一种粗糙度检测工装制造技术

本发明专利技术公开了一种粗糙度检测工装，包括机架、锁止装置、粗糙度检测装置、转台和升降台，转台转动相应角度后锁止装置可卡住转台，所述粗糙度检测装置包括刻度盘、测量台和粗糙度仪，所述刻度盘正面设有刻度和刻度值，刻度盘背面设有连接杆，连接杆和升降座一侧可拆卸连接，所述测量台与刻度盘正面之间用旋转齿轴，所述测量台上设有带标志箭头的立柱，所述测量台绕着旋转齿轴转动一定角度后固定使得测量台和刻度盘之间成一夹角，所述夹角与标志箭头指向刻度盘上的刻度值相等，所述测量台上配合安装有可水平翻转放置的粗糙度仪。本发明专利技术具有可根据测量需求全方位调整粗糙度仪测量位置，测量准确度高，调节操作方便等优点。调节操作方便等优点。调节操作方便等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种粗糙度检测工装


[0001]本专利技术属于粗糙度检测装置的
，尤其涉及一种粗糙度检测工装。

技术介绍

[0002]粗糙度检测工装是一种用于测量产品表面粗糙度的设备，在石英生产加工行业较为常用。由于石英零部件在半导体装置中的特殊作用，在零部件的设计和加工中对表面的粗糙度要求较高。石英零部件加工过程中需要对零部件表面多个位置进行测量，如斜面位置、内径位置、台阶位置、水平位置和竖直位置等，其中斜面位置、台阶位置和内径位置测量较为特殊。传统的石英零部件表面粗糙度采用手持粗糙度仪进行测量，操作较为复杂，存在一定误差，测量准确度较差。现有的一些粗糙度检测工装存在粗糙度测量位置相对较为单一，测量范围小，操作调节较为不便，测量数据少难以保证测量准确度等问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种粗糙度检测工装，能够通过转动转台获得多组测量数据使得测量准确度高，可根据测量需求全方位调整粗糙度仪测量位置，调节操作方便。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提出了一种粗糙度检测工装，包括机架、锁止装置、粗糙度检测装置、安装在机架上的转台和升降台，升降台包括下支撑座、上支撑座，下支撑座和上支撑座之间安装有导轨，导轨上安装有可上下移动的升降座，所述转台侧壁设有若干弧形卡槽，所述锁止装置包括支架、安装在支架上的卡管，卡管内部安装有带弹簧球头的弹簧，所述弹簧球头可在转台转动相应角度后可卡入对应的所述弧形卡槽内，所述粗糙度检测装置包括刻度盘、测量台和粗糙度仪，所述刻度盘正面设有刻度和刻度值，刻度盘背面设有连接杆，连接杆和支撑座一侧可拆卸连接，所述测量台背面转动安装有旋转齿轴，旋转齿轴的一端与刻度盘正面插接，所述测量台上设有立柱，立柱上安装有紧固螺栓，立柱上端设有标志箭头，所述测量台绕着旋转齿轴转动一定角度后旋拧紧固螺栓直至压紧旋转齿轴使得测量台和刻度盘之间成一夹角，所述夹角与标志箭头指向刻度盘上的刻度值相等，所述测量台上设有粗糙度仪安装槽，所述粗糙度仪可水平翻转安装在粗糙度仪安装槽内。
[0005]作为优选，粗糙度检测工装还包括真空吸盘装置，所述转台包括下转台和上转台，上转台和下转台之间可转动，所述弧形卡槽均设置在上转台侧壁，所述真空吸盘装置安装在机架上，真空吸盘装置包括带吸气通道的吸盘、与吸气通道相连的抽真空装置，所述吸盘在抽真空后可真空吸附住下转台，真空吸盘装置可有效吸附固定住下转台，上转台和下转台之间转动顺畅。
[0006]作为优选，所述弧形卡槽和锁止装置的数量均为4，四个所述的锁止装置连线呈正方形形状，相邻的两个锁止装置之间互成90
°
夹角，所述锁止装置上设有定位标志，所述定位标志与弧形卡槽相对齐时弹簧球头可卡入相应的弧形卡槽内，定位标志设置有利于弹簧球头准确卡入弧形卡槽内，四个锁止装置及弧形卡槽设计可对与同一高度位置粗糙度在转
动上转台后可进行四组测量，可通过四组数据分析取平均值获得该位置粗糙度，保证了粗糙度测量的准确度。
[0007]作为优选，所述粗糙度仪两侧均设有定位孔，所述测量台正面设有限位孔，所述粗糙度仪配合安装在粗糙度仪安装槽内后用紧固件固定，紧固件穿过对应的限位孔后与定位孔相连。
[0008]作为优选，所述紧固件为螺栓或定位销，所述定位孔和限位孔为螺纹孔或平滑孔，紧固件的安装和拆卸方便，进而方便了粗糙度仪的拆装。
[0009]作为优选，所述旋转齿轴上设有螺纹段，螺纹段与测量台之间用带内螺纹的轴承相连，便于测量台绕旋转齿轴转动。
[0010]作为优选，所述升降座上安装有转盘，升降座内部安装有传动齿轮组件，传动齿轮组件与转盘相连接，所述导轨靠近传动齿轮组件一侧设有外螺纹，外螺纹与传动齿轮组件相互啮合，所述转盘转动后通过传动齿轮组件与导轨一侧的外螺纹相互啮合作用使得升降座沿导轨上下移动，且升降座沿导轨移动一段距离后用锁紧螺栓拧紧固定，转动转盘后通过传动齿轮组件和导轨一侧的外螺纹传动作用带动升降座沿导轨升降，进而有效调节粗糙度检测装置的高度。
