一种调节针座及探针台制造技术

本实用新型专利技术提出一种调节针座及探针台。一种调节针座，旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。提升凸轮与滚轮接触的稳定性，提升凸轮驱动探针安装部运动的位置精度。

【技术实现步骤摘要】
一种调节针座及探针台
本技术涉及一种调节针座及探针台。
技术介绍
对半导体芯粒进行批量测试时，为提升效率需要在上一颗芯粒测试完成后将测试探针升起远离已测试的芯粒；当下一颗芯粒到达测试位置时，该测试探针下降止抵于芯粒以完成测试；对测试探针的上升和下降的控制一般方案采用凸轮止抵安装有测试探针的机构完成。为保证测试探针的位置精度，需要保证凸轮与探针安装部接触，常规方案是采用弹簧结构两端分别连接于探针安装部和机架，在弹簧的作用力下，使探针安装部止抵于凸轮。然而，弹簧由于自身具有的弹性和疲劳寿命，造成探针安装部容易与凸轮分离；当采用弹性系数更大的弹簧时，探针安装部与凸轮之间因作用力太大而造成磨损。
技术实现思路
为至少部分解决上述技术问题，本技术提出一种调节针座及探针台。本技术的技术方案为：一种调节针座，旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；吹气部安装于机架，且吹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调节针座，其特征在于：/n旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；/n探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；/n吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。/n

【技术特征摘要】
1.一种调节针座，其特征在于：
旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；
探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；
吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。


2.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：滚轮的轴线与凸轮的轴线共面所在的平面平行于直线导轨限定的方向。


3.根据权利要求2所述的调节针座，其特征在于：所述吹气部为气浮装置。


4.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：所述机架绕旋转电机的输出轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨应俊，颜建武，王胜利，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44