一种高精度真空在线监测控制系统技术方案

本实用新型专利技术属于设备监测领域，尤其是一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件和箱体，所述箱体位于待检测设备真空组件的一侧，所述待检测设备真空组件的顶部安装有测压接口和第一抽真空接口，所述测压接口和第一抽真空结构分别连接有高精密度真空传感器和精密真空调压阀，所述高精密度真空传感器连接有带屏蔽真空传感器连接电缆的一端，所述箱体一侧上安装有真空传感器电缆插座，且带屏蔽真空传感器连接电缆的另一端与真空传感器电缆插座连接，本实用新型专利技术高精度真空在线监测系统可对设备内部真空组件在线实时监控，易于携带，此外通过精密真空调压阀调节真空度，还可以实时观察真空度变化对设备运行带来的影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度真空在线监测控制系统


[0001]本技术涉及设备监测
，尤其涉及一种高精度真空在线监测控制系统。

技术介绍

[0002]目前市场上设备的真空组件在线运行时，若需要监控其内部真空度变化情况，通常只能停机后进行，无法反映设备运行时真空的真正状况。现有的在线监测手段，仅可以用于特殊结构的真空组件，且无法避免设备电磁场对测量的干扰，影响测量结果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高精度真空在线监测控制系统。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件和箱体，所述箱体位于待检测设备真空组件的一侧，所述待检测设备真空组件的顶部安装有测压接口和第一抽真空接口，所述测压接口和第一抽真空接口分别连接有高精密度真空传感器和精密真空调压阀，所述高精密度真空传感器连接有带屏蔽真空传感器连接电缆的一端，所述箱体一侧上安装有真空传感器电缆插座，且带屏蔽真空传感器连接电缆的另一端与真空传感器电缆插座连接。
[0006]优选的，所述箱体内设有配件存放区，配件存放区的一侧设有总电源插座和可编程逻辑控制器，可编程逻辑控制器上安装有工控触摸显示器。
[0007]优选的，所述箱体上固定安装有温度传感器，且温度传感器位于工控触摸显示器的一侧。
[0008]优选的，所述精密真空调压阀的一侧安装有第二抽真空接口，且第二抽真空接口与真空泵连接。
[0009]优选的，所述精密真空调压阀的顶部安装有调节手柄，测压接口和第一抽真空接口均通过卡箍与高精密度真空传感器和精密真空调压阀卡紧连接。
[0010]本技术中，所述一种高精度真空在线监测控制系统，本高精度真空在线监测系统可对设备内部真空组件在线实时监控，易于携带，此外通过精密真空调压阀调节真空度，还可以实时观察真空度变化对设备运行带来的影响。
附图说明
[0011]图1为本技术提出的一种高精度真空在线监测控制系统的待检测设备真空组件结构示意图；
[0012]图2为本技术提出的一种高精度真空在线监测控制系统的箱体结构示意图。
[0013]图中：1待检测设备真空组件、2测压接口、3第一抽真空接口、 4卡箍、5高精度真空
传感器、6带屏蔽真空传感器连接电缆、7精密真空调压阀、8第二抽真空接口、9调节手柄、10箱体、11配件存放区、12真空传感器电缆插座、13总电源插座、14可编程逻辑控制器、 15工控触摸显示器、16温度传感器。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0015]参照图1
‑
2，一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件1和箱体10，箱体10位于待检测设备真空组件1的一侧，待检测设备真空组件1的顶部安装有测压接口2和第一抽真空接口3，测压接口2和第一抽真空接口3分别连接有高精密度真空传感器5和精密真空调压阀7，高精密度真空传感器5连接有带屏蔽真空传感器连接电缆6的一端，箱体10一侧上安装有真空传感器电缆插座12，且带屏蔽真空传感器连接电缆6的另一端与真空传感器电缆插座12 连接。
[0016]本技术中，箱体10内设有配件存放区11，配件存放区11 的一侧设有总电源插座13和可编程逻辑控制器14，可编程逻辑控制器14上安装有工控触摸显示器15。
[0017]本技术中，箱体10上固定安装有温度传感器16，且温度传感器16位于工控触摸显示器15的一侧。
[0018]本技术中，精密真空调压阀7的一侧安装有第二抽真空接口 8，且第二抽真空接口8与真空泵连接。
[0019]本技术中，精密真空调压阀7的顶部安装有调节手柄9，测压接口2和第一抽真空接口3均通过卡箍4与高精密度真空传感器5 和精密真空调压阀7卡紧连接。
[0020]本技术中，待监测设备真空组件1的测压接口2与高精度真空传感器5连接，采用卡箍4锁紧，待监测设备真空组件1的第一抽真空接口3与精密真空调压阀7连接，采用卡箍4锁紧紧固，精密真空调压阀7的第二抽真空接口8与真空泵连接，将带屏蔽真空传感器连接电缆6分别连接至高精度真空传感器5和箱体10的真空传感器电缆插座12，将总电源电缆连接至箱体10上的总电源插座13，开启电源，系统即可开始自动实时在线监测设备当前真空度和当前环境温度，由于采用带屏蔽真空传感器连接电缆6，箱体10部分可远离待测设备，避免电磁干扰。此外，本技术的特征还在于通过精密真空调压阀7调节设备真空组件真空度，观察真空度变化对设备运行带来的影响。
[0021]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件(1)和箱体(10)，其特征在于，所述箱体(10)位于待检测设备真空组件(1)的一侧，所述待检测设备真空组件(1)的顶部安装有测压接口(2)和第一抽真空接口(3)，所述测压接口(2)和第一抽真空接口(3)分别连接有高精密度真空传感器(5)和精密真空调压阀(7)，所述高精密度真空传感器(5)连接有带屏蔽真空传感器连接电缆(6)的一端，所述箱体(10)一侧上安装有真空传感器电缆插座(12)，且带屏蔽真空传感器连接电缆(6)的另一端与真空传感器电缆插座(12)连接。2.根据权利要求1所述的一种高精度真空在线监测控制系统，其特征在于，所述箱体(10)内设有配件存放区(11)，配件存放区(11)的一侧设有总电源插...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏来，姜新生，郭鹏，
申请(专利权)人：航宇智创科技重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：