一种手动测试平台粗微调升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种手动测试平台粗微调升降机构，包括可升降台板、台板Z向粗调旋钮、台板定距离运动拨杆、升降固定板、升降丝杆、直线导轨、主动带轮、同步带张紧装置、第一从动带轮、第二从动带轮、同步带、拨杆限位座、锁紧旋钮、主动丝杠和底板；本实用新型专利技术在使用过程中省去了逐一调节各个探针座的过程；在保留了探针座的使用环境下，满足了对“探卡”的适配使用环境且极大的满足了对测试统一性的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种手动测试平台粗微调升降机构
本技术涉及探针台，具体涉及一种手动测试平台粗微调升降机构。
技术介绍
探针台主要应用在半导体/微电子、电子、机电、物理、化学、材料、光电、纳米、微机电/MEMS、生物芯片、航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。其价格适中，稳定性强，可升级扩展，操作方便；在各大高校、研究所及半导体行业应用较广；探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。现有探针台的载物台只能进行XY方向的平面运动，当载物台移动至合适位置时，就需要调节Z向探针进行扎针测试，如果所需同时测试的pad点过多，就需要逐一调节每一个探针座的Z向位置，极大的降低了工作效率，针对上述所提出的问题，本方案提出了一种手动测试平台粗微调升降机构。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供手动测试平台粗微调升降机构。根据本技术实施例提供的技术方案，一种手动测试平台粗微调升降机构，包括可升降台板、台板Z向粗调旋钮、台板定距离运动拨杆、升降固定板、升降丝杆、直线导轨、主动带轮、同步带张紧装置、第一从动带轮、第二从动带轮、同步带、拨杆限位座、锁紧旋钮、主动丝杠和底板；在所述底板的左侧前端安装有所述拨杆限位座，在所述拨杆限位座的中部设有呈竖向贯穿所述拨杆限位座和底板的所述主动丝杠，在所述拨杆限位座的正面开设有拨杆环槽，所述台板定距离运动拨杆的尾端伸入所述拨杆环槽的内部并安装；在所述拨杆限位座的侧面安装有所述锁紧旋钮；所述主动丝杠的上端延伸至所述拨杆限位座的外部且在所述主动丝杠的上端套接设有所述台板Z向粗调旋钮；所述主动丝杠的下端延伸至所述底板的底部且在所述主动丝杠的杆体下端套接固定有所述主动带轮，在所述底板背面的左、右两侧分别对称设有所述第一从动带轮、第二从动带轮，在所述主动带轮、第一从动带轮和第二从动带轮的外部套装有所述同步带；在所述主动带轮和第一从动带轮之间的同步带上安装有所述同步带张紧装置；在所述底板表面的左、右两侧对称设有呈竖向贯穿所述底板的所述升降丝杆，左、右两侧所述升降丝杆的下端均延伸至所述底板的底部且分别与第一从动带轮和第二从动带轮连接；所述升降丝杆的上端延伸至所述底板的上方，所述升降丝杆的丝杆螺母位于所述底板的上方且在所述丝杆螺母上固定有所述直线导轨，在左、右两侧所述直线导轨的内壁安装有与所述直线导轨呈平行状的连接板，在左、右两侧所述连接板的上端面之间安装固定有所述可升降台板在所述底板的表面、沿所述升降丝杆的四周安装固定有所述升降固定板。本技术中，所述主动带轮和第一从动带轮设置于同一竖向水平线上；所述主动带轮、第一从动带轮和第二从动带轮之间构成直角三角形结构。本技术中，左侧所述升降丝杆的设置位置与第一从动带轮的设置位置之间呈上、下对应；右侧所述升降丝杆的设置位置与第二从动带轮的设置位置之间呈上、下对应。本技术中，在所述底板的四周边缘的中部位置均设置有固定环。