下载一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置的技术资料

文档序号:28760672

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本实用新型公开了一种适用于生产线的半导体晶片储蓄花篮输送装置,包括方形架,方形架包括横向架和竖向架;X轴输送单元用于带动Z轴输送单元沿X轴方向往复运动;Y轴输送单元用于带动X轴输送单元沿Y轴方向往复运动;Z轴输送单元用于带动设置在Z轴输送单...
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