一种高性能大面积柔性透明电极及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及一种高性能大面积柔性透明电极及其制备方法和应用。具体步骤为：1)利用电场驱动喷射微纳3D打印技术，以金属纳米浆料为打印材料，在打印衬底上通过微纳3D多层打印的方式打印出金属图案化结构，然后将金属图案化结构进行固化烧结处理；2)PDMS凹模的转印；3)UV光刻胶凸模的转印；4)复合软模具的制备；5)嵌入式柔性透明导电薄膜的制备。实现了直径尺寸10

【技术实现步骤摘要】
一种高性能大面积柔性透明电极及其制备方法和应用


[0001]本专利技术属于透明电极制造
，具体涉及一种高性能大面积柔性透明电极及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]公开该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
[0003]透明电极是一种既能导电又在可见光范围内具有高透光率的光电子器件之一，由于其优异的光学透过性，导电性，灵活性和稳定性，在触摸屏，透明显示器，可穿戴设备，柔性薄膜太阳能电池，电磁干扰屏蔽窗，电子纸以及透明电加热等诸多领域有着广泛的应用。
[0004]现如今，电子产品向轻薄化、微型化、智能化的发展已经成为了当前电子工业发展的主要趋势，其中电极结构的制造是改进和提高电子产品性能和品质的首要条件，尤其是在电子信息、功能电子等领域起着决定性的作用。目前，以氧化铟锡(ITO)为代表的透明导电氧化物仍为最主要的透明导电膜材料，它具有均衡的光学透过率和优异的导电性，然而，由于ITO的脆性以及铟储量日益减少等问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：具体步骤为：1)利用电场驱动喷射微纳3D打印技术，以金属纳米浆料为打印材料，在打印衬底上通过微纳3D打印出金属图案化结构，然后将金属图案化结构进行固化烧结处理；2)在金属图案化结构的基础上，进行PDMS凹模的转印；3)以PDMS凹模为母模具，采用辊对平工艺将带有涂覆UV光刻胶的PET与PDMS凹模紧密的结合并且进行UV固化，转印脱模，得到凸模模具；4)对得到的凸模模具为母模具进行抗粘附处理、涂覆PDMS、预固化、涂覆偶联剂再固化，脱模后，得到微结构软模具；5)在微结构软模具的凹槽中，采用刮涂工艺将纳米银浆填充到凹槽中作为导电种子层，然后利用电镀工艺在凹槽中电镀出电极结构，烧结处理后得到柔性透明导电薄膜。2.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：打印衬底包括普通玻璃、硅片等硬质衬底；或，图案化结构为线栅结构、网栅结构、菱形结构、六边形结构或者其它不规则图形结构；或，金属导电浆料为纳米银浆、纳米铜浆、导电墨水、金属纳米线等中的一种或者几种。3.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤1)中固化烧结的温度为130
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140℃，时间为30
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40分钟。4.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤2)PDMS凹模的转印的具体方法为：在金属图案化结构的表面涂覆PDMS材料，进行真空加热固化，再采用“揭开式”脱模的方式，将固化后的PDMS凹模与衬底分离；可选的，固化的温度为80
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90℃，固化的时间为30
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50min；优选为40min。5.如权利要求1所述的高性能大面积柔性透明电极的制备方法，其特征在于：步骤2)中转印脱模后，进行牺牲层的清理，清理的方法为：在玻璃衬底上涂覆光刻胶，然后将PDMS凹模覆盖在涂覆光刻胶的玻璃衬底上，然后将整体在UV固化机中进行固化成型，脱模，将牺牲层从PDMS凹模中脱出；可选的，固化成型的时间为0.5
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1.5min。6.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓阳，李红珂，孙銮法，齐习猛，兰红波，李政豪，
申请(专利权)人：青岛理工大学，
类型：发明
国别省市：