一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，包括方形架，方形架包括横向架和竖向架；X轴输送单元用于带动Z轴输送单元沿X轴方向往复运动；Y轴输送单元用于带动X轴输送单元沿Y轴方向往复运动；Z轴输送单元用于带动设置在Z轴输送单元上的花篮卡爪沿Z轴方向往复运动；本装置将水平方向、竖直方向以及高度方向的综合运动划分成X轴输送单元、Y轴输送单元和Z轴输送单元，结构简单，维护方便。同时针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，花篮卡爪上设有匹配储蓄花篮定位孔的定位销，可完成对半导体晶片花篮的有效夹紧。夹紧。夹紧。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置


[0001]本技术涉及非标自动化的自动线输送领域，特别涉及一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置。

技术介绍

[0002]半导体晶片的生产加工涉及多道工序，在现有半导体晶片生产过程中，半导体晶片通常由半导体晶片花篮承载后在各道工序之间运送。
[0003]图3为设置有半导体晶片93的半导体晶片花篮9，半导体晶片花篮9包括花篮底面90 和支撑杆92；花篮底面90上设有储蓄花篮定位孔91和储蓄花篮定位面901。
[0004]为了加快花篮在各到工序之间的运送速度及平稳度，在物料的过程中经常用到流水线，且会涉及到花篮水平放置半导体晶片，翻转后，竖直运输半导体晶片等角度变化。同时，当半导体晶片花篮被机械手抓起、翻转后，还需涉及到半导体晶片花篮的转运，将半导体晶片花篮在不同输送线间转运，因此，机械手抓起半导体晶片花篮后，还需进行水平方向、竖直方向以及高度方向的综合运动。
[0005]因此，需要设计一种针对半导体晶片储蓄花篮的特定机械手，用以完成半导体晶片储蓄花篮水平到竖直的角度转换，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置，包括方形架(1)，所述方形架(1)包括横向架(11)和竖向架(12)；其特征在于：包括X轴输送单元(2)、Y轴输送单元(3)和Z轴输送单元(4)；所述X轴输送单元(2)用于带动所述Z轴输送单元(4)沿X轴方向往复运动；所述Y轴输送单元(3)用于带动所述X轴输送单元(2)沿Y轴方向往复运动；所述Z轴输送单元(4)用于带动设置在所述Z轴输送单元(4)上的花篮卡爪(6)沿Z轴方向往复运动；所述Y轴输送单元(3)包括设置在所述横向架(11)上的驱动器(30)以及设置在所述横向架(11)两侧的Y轴主动轮(31)；所述Y轴从动轮(32)设置在所述横向架(11)远离所述驱动器(30)一侧；所述Y轴主动轮(31)与所述Y轴从动轮(32)间设有Y轴传动带(53)；所述X轴输送单元(2)包括X轴桁架(21)以及设置在所述X轴桁架(21)上，可沿所述X轴桁架(21)往复运动的输送基座(22)；所述输送基座(22)上设有可相对所述输送基座(22)上下往复运动的Z轴输送单元(4)；所述X轴桁架(21)两端分别设有左基座(211)和右基座(212)；所述左基座(211)上设有驱动电机(25)；所述驱动电机(25)电机轴连接X轴主动轮(251)；所述右基座(212)上设有X轴从动轮(252)；所述X轴主动轮(251)与所述X轴从动轮(252)间设有X轴传动带(52)；所述输送基座(22)上端面设有固定所述X轴传动带(52)的锁紧装置；所述左基座(211)和右基座(212)上设有固定所述Y轴传动带(53)的锁紧装置。2.根据权利要求1所述的一种适用于生...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鹏飞，金华，杨黎明，
申请(专利权)人：无锡市泰瑞电子设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：