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一种硅棒磨面抛光倒角一体机制造技术

技术编号:28740971 阅读:9 留言:0更新日期:2021-06-06 15:38
本发明专利技术公开了一种硅棒磨面抛光倒角一体机,其结构包括固定器、机体、控制箱、打磨体、校准块,机体的两侧均设有打磨体,打磨体与机体活动卡合,机体上设有固定器,固定器与机体通过活动轴活动连接,校准块设在机体的侧端,校准块与机体嵌合,机体上设有控制箱,控制箱与机体固定连接,本发明专利技术通过夹合结构夹合住硅棒的中心段,使得硅棒的两端都显露出来,替换加工端时无需对已加工的一端进行夹合固定,固定端便不会因已加工结构的特殊性,而沿着固定端偏移滑动,当设备需要对另一端进行加工时,只需利用转动板的转动调转方向,让另一端对准设备的加工打磨体,此过程无需将硅棒拆卸下来进行重新安装,简化了工件加工转换的步骤。简化了工件加工转换的步骤。简化了工件加工转换的步骤。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒磨面抛光倒角一体机


[0001]本专利技术涉及单晶硅领域,尤其是涉及到一种硅棒磨面抛光倒角一体机。

技术介绍

[0002]硅棒是一类具有半导体性能,用来制作半导体器件的硅材料,硅棒磨面抛光倒角一体机是指利用机械、化学或电化学的作用,加工硅棒,使其表面粗糙度降低,提高工件的尺寸精度或几何形状精度;
[0003]硅棒在磨面抛光倒角一体机通过固定硅棒的一端,并利用固定结构的旋转配合工件加工,而有的硅棒两端都需要抛光倒角,在转换加工端时,需要将硅棒拆卸下来重新组装进行加工,而此时硅棒固定端变为已加工的一端,已加工的一端表面粗糙度较低,且接触端为倾斜倒角端,工件容易沿着固定端转动偏移。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本专利技术是通过如下的技术方案来实现:一种硅棒磨面抛光倒角一体机,其结构包括固定器、机体、控制箱、打磨体、校准块,所述机体的两侧均设有打磨体,所述打磨体与机体活动卡合,所述机体上设有固定器,所述固定器与机体通过活动轴活动连接,所述校准块设在机体的侧端,所述校准块与机体嵌合,所述机体上设有控制箱,所述控制箱与机体固定连接。
[0005]所述固定器设有驱动块、升降体、调节器、安装座、支撑体,所述调节器与安装座交界处设有驱动块,所述驱动块与调节器间隙配合,所述驱动块两侧均设有升降体,所述升降体与驱动块滑动连接,所述支撑体设在升降体两侧,所述升降体与支撑体嵌合,所述驱动块底部设有安装座,所述安装座与驱动块固定连接,所述支撑体上设有滑动块,所述支撑体的滑动块设在滑动腔体内部。
[0006]作为本技术方案的进一步优化,所述调节器设有操作器、组装板、支撑器、翻转块、移动道、转动板,所述组装板的表面设有转动板,所述组装板与转动板通过活动轴活动连接,所述组装板上设有翻转块,所述翻转块与组装板嵌合,所述翻转块的两侧均安装有移动道,所述移动道与翻转块滑动连接,所述操作器设在翻转块上,所述翻转块与操作器固定连接,所述支撑器设在操作器两侧,所述移动道与支撑器间隙配合,所述支撑器上设有延伸的滑动块,所述翻转块的连接柱体通过镂空的圆柱体环套在活动轴上,所述翻转块的活动轴两侧均上设有滑动块结构。
[0007]作为本技术方案的进一步优化,所述操作器设有固定板、转动块、转动体、夹合器,所述固定板上设有转动块,所述固定板与转动块固定连接,所述转动体安装在固定板,所述固定板与转动体嵌合,所述转动体内部安装有夹合器,所述夹合器与转动体固定连接,所述转动块上设有滑动轮,所述转动体被夹合在转动块和转动块中间,所述转动体朝向转动块滑轮的一侧设有滑动轨道,所述转动块的滑动轨道直径与滑轮直径相吻合。
