一种单面自动光刻机的对位机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单面自动光刻机的对位机构，包括光刻平台，所述光刻平台上表面分别通过螺栓与定位轮和基准电机固定连接，光刻平台四周分别通过螺栓与第一固定柱固定连接，第一固定柱通过螺栓与对位平台底座固定连接。一种单面自动光刻机的对位机构，相机模组一侧的模组电机工作，将光源相机打开，为产品定位备，然后丝杠电机转动丝杠移动，到达产品定位位置。对位平台电机工作将UVW对位平台根据定位运转到相应位置。探针电机将探针升高，到达光刻平台，基准定位气缸将产品固定加紧通过光源模组进行定位，三个电机控制六个限位，定位精确，提高了光刻机对位机构结构的稳固性，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单面自动光刻机的对位机构


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种单面自动光刻机的对位机构。

技术介绍

[0002]当今世界是一个信息化、智能化的世界，科学技术的日新月异使得各类新型智能化产品层出不穷，使得人们的生活更加便捷。与此同时，人们对玻璃要求也越来越高，玻璃生产离不开光刻工艺，然而目前市面上大多数的光刻机设备的定位不精确，不能精准定位，降低成像精度，生产效率低，针对这些缺陷，设计一种单面自动光刻机的对位机构，是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单面自动光刻机的对位机构，通过光源模组进行定位，三个电机控制六个限位，定位精确，提高了光刻机对位机构结构的稳固性，提高了生产效率，可以解决现有技术中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种单面自动光刻机的对位机构，包括光刻平台，所述光刻平台上表面分别通过螺栓与定位轮和基准电机固定连接，光刻平台四周分别通过螺栓与第一固定柱固定连接，第一固定柱通过螺栓与对位平台底座固定连接；
[0006]所述对位平台底座上表面分别通过螺栓与对位平台电机、UVW对位平台、相机模组、模组电机、探针、探针电机和光源相机固定连接，对位平台底座下表面分别通过第二固定柱与电机底座固定连接，电机底座上表面分别设置有丝杠和丝杠电机，对位平台底座下表面设置有斜式升降台。
[0007]优选的，所述对位平台电机与UVW对位平台电性连接，相机模组与模组电机电性连接，模组电机一侧通过螺栓与光源相机固定连接，探针与探针电机电性连接。
[0008]优选的，所述电机底座上设置有滑轨，滑轨另一端与对位平台底座固定连接，滑轨上套有斜式升降台。
[0009]优选的，所述丝杠与丝杠电机电性连接，丝杠在电机底座上活动连接，丝杠电机通过螺栓与电机底座固定连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]本单面自动光刻机的对位机构，相机模组一侧的模组电机工作，将光源相机打开，为产品定位备，然后丝杠电机转动丝杠移动，到达产品定位位置。对位平台电机工作将UVW对位平台根据定位运转到相应位置。探针电机将探针升高，到达光刻平台，基准定位气缸将产品固定加紧，通过光源模组进行定位，三个电机控制六个限位，定位精确，提高了光刻机对位机构结构的稳固性，提高了生产效率。
附图说明
[0012]图1为本技术的整体结构示意图。
[0013]图中：1、光刻平台；11、定位轮；12、基准电机；2、第一固定柱；3、对位平台底座；31、对位平台电机；32、UVW对位平台；33、相机模组；34、模组电机；35、探针；36、光源相机；37、探针电机；4、第二固定柱；5、电机底座；51、丝杠；52、丝杠电机；6、斜式升降台。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1，一种单面自动光刻机的对位机构，包括光刻平台1，所述光刻平台1上表面分别通过螺栓与定位轮11和基准电机12固定连接，光刻平台1四周分别通过螺栓与第一固定柱2固定连接，第一固定柱2通过螺栓与对位平台底座3固定连接，对位平台底座3上表面分别通过螺栓与对位平台电机31、UVW对位平台32、相机模组33、模组电机34、探针35、探针电机37和光源相机36固定连接，对位平台电机31与UVW对位平台32电性连接，相机模组33与模组电机34电性连接，模组电机34一侧通过螺栓与光源相机36固定连接，探针35与探针电机37电性连接，对位平台底座3下表面分别通过第二固定柱4与电机底座5固定连接，电机底座5上表面分别设置有丝杠51和丝杠电机52，丝杠51与丝杠电机52电性连接，丝杠51在电机底座5上活动连接，丝杠电机52通过螺栓与电机底座5固定连接，对位平台底座3下表面设置有斜式升降台6，电机底座5上设置有滑轨，滑轨另一端与对位平台底座3固定连接，滑轨上套有斜式升降台6，相机模组33一侧的模组电机34工作，将光源相机36打开，为产品定位备，然后丝杠电机52转动丝杠51移动，到达产品定位位置。对位平台电机31工作将UVW对位平台32根据定位运转到相应位置。探针电机37将探针35升高，到达光刻平台1，基准定位气缸将产品固定加紧，通过光源模组进行定位，三个电机控制六个限位，定位精确，提高了光刻机对位机构结构的稳固性，提高了生产效率。
[0016]综上所述，本单面自动光刻机的对位机构，相机模组33一侧的模组电机34工作，将光源相机36打开，为产品定位备，然后丝杠电机52转动丝杠51移动，到达产品定位位置。对位平台电机31工作将UVW对位平台32根据定位运转到相应位置。探针电机37将探针35升高，到达光刻平台1，基准定位气缸将产品固定加紧，通过光源模组进行定位，三个电机控制六个限位，定位精确，提高了光刻机对位机构结构的稳固性，提高了生产效率。
[0017]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0018]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单面自动光刻机的对位机构，包括光刻平台(1)，其特征在于：所述光刻平台(1)上表面分别通过螺栓与定位轮(11)和基准电机(12)固定连接，光刻平台(1)四周分别通过螺栓与第一固定柱(2)固定连接，第一固定柱(2)通过螺栓与对位平台底座(3)固定连接；所述对位平台底座(3)上表面分别通过螺栓与对位平台电机(31)、UVW对位平台(32)、相机模组(33)、模组电机(34)、探针(35)、探针电机(37)和光源相机(36)固定连接，对位平台底座(3)下表面分别通过第二固定柱(4)与电机底座(5)固定连接，电机底座(5)上表面分别设置有丝杠(51)和丝杠电机(52)，对位平台底座(3)下表面设置有斜式升降台(6)。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚志平，
申请(专利权)人：广东莱宝智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：