阀装置和气体供给系统制造方法及图纸

提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】阀装置和气体供给系统
本专利技术涉及能够拆卸地安装于形成有流路的流路块的阀装置和使用了该阀的气体供给系统。
技术介绍
在半导体制造工序中，对于半导体制造装置的腔室使用了控制各种工艺气体的供给的阀。在原子层沉积法(ALD：AtomicLayerDeposition法)等工艺中，对于小型化并且使膜沉积于基板的处理工艺所使用的工艺气体的流量控制，要求高响应性、高精密性。为了实现该要求，需要尽可能地省略配管，使配管内的残留气体减少，使阀小型化，并且在尽可能接近工艺气体的供给目的地的场所使许多阀集成化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-47514号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1公开了一种集成化阀，其被模块化，并且不借助接头构件而是与作为气体供给目的地的流路块直接螺纹结合。本专利技术的目的之一在于提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置和使用了该阀装置的气体供给系统。用于解决问题的方案本专利技术的阀装置能够拆卸地安装于形成有流路的流路块，其中，所述阀装置具有：阀体，其收纳于在所述流路块形成且截面形状为圆形的收纳凹部，并且在底面形成有第1端口和第2端口；以及阀盖螺母，其形成于外周的外螺纹部和形成于所述收纳凹部的内周的内螺纹部螺纹结合，由此，将所述阀体朝向所述收纳凹部的底部按压，并且将该阀体固定于所述流路块，所述阀体具有外周面部，该外周面部嵌入于所述流路块的收纳凹部的内周面部，在所述外周面部形成有定位用的凸部，该凸部规定所述阀体相对于所述流路块的绕中心轴线的旋转位置。优选的是，能够采用这样的结构：在所述阀体的仰视图中，所述定位用的凸部控制在所述阀盖螺母的外周的螺纹部的外径内。优选的是，能够采用这样的结构：所述定位用的凸部与自所述流路块的收纳凹部的内周的上端部朝向底部延伸的槽部卡合。更加优选的是，能够采用这样的结构：所述槽部形成于所述内螺纹部以及供所述外周面部嵌入的所述内周面部。本专利技术的气体供给系统排列有多个流体设备，其中，所述多个流体设备包括上述的阀装置。优选的是，所述阀装置设于气体供给系统的供给路径的最后段。专利技术的效果根据本专利技术，能够在不扩大阀体的外径的情况下规定阀体和流路块的旋转位置关系，因此，能够提供进一步小型化且适合于集成化的构造的阀装置。附图说明图1是在本专利技术的一实施方式的阀装置、金属垫片以及流路块的局部中包含截面的立体图。图2是将图1的阀装置安装于流路块的状态的纵剖视图。图3是图1的阀装置的仰视图。图4是表示流路块的收纳凹部内的构造的俯视图。图5是集成化后的本实施方式的阀装置的立体图。图6是表示应用本实施方式的阀装置的气体供给系统的一例的概略图。具体实施方式以下，参照附图对本公开的实施方式进行说明。在说明中，对相同的要素标注相同的附图标记，并且适当省略重复的说明。图1示出了将本专利技术的一实施方式的阀装置1从作为安装目的地的流路块30拆卸后的状态。图2示出了将阀装置1安装于流路块30的状态的纵截面。图3表示阀装置1的仰视图，图4是流路块30的收纳凹部35的俯视图。阀装置1具有阀体3、阀座5、内盘7、隔膜10、致动器15、滚珠轴承17以及阀盖螺母20。阀体3是在上部具有圆筒部3b且在底部具有扩径部3c的以轴线Ct为中心轴线的旋转体，形成有流路3A和流路3B，流路3A的一端与在阀体3的底面开口的端口3p1连通，流路3B的一端与在阀体3的底面开口的端口3p2连通。如图3的仰视图所示，端口3p1和端口3p2形成为关于包含阀体3的轴线Ct的假想平面PL左右对称。在端口3p1和端口3p2的周围，自底面突出地形成的密封用的突起4与阀体3一体地形成。突起4是为了被按压于垫片21并使垫片21塑性变形而设置的。突起4包括两个圆环状突起4a和圆环状突起4b，圆环状突起4a和圆环状突起4b形成为共用局部。即，圆环状突起4a和圆环状突起4b的局部由共用的突起部分4c构成。在本实施方式中，突起4作为整体而具有数字8状的外轮廓形状，但并不限定于此。圆环状突起4a和圆环状突起4b的局部由共用的突起部分4c构成，由此，成为能够使端口3p1和端口3p2的距离更加接近，能够缩小阀体3的外径。