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微流体致动器装置制造方法及图纸
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下载微流体致动器装置的技术资料
文档序号:28752117
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一种微流体致动器装置,包含承载板、微流体致动器、微流体致动器、电极接垫及静电防护电路。微流体致动器设置于承载板上,用以输送流体。微控制器用以控制微流体致动器的开启或关闭。电极接垫设置于承载板上,并与微流体致动器相应电性连接。静电防护电路与电...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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