微流体致动器装置制造方法及图纸

一种微流体致动器装置，包含承载板、微流体致动器、微流体致动器、电极接垫及静电防护电路。微流体致动器设置于承载板上，用以输送流体。微控制器用以控制微流体致动器的开启或关闭。电极接垫设置于承载板上，并与微流体致动器相应电性连接。静电防护电路与电极接垫电性连接。性连接。性连接。

【技术实现步骤摘要】
微流体致动器装置


[0001]本案关于一种微流体致动器装置，尤指一种具有静电防护电路的微流体致动器装置。

技术介绍

[0002]目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微型帮浦产品所包含的微流体致动器为其关键技术。
[0003]随着科技的日新月异，流体输送结构的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热、生活电子产品
……
等，甚至近来热门的行动穿戴装置亦可见它的踨影，可见传统的流体致动器已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。
[0004]现有技术中已发展多种微机电半导体制程制出的微流体致动器，然而，微小化后的微流体致动器，其工作频率达到100KHZ以上，因工作频率很高，所以微流体致动器在作动时，不断的与输送的流体摩擦，造成静电不断地累积在微流体致动器上，故如何避免静电累积，使微流体致动器装置能正常且长时间的使用，并保护微流体致动器装置免于静电的影响，实为当前迫切需要解决的问题之一。

技术实现思路
<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微流体致动器装置，其特征在于，包含：一承载板；至少一微流体致动器，设置于该承载板上，用以输送流体；至少一电极接垫，设置于该承载板上，并与该微流体致动器电性连接；以及至少一静电防护电路，与该至少一电极接垫电性连接。2.如权利要求1所述的微流体致动器装置，其特征在于，该微流体致动器以微机电制程制出。3.如权利要求1所述的微流体致动器装置，更包含至少一微控制器，其中该微控制器电性连接至该承载板，用以控制该微流体致动器的开启或关闭。4.如权利要求3所述的微流体致动器装置，其特征在于，该微控制器设置于该承载板上。5.如权利要求3所述的微流体致动器装置，其特征在于，该微控制器的数量为一个。6.如权利要求3所述的微流体致动器装置，其特征在于，该微控制器的数量为二个或二个以上。7.如权利要求1所述的微流体致动器装置，其特征在于，该静电防护电路包含：一第一电位，由一电源系统提供；一第一二极管，该第一二极管的阴极与该第一电位电性连接；一第二二极管，该第二二极管的阴极与该第一二极管的阳极电性连接；以及一参考电位，由该电源系统提供，并与该第二二极管的阳极...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，张正明，廖文雄，黄胜谊，陈酩仁，韩永隆，黄启峰，蔡长谚，李伟铭，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：