[0011]作为优选，所述转盘上向外延伸出一把手，方便操作人员抓取用力。
[0012]作为优选，所述下支撑座上安装有电动推杆，电动推杆的推杆端与升降座底面相连，可自动化控制升降座的升降情况。
[0013]作为优选，所述升降座一侧设有连接臂，连接臂上设有插槽，所述连接杆一侧与插槽插接并用螺杆固定，方便连接臂与连接杆之间的拆装，连接杆可转动一定角度后重新插入插槽内固定进而实现粗糙度检测装置Z向上的位置调节。
[0014]本专利技术的有益效果：本专利技术通过将测量台和刻度盘之间用旋转齿轴转动连接，刻度盘上设有刻度和刻度值，测量台的立柱上设有标志箭头，测量台绕着旋转齿轴转动一定角度后固定使得测量台和刻度盘之间成一夹角，夹角大小可通过标志箭头对准的刻度值直接读出，测量台转动可带动粗糙度仪转动，方便调节粗糙度仪测量位置的倾斜角度；通过转台均匀转动一定角度后通过锁止装置卡住，粗糙度仪可同时测得多组相同位置平面上的表面粗糙度数据，可计算相应平均值，进一步提高粗糙度检测的准确度；将粗糙度检测装置和升降座一侧可拆卸连接，方便调节粗糙度检测的高度位置，实现粗糙度仪测量位置的高度进行调节；将测量台上设有前后贯穿的粗糙度仪安装槽，可水平翻转安装粗糙度仪，可双向安装，更好满足测量需求；该粗糙度检测工装可根据测量需求全方位调整粗糙度仪测量位置，调节操作方便，测量稳定性可靠性好。
[0015]本专利技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
[0016]图1是本专利技术一种实施例的结构示意图；
[0017]图2是本专利技术一种实施例的后视图；
[0018]图3是本专利技术一种实施例的俯视图；
[0019]图4是本专利技术一种实施例的刻度盘示意图；
[0020]图5是本专利技术一种实施例的测量台和粗糙度仪安装示意图；
[0021]图6是本专利技术一种实施例的测量台示意图；
[0022]图7是本专利技术一种实施例的粗糙度仪示意图；
[0023]图8是本专利技术一种实施例的底座示意图；
[0024]图9是本专利技术一种实施例的升降台局部示意图；
[0025]图10是本专利技术一种实施例的锁止装置卡位前后状态示意图；
[0026]图11是本专利技术一种实施例的石英产品零部件示意图。
[0027]图中：1
‑
机架、2
‑
转台、3
‑
锁止装置、4
‑
升降台、5
‑
测量台、6
‑
刻度盘、7
‑
粗糙度仪、8
‑
石英产品零部件、21
‑
弧形卡槽、31
‑
弹簧、32
‑
弹簧球头、41
‑
下支撑座、42
‑
升降座、43
‑
上支撑座、44
‑
导轨、45
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粗糙度检测工装，包括机架、安装在机架上的转台和升降台，升降台包括下支撑座、上支撑座，下支撑座和上支撑座之间安装有导轨，导轨上安装有可上下移动的升降座，其特征在于：包括锁止装置、粗糙度检测装置，所述转台侧壁设有若干弧形卡槽，所述锁止装置包括支架、安装在支架上的卡管，卡管内部安装有带弹簧球头的弹簧，所述弹簧球头可在转台转动相应角度后可卡入对应的所述弧形卡槽内，所述粗糙度检测装置包括刻度盘、测量台和粗糙度仪，所述刻度盘正面设有刻度和刻度值，刻度盘背面设有连接杆，连接杆和升降座一侧可拆卸连接，所述测量台背面转动安装有旋转齿轴，旋转齿轴的一端与刻度盘正面插接，所述测量台上设有立柱，立柱上安装有紧固螺栓，立柱上端设有标志箭头，所述测量台绕着旋转齿轴转动一定角度后旋拧紧固螺栓直至压紧旋转齿轴使得测量台和刻度盘之间成一夹角，所述夹角与标志箭头指向刻度盘上的刻度值相等，所述测量台上设有粗糙度仪安装槽，所述粗糙度仪可水平翻转安装在粗糙度仪安装槽内。2.如权利要求1所述的粗糙度检测工装，其特征在于：还包括真空吸盘装置，所述转台包括下转台和上转台，上转台和下转台之间可转动，所述弧形卡槽均设置在上转台侧壁，所述真空吸盘装置安装在机架上，真空吸盘装置包括带吸气通道的吸盘、与吸气通道相连的抽真空装置，所述吸盘在抽真空后可真空吸附住下转台。3.如权利要求1所述的粗糙度检测工装，其特征在于：所述弧形卡槽和锁止装置的数量均为4，四个所述的锁止装置连线呈正方形形状，相邻的...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯剑秋，
申请(专利权)人：宁波云德半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：