本技术中，所述台板定距离运动拨杆的头端位于所述拨杆限位座和拨杆环槽的外部。本技术中，在所述台板定距离运动拨杆的头端设有直径大于所述台板定距离运动拨杆的杆体直径的拨杆球。本技术中，在所述拨杆限位座的侧面开设有旋动槽；所述锁紧旋钮的锁紧杆伸入所述旋动槽中并安装，所述锁紧旋钮位于所述拨杆限位座和旋动槽的外部。综上所述，本技术的有益效果：1.使用过程中省去了逐一调节各个探针座的过程。2.在保留了探针座的使用环境下，满足了对“探卡”的适配使用环境。3.在测试样品的首点进行调节后，整个晶圆上的其余测试点，在扎针力度上都和首点吻合，又极大的满足了对测试统一性的要求。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术的立体结构示意图；图2为本技术的仰视结构示意图；图3为本技术中拨杆限位座部位的结构示意图；图4为本技术中拨杆限位座部位的剖面结构示意图。图中标号：1.可升降台板、2.台板Z向粗调旋钮、3.台板定距离运动拨杆、4.升降固定板、5.升降丝杆、6.直线导轨、7.主动带轮、8.同步带张紧装置、9.第一从动带轮、10.第二从动带轮、11.同步带、12.拨杆限位座、13.锁紧旋钮、14.主动丝杠、15.底板。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1、图2、图3和图4所示，一种手动测试平台粗微调升降机构，包括可升降台板1、台板Z向粗调旋钮2、台板定距离运动拨杆3、升降固定板4、升降丝杆5、直线导轨6、主动带轮7、同步带张紧装置8、第一从动带轮9、第二从动带轮10、同步带11、拨杆限位座12、锁紧旋钮13、主动丝杠14和底板15；在所述底板15的左侧前端安装有所述拨杆限位座12，在所述拨杆限位座12的中部设有呈竖向贯穿所述拨杆限位座12和底板15的所述主动丝杠14，在所述拨杆限位座12的正面开设有拨杆环槽，所述台板定距离运动拨杆3的尾端伸入所述拨杆环槽的内部并安装；在所述拨杆限位座12的侧面安装有所述锁紧旋钮13；所述主动丝杠14的上端延伸至所述拨杆限位座12的外部且在所述主动丝杠14的上端套接设有所述台板Z向粗调旋钮2；所述主动丝杠14的下端延伸至所述底板15的底部且在所述主动丝杠14的杆体下端套接固定有所述主动带轮7，在所述底板15背面的左、右两侧分别对称设有所述第一从动带轮9、第二从动带轮10，在所述主动带轮7、第一从动带轮9和第二从动带轮10的外部套装有所述同步带11；在所述主动带轮7和第一从动带轮9之间的同步带11上安装有所述同步带张紧装置8；在所述底板15表面的左、右两侧对称设有呈竖向贯穿所述底板15的所述升降丝杆5，左、右两侧所述升降丝杆5的下端均延伸至所述底板15的底部且分别与第一从动带轮9和第二从动带轮10连接；所述升降丝杆5的上端延伸至所述底板15的上方，所述升降丝杆5的丝杆螺母位于所述底板15的上方且在所述丝杆螺母上固定有所述直线导轨6，在左、右两侧所述直线导轨6的内壁安装有与所述直线导轨6呈平行状的连接板，在左、右两侧所述连接板的上端面之间安装固定有所述可升降台板1；在所述底板15的表面、沿所述升降丝杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种手动测试平台粗微调升降机构，其特征是：包括可升降台板(1)、台板Z向粗调旋钮(2)、台板定距离运动拨杆(3)、升降固定板(4)、升降丝杆(5)、直线导轨(6)、主动带轮(7)、同步带张紧装置(8)、第一从动带轮(9)、第二从动带轮(10)、同步带(11)、拨杆限位座(12)、锁紧旋钮(13)、主动丝杠(14)和底板(15)；在所述底板(15)的左侧前端安装有所述拨杆限位座(12)，在