在阀体3中，在圆筒部3b的底部的流路3B的开口的周围设有圆环状的阀座5，该阀座5被内盘7保持于固定位置。在内盘7上设有金属制的隔膜10，整面地覆盖内盘7。隔膜10利用被致动器15驱动的隔膜按压件12而与阀座5抵接、分离，由此，将流路3A与流路3B之间连通、切断。利用向阀体3的圆筒部3b的内周拧入的致动器15的下端部的顶端面，将隔膜10朝向阀体3按压，由此隔膜10气密地进行固定。另外，致动器15通过与阀体3的圆筒部3b的内周螺纹结合而与阀体3连接。在阀体3的底部形成的扩径部3c利用其上端面支承滚珠轴承17，扩径部3c的外周面成为与在后述的流路块30的收纳凹部35的内周形成的内周面部35a嵌合的外周面部3f。在该外周面部3f形成有定位用的凸部3a，该凸部3a规定阀体3相对于流路块30的以轴线Ct为中心的旋转位置。凸部3a在沿着轴线Ct的方向上延伸。此外，凸部3a的形状并不限定于此，但若使凸部3a在沿着轴线Ct的方向上延伸，则在与后述直线状的槽部35c卡合时移动变得顺畅。在阀体3的外周配置有形成为圆筒状的阀盖螺母20，并且阀盖螺母20的下端面隔着滚珠轴承17而配置于阀体3的扩径部3c上。在阀盖螺母20的外周面形成有外螺纹部20a，该外螺纹部20a与后述的流路块30的收纳凹部35的内螺纹部35s螺纹结合。如图3所示，在阀体3的仰视图中，上述的定位用的凸部3a控制在阀盖螺母20的外周的外螺纹部20a的外径内。如图1和图2所示出，流路块30形成有流路31和流路32，并且具有截面形状为圆形的收纳凹部35。如图4所示，在收纳凹部35的底面35b，与流路31连通的端口31p和与流路32连通的端口32p开口。端口31p和端口32p的形成位置分别与阀体3的端口3p1和端口3p2对应。另外，在端口31p和端口32p的周围，自收纳凹部35的底面35b突出地形成的密封用的突起33与流路块30一体地形成。突起33是为了被按压于垫片21按压并使垫片21塑性变形而设置的。突起33包括两个圆环状突起33a和圆环状突起33b，圆环状突起33a和圆环状突起33b形成为共用局部。即，圆环状突起33a和圆环状突起33b的局部由共用的突起部分33c构成。突起33形成于与阀体3的突起4对应的位置。在流路块30的收纳凹部35的内周，自上端侧朝向底部而形成有内螺纹部35s，在最底部形成有供阀体3的外周面部3f嵌入的内周面部35a。由于内螺纹部35s的内径形成得比内周面部35a的内径稍大，因此阀体3的外周面部3f不会与内螺纹部35s干扰。再者，在收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀装置，其能够拆卸地安装于形成有流路的流路块，其中，/n所述阀装置具有：/n阀体，其收纳于在所述流路块形成且截面形状为圆形的收纳凹部，并且在底面形成有第1端口和第2端口；以及/n阀盖螺母，其形成于外周的外螺纹部和形成于所述收纳凹部的内周的内螺纹部螺纹结合，由此，将所述阀体朝向所述收纳凹部的底部按压，并且将该阀体固定于所述流路块，/n所述阀体具有外周面部，所述外周面部嵌入于所述流路块的收纳凹部的内周面部，在所述外周面部形成有定位用的凸部，所述凸部规定所述阀体相对于所述流路块的以中心轴线为中心的旋转位置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181026 JP 2018-2018301.一种阀装置，其能够拆卸地安装于形成有流路的流路块，其中，
所述阀装置具有：
阀体，其收纳于在所述流路块形成且截面形状为圆形的收纳凹部，并且在底面形成有第1端口和第2端口；以及
阀盖螺母，其形成于外周的外螺纹部和形成于所述收纳凹部的内周的内螺纹部螺纹结合，由此，将所述阀体朝向所述收纳凹部的底部按压，并且将该阀体固定于所述流路块，
所述阀体具有外周面部，所述外周面部嵌入于所述流路块的收纳凹部的内周面部，在所述外周面部形成有定位用的凸部，所述凸部规定所述阀体相对于所述流路块的以中心轴线为中心的旋转位置。


2.根据权利要求1所述的阀装置，其中，
在所述阀体的仰视图中，所述定位用的凸部控制在所述阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田隆博，相川献治，原田章弘，渡边一诚，中田知宏，篠原努，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP