下载一种调节针座及探针台的技术资料

文档序号:28894904

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本实用新型提出一种调节针座及探针台。一种调节针座,旋转电机安装于机架,所述旋转电机的输出轴连接有凸轮;探针安装部通过直线导轨连接于机架,且探针安装部枢接有滚轮,旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动;吹气部安装于机架,且吹...
该专利属于矽电半导体设备(深圳)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽电半导体设备(深圳)股份有限公司授权不得商用。

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