一板相反侧与上述第一销的上述被卡定部卡定。
4.根据权利要求3所述的基板支架,其中,
还具备配置在上述卡定部件与上述第二板之间的第二施压部件,
上述卡定部件通过上述第二施压部件被施压至上述卡定状态或者上述非卡定状态。
5.根据权利要求3所述的基板支架,其中,
还具备固定于上述第二板的第二销,
上述卡定部件具有供上述第二销插入的第一引导孔,
上述卡定部件沿着上述第二板的面被上述第二销引导,在上述卡定部件的上述卡定状态与上述非卡定状态之间移动。
6.根据权利要求3所述的基板支架,其中,
上述卡定部件与上述第二板一起以与上述第一板接近以及分离的方式移动,
上述第一板...
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