基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片。包括III‑V族化合物半导体材料基底、两个可调谐激光器、光调制器和多模干涉耦合器；可调谐激光器、光调制器、多模干涉耦合器和光波导均集成于III‑V族化合物半导体材料基底上；两个可调谐激光器呈并联布置，其中一个可调谐激光器经光调制器连接至多模干涉耦合器输入端，另一个可调谐激光器直接连接至多模干涉耦合器的输入端；上述器件均通过光波导连接。相比于传统的太赫兹发射器，本发明专利技术结构简单，可集成于单片光子芯片上，能实现真正的片上系统SoC；同时其频率灵活连续可调且覆盖较长的传输频率窗口，从而大幅度降低了太赫兹通信系统的复杂度。

【技术实现步骤摘要】
基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片
本专利技术属于太赫兹(THz)光谱
，具体涉及一种基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片。
技术介绍
太赫兹(Terahertz，简称THz)波是指频率在0.1-10THz范围内的电磁波，其波段位于电磁波谱中毫米波和远红外光之间(30μm-3mm)，所以亦称其为亚毫米波。太赫兹波在物理、化学、生命科学、医学成像、安全检查、产品检测、高频无线通信等应用领域都具有十分重要的研究价值和广泛的应用前景。人类社会对太赫兹辐射的认识已经有近一百年的历史，但与发展成熟的毫米波和远红外光技术相比，太赫兹波的产生技术仍然十分落后，缺乏能够室温下工作的高效率、可调谐、低成本、小型化的太赫兹波产生方法，导致人们对太赫兹波段的认识仍然非常有限，因此在电磁波谱中这一频段被称为“太赫兹鸿沟(THzGap)”。这大大阻碍了太赫兹波技术在各领域中的推广应用。可批量生产的小型化、低成本半导体器件是未来十年大规模部署商用太赫兹通讯系统的关键技术。由于结构简单、频率灵活可调，双波长激光器拍频是太赫本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片，其特征在于，包括半导体材料基底、两个可调谐激光器、光调制器和多模干涉耦合器；可调谐激光器、光调制器、多模干涉耦合器和光波导均集成于半导体材料基底上；/n两个可调谐激光器呈并联布置，其中一个可调谐激光器经光调制器连接至多模干涉耦合器输入端，另一个可调谐激光器直接连接至多模干涉耦合器的输入端；其中一个可调谐激光器与光调制器之间、光调制器与多模干涉耦合器之间、另一个可调谐激光器与多模干涉耦合器之间均通过光波导连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片，其特征在于，包括半导体材料基底、两个可调谐激光器、光调制器和多模干涉耦合器；可调谐激光器、光调制器、多模干涉耦合器和光波导均集成于半导体材料基底上；
两个可调谐激光器呈并联布置，其中一个可调谐激光器经光调制器连接至多模干涉耦合器输入端，另一个可调谐激光器直接连接至多模干涉耦合器的输入端；其中一个可调谐激光器与光调制器之间、光调制器与多模干涉耦合器之间、另一个可调谐激光器与多模干涉耦合器之间均通过光波导连接。


2.根据权利要求1所述的一种基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片，其特征在于，两个可调谐激光器分别产生两路波长可调谐的激光信号，其中一路激光信号经光调制器调制后输入多模干涉耦合器，另一路激光信号直接输入多模干涉耦合器；2×1多模干涉耦合器将两路激光信号进行合波后输出。


3.根据权利要求1所述的一种基于并联式双可调谐激光器的太赫兹源单片光子集成芯片，...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊婉姝，吉晨，李玉苗，郭乾文，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33