一种高精度真空在线监测控制系统技术方案

本实用新型专利技术属于设备监测领域，尤其是一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件和箱体，所述箱体位于待检测设备真空组件的一侧，所述待检测设备真空组件的顶部安装有测压接口和第一抽真空接口，所述测压接口和第一抽真空结构分别连接有高精密度真空传感器和精密真空调压阀，所述高精密度真空传感器连接有带屏蔽真空传感器连接电缆的一端，所述箱体一侧上安装有真空传感器电缆插座，且带屏蔽真空传感器连接电缆的另一端与真空传感器电缆插座连接，本实用新型专利技术高精度真空在线监测系统可对设备内部真空组件在线实时监控，易于携带，此外通过精密真空调压阀调节真空度，还可以实时观察真空度变化对设备运行带来的影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度真空在线监测控制系统


[0001]本技术涉及设备监测
，尤其涉及一种高精度真空在线监测控制系统。

技术介绍

[0002]目前市场上设备的真空组件在线运行时，若需要监控其内部真空度变化情况，通常只能停机后进行，无法反映设备运行时真空的真正状况。现有的在线监测手段，仅可以用于特殊结构的真空组件，且无法避免设备电磁场对测量的干扰，影响测量结果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高精度真空在线监测控制系统。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件和箱体，所述箱体位于待检测设备真空组件的一侧，所述待检测设备真空组件的顶部安装有测压接口和第一抽真空接口，所述测压接口和第一抽真空接口分别连接有高精密度真空传感器和精密真空调压阀，所述高精密度真空传感器连接有带屏蔽真空传感器连接电缆的一端，所述箱体一侧上安装有真空传感器电缆插座，且带屏蔽真空传感器连接电缆的另一端与真空传感器电缆插座连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度真空在线监测控制系统，包括待检测设备真空组件(1)和箱体(10)，其特征在于，所述箱体(10)位于待检测设备真空组件(1)的一侧，所述待检测设备真空组件(1)的顶部安装有测压接口(2)和第一抽真空接口(3)，所述测压接口(2)和第一抽真空接口(3)分别连接有高精密度真空传感器(5)和精密真空调压阀(7)，所述高精密度真空传感器(5)连接有带屏蔽真空传感器连接电缆(6)的一端，所述箱体(10)一侧上安装有真空传感器电缆插座(12)，且带屏蔽真空传感器连接电缆(6)的另一端与真空传感器电缆插座(12)连接。2.根据权利要求1所述的一种高精度真空在线监测控制系统，其特征在于，所述箱体(10)内设有配件存放区(11)，配件存放区(11)的一侧设有总电源插...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏来，姜新生，郭鹏，
申请(专利权)人：航宇智创科技重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：