一种单面自动光刻机的进出料板结构制造技术

技术编号:28767346 阅读:18 留言:0更新日期:2021-06-09 10:52
本实用新型专利技术公开了一种单面自动光刻机的进出料板结构,支撑座前侧安装有支撑座气缸,并且支撑座左侧加工有托轮电机,右侧加工有支撑座电机,且支撑座电机的左端连接支撑座气缸的右端,支撑座顶部安装有机械手搬运组件,机械手搬运组件的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座,气缸支撑座上端加工有托轮组件,托轮组件顶端安装有定位轮,定位轮左端连接气缸。本实用新型专利技术单面自动光刻机的进出料板结构,通过定位轮可以达到提高光刻机的定位精确度,并且托轮组件和机械手搬运组件可以达到减少光刻机的运料震动的效果。减少光刻机的运料震动的效果。减少光刻机的运料震动的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单面自动光刻机的进出料板结构


[0001]本技术涉及精密玻璃制造
,具体为一种单面自动光刻机的进出料板结构。

技术介绍

[0002]传统的曝光机100微米,在不断努力的研究下,光刻机达到了10微米,通过调整运行模式和更改定位,实现突破,为玻璃加工领域作出贡献,在研究精密的领域扩大提供经验,但是现有技术中的光刻机的进出料板运行产品的振动大,且定位不够精准。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单面自动光刻机的进出料板结构,具有减少运行时的震动和提高定位精准度的优点,解决了现有技术中的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单面自动光刻机的进出料板结构,支撑座前侧安装有支撑座气缸,并且支撑座左侧加工有托轮电机,右侧加工有支撑座电机,且支撑座电机的左端连接支撑座气缸的右端;
[0005]所述支撑座顶部安装有机械手搬运组件,机械手搬运组件的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座,气缸支撑座上端加工有托轮组件,托轮组件顶端安装有定位轮,定位轮左端连接气缸,气缸支撑座的上端表面加工有固定底座,托轮组件通过固定底座安装于气缸支撑座表面,且托轮组件的托轮数量为若干个,定位轮的顶部加工有连接板和螺母,定位轮通过连接板和螺母固定于托轮组件上端,气缸支撑座顶端加工有孔槽,机械手搬运组件通过孔槽与气缸支撑座表面的托轮组件相连。
[0006]优选的,所述气缸支撑座的上端表面加工有固定底座,托轮组件通过固定底座安装于气缸支撑座表面,且托轮组件的托轮数量为若干个。
[0007]优选的,所述定位轮的顶部加工有连接板和螺母,定位轮通过连接板和螺母固定于托轮组件上端。
[0008]优选的,所述气缸支撑座顶端加工有孔槽,机械手搬运组件通过孔槽与气缸支撑座表面的托轮组件相连。
[0009]优选的,所述托轮组件为超高分子材料UPE材质制成的构件。
[0010]与现有技术相比,本技术的有益效果如下:
[0011]本技术单面自动光刻机的进出料板结构,支撑座前侧安装有支撑座气缸,并且支撑座左侧加工有托轮电机,右侧加工有支撑座电机,且支撑座电机的左端连接支撑座气缸的右端,支撑座顶部安装有机械手搬运组件,机械手搬运组件的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座,气缸支撑座上端加工有托轮组件,托轮组件顶端安装有定位轮,定位轮左端连接气缸,通过定位轮可以达到提高光刻机的定位精确度,并且托轮组件和机械手搬运组件可以达到减少光刻机的运料震动的效果。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构连接图。
[0013]图中:1、支撑座;2、支撑座气缸;3、支撑座电机;4、托轮电机;5、机械手搬运组件;6、气缸支撑座;7、托轮组件;8、定位轮;9、气缸。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1,一种单面自动光刻机的进出料板结构,包括支撑座1,支撑座1用于支撑光刻机的其他结构,支撑座1前侧安装有支撑座气缸2,支撑座气缸2可以用于提供动力,并且支撑座1左侧加工有托轮电机4,托轮电机4可以给托轮组件7提供动力,并且带动托轮组件7转动,右侧加工有支撑座电机3,且支撑座电机3的左端连接支撑座气缸2的右端,支撑座1顶部安装有机械手搬运组件5,机械手搬运组件5可以运送产品,机械手搬运组件5的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座6,气缸支撑座6上端加工有托轮组件7,托轮组件7可以调整产品的位置,并且可以减少光刻机的震动,托轮组件7顶端安装有定位轮8,定位轮8可以定位的更加精确,定位轮8左端连接气缸9,气缸9可以给定位轮8提供动力,气缸支撑座6的上端表面加工有固定底座,托轮组件7通过固定底座安装于气缸支撑座6表面,且托轮组件7的托轮数量为若干个,定位轮8的顶部加工有连接板和螺母,定位轮8通过连接板和螺母固定于托轮组件7上端,气缸支撑座6顶端加工有孔槽,机械手搬运组件5通过孔槽与气缸支撑座6表面的托轮组件7相连,托轮组件7为超高分子材料UPE材质制成的构件,可以更好的减轻光刻机的震动。
[0016]综上所述:本技术单面自动光刻机的进出料板结构,支撑座1前侧安装有支撑座气缸2,并且支撑座1左侧加工有托轮电机4,右侧加工有支撑座电机3,且支撑座电机3的左端连接支撑座气缸2的右端,支撑座1顶部安装有机械手搬运组件5,机械手搬运组件5的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座6,气缸支撑座6上端加工有托轮组件7,托轮组件7顶端安装有定位轮8,定位轮8左端连接气缸9,支撑座电机3和托轮电机4给支撑座气缸2与托轮组件7提供动力,定位轮8对托轮组件7顶部的产品进行精确定位,同时机械手搬运组件5将产品进行输送。
[0017]需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0018]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单面自动光刻机的进出料板结构,包括支撑座(1),其特征在于:所述支撑座(1)前侧安装有支撑座气缸(2),并且支撑座(1)左侧加工有托轮电机(4),右侧加工有支撑座电机(3),且支撑座电机(3)的左端连接支撑座气缸(2)的右端;所述支撑座(1)顶部安装有机械手搬运组件(5),机械手搬运组件(5)的左右两端分别加工有相互对称的气缸支撑座(6),气缸支撑座(6)上端加工有托轮组件(7),托轮组件(7)顶端安装有定位轮(8),定位轮(8)左端连接气缸(9)。2.根据权利要求1所述的一种单面自动光刻机的进出料板结构,其特征在于,所述气缸支撑座(6)的上端表面加工有固定底...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚志平
申请(专利权)人:广东莱宝智能装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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