一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用技术

本发明专利技术公开了一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用，包括如下重量百分含量的组分：无机盐1

【技术实现步骤摘要】
一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用


[0001]本专利技术涉及废液处理
，特别是涉及一种二氧化硅抛光液废液处理剂、其制备方法及应用。

技术介绍

[0002]硅溶胶属于胶体溶液，具有许多优良的性质和特点，如无臭、无毒、耐腐蚀、耐高温和化学性能稳定等，一直被人们开发和应用，现已被广泛应用于精密铸造、涂料、纺织、催化剂和化学机械抛光(CMP)等行业中，而且每年的需求量都呈上升趋势，尤其是在化学机械抛光行业中，因为半导体得到国家的大力支持和帮助，使其得到快速发展，硅溶胶又有着不可替代的地位，所以硅溶胶的使用量也在快速增长。二氧化硅抛光液的特点是使用一段时间之后，其抛光速度就会变慢，抛光效果变差，如果继续使用，还会带来严重的负面影响，所以我们只能更换新的二氧化硅抛光液，这时候，不能继续使用的二氧化硅抛光液就变成了工业废液。
[0003]由于二氧化硅抛光液废液中的纳米胶体颗粒依然具有很好的悬浮特性，如果当成废水直接排走的话，会造成污水悬浮物指标严重超标，而且二氧化硅抛光液在特定情况下可能发生聚集沉淀，造成管道堵塞等不良后果。因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二氧化硅抛光液废液处理剂，其特征在于，包括如下重量百分含量的组分：2.根据权利要求1所述的二氧化硅抛光液废液处理剂，其特征在于，包括如下重量百分含量的组分：3.根据权利要求1所述的二氧化硅抛光液废液处理剂，其特征在于，包括如下重量百分含量的组分：4.根据权利要求1
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3任一项所述的二氧化硅抛光液废液处理剂，其特征在于，所述无机盐采用碳酸钾、碳酸钠、硫酸钠、硝酸钠、硝酸钙、氯化钙和氯化镁中的一种或多种。5.根据权利要求1
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3任一项所述的二氧化硅抛光液废液处理剂，其特征在于，所述表面活性剂采用脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化铵、聚丙烯酸钠中的一种或多种。6.根据权利要求1
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3任一项所述的二氧化硅抛光液废液处理剂，其特征在于，所述絮凝剂采用硫酸铝钾、聚合氯化铝、聚合氯化铁和聚丙烯酰胺中的一种或多种。
7.根据权利要求1
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3任一项所述的二氧化硅抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴亚利，陈海海，李宝德，刘阳，
申请(专利权)人：北京航天赛德科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：