所述拨杆限位座(12)的中部设有呈竖向贯穿所述拨杆限位座(12)和底板(15)的所述主动丝杠(14)，在所述拨杆限位座(12)的正面开设有拨杆环槽，所述台板定距离运动拨杆(3)的尾端伸入所述拨杆环槽的内部并安装；在所述拨杆限位座(12)的侧面安装有所述锁紧旋钮(13)；所述主动丝杠(14)的上端延伸至所述拨杆限位座(12)的外部且在所述主动丝杠(14)的上端套接设有所述台板Z向粗调旋钮(2)；所述主动丝杠(14)的下端延伸至所述底板(15)的底部且在所述主动丝杠(14)的杆体下端套接固定有所述主动带轮(7)，在所述底板(15)背面的左、右两侧分别对称设有所述第一从动带轮(9)、第二从动带轮(10)，在所述主动带轮(7)、第一从动带轮(9)和第二从动带轮(10)的外部套装有所述同步带(11)；在所述主动带轮(7)和第一从动带轮(9)之间的同步带(11)上安装有所述同步带张紧装置(8)；在所述底板(15)表面的左、右两侧对称设有呈竖向贯穿所述底板(15)的所述升降丝杆(5)，左、右两侧所述升降丝杆(5)的下端均延伸至所述底板(15)的底部且分别与第一从动带轮(9)和第二从动带轮(10)连接；所述升降丝杆(5)的上端延伸至所述底板(15)的上方，所述升降丝杆(5)的丝杆螺母位于所述底板(15)的上方且在所述丝杆螺母上固定有所述直线导轨(6)，在左、右两侧所述直线导轨(6)的内壁安装有与所述直线导轨(6)呈平行状的连接板，在左、右两侧所述连接板的上端面之间安装固定有所述可升降台板(1)；在所述底板(15)的表面、沿所述升降丝杆(5)的四周安装固定有所述升降固定板(4)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种手动测试平台粗微调升降机构，其特征是：包括可升降台板(1)、台板Z向粗调旋钮(2)、台板定距离运动拨杆(3)、升降固定板(4)、升降丝杆(5)、直线导轨(6)、主动带轮(7)、同步带张紧装置(8)、第一从动带轮(9)、第二从动带轮(10)、同步带(11)、拨杆限位座(12)、锁紧旋钮(13)、主动丝杠(14)和底板(15)；在所述底板(15)的左侧前端安装有所述拨杆限位座(12)，在所述拨杆限位座(12)的中部设有呈竖向贯穿所述拨杆限位座(12)和底板(15)的所述主动丝杠(14)，在所述拨杆限位座(12)的正面开设有拨杆环槽，所述台板定距离运动拨杆(3)的尾端伸入所述拨杆环槽的内部并安装；在所述拨杆限位座(12)的侧面安装有所述锁紧旋钮(13)；所述主动丝杠(14)的上端延伸至所述拨杆限位座(12)的外部且在所述主动丝杠(14)的上端套接设有所述台板Z向粗调旋钮(2)；所述主动丝杠(14)的下端延伸至所述底板(15)的底部且在所述主动丝杠(14)的杆体下端套接固定有所述主动带轮(7)，在所述底板(15)背面的左、右两侧分别对称设有所述第一从动带轮(9)、第二从动带轮(10)，在所述主动带轮(7)、第一从动带轮(9)和第二从动带轮(10)的外部套装有所述同步带(11)；在所述主动带轮(7)和第一从动带轮(9)之间的同步带(11)上安装有所述同步带张紧装置(8)；在所述底板(15)表面的左、右两侧对称设有呈竖向贯穿所述底板(15)的所述升降丝杆(5)，左、右两侧所述升降丝杆(5)的下端均延伸至所述底板(15)的底部且分别与第一从动带轮(9)和第二从动带轮(10)连接；所述升降丝杆(5)的上端延伸至所述底板(15)的上方，所述升降丝杆(5)的丝杆螺母位于所述底板(15)的上方且...

【专利技术属性】
技术研发人员：马俊涛，
申请(专利权)人：河北博特半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13