下载一种高精度真空在线监测控制系统的技术资料

文档序号:28786502

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本实用新型属于设备监测领域,尤其是一种高精度真空在线监测控制系统,包括待检测设备真空组件和箱体,所述箱体位于待检测设备真空组件的一侧,所述待检测设备真空组件的顶部安装有测压接口和第一抽真空接口,所述测压接口和第一抽真空结构分别连接有高精密度...
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