[0008]作为本技术方案的进一步优化,所述夹合器设有抵块、组合板、组合轴、组合块、推
送轴、夹合体,所述组合板内部安装有组合轴,所述组合轴与组合板固定连接,所述组合块与组合轴的交界处设有推送轴,所述组合块与推送轴活动卡合,所述推送轴与组合轴滑动连接,所述夹合体设在组合块上,所述组合块与夹合体固定连接,所述推送轴的中心位置设有抵块,所述抵块与推送轴通过活动轴活动连接,所述抵块为弧形轴体,其内部设有弹簧,所述抵块的轴体凸起弧度朝向组合轴的一侧,所述推送轴上设有圆形转动轮,所述推送轴的圆柱转动轮与抵块卡合连接,所述抵块的轴体上设有凸起块,所述组合轴为圆环滑道,其上方设有连接柱体,所述组合轴的连接柱体与组合板固定连接,所述组合轴的另一端设有镂空的套柱结构,所述组合轴的套柱与组合轴滑动连接。
[0009]作为本技术方案的进一步优化,所述夹合体设有贴合板、压块、放置槽、卡合块、挤压体、翻转块、组装块,所述组装块上设有翻转块,所述翻转块与组装块间隙配合,所述组装块内部安装有放置槽,所述放置槽与组装块为一体化结构,所述卡合块设在翻转块上,所述翻转块与卡合块固定连接,所述卡合块内部安装有挤压体,所述挤压体与卡合块间隙配合,所述翻转块的另一端设有贴合板,所述贴合板与翻转块固定连接,所述翻转块内部安装有压块,所述压块与翻转块间隙配合,所述卡合块为相互垂直的长条轴连接而成,所述卡合块的内部设有镂空的滑动腔体,所述卡合块的滑动体与挤压体间隙配合,所述挤压体的连接轴体上设有球体块,所述挤压体的球体表面设有软胶层,所述挤压体内部设有弧形凹槽,该凹槽与软胶层的间隙处填充有气体,所述放置槽为镂空的槽腔。
[0010]作为本技术方案的进一步优化,所述贴合板内部设有弧形弹簧轴,所述贴合板的两侧均设有滑动道,所述贴合板的弹簧轴与滑动道间隙配合,所述贴合板的表面设有软胶层,所述贴合板与弹簧轴之间的间隙为空心的活动腔体,所述压块为弧形轴体结构,所述压块的两侧设有滑动轴体,所述压块的滑动轴体底部设有滑动轨道,所述贴合板的弧形轴上设有弹簧凸起块。
[0011]作为本技术方案的进一步优化,所述支撑器设有延伸轴、延伸块、拼接块、旋转板、底座、推送块、支撑板,所述支撑板内部设有延伸轴,所述延伸轴与支撑板固定连接,所述延伸轴上设有延伸块,所述延伸块与延伸轴间隙配合,所述支撑板和旋转板的交界处设有拼接块,所述拼接块与支撑板通过活动轴活动连接,所述旋转板底部安装有底座,所述底座与旋转板活动卡合,所述旋转板上设有推送块,所述推送块与旋转板间隙配合,所述旋转板和推送块内部均设有滑动轨道,所述推送块的一端与旋转板的滑动轨道滑动连接,所述推送块的另一端与支撑板间隙配合,所述拼接块的连接轴体嵌合在一个滑动腔体内部,所述拼接块的滑动腔体通过活动轴与旋转板活动卡合。
[0012]作为本技术方案的进一步优化,所述延伸轴为长条轴体结构,所述延伸轴的轴体中心位置为镂空槽口,所述延伸轴的镂空口与延伸轴的轴体直径相吻合,所述延伸轴朝向支撑板外部的一端为圆弧块,所述支撑板的圆弧块上设有方形开口,所述支撑板的开口上设有螺纹镂空口,所述转动板另一侧的支撑板上设有与支撑板圆弧块开口相吻合的凸起块,该凸起块上设有螺纹镂空口。
[0013]有益效果
[0014]本专利技术一种硅棒磨面抛光倒角一体机与现有技术相比具有以下优点:
[0015]1.本专利技术通过夹合结构夹合住硅棒的中心段,使得硅棒的两端都显露出来,替换加工端时无需对已加工的一端进行夹合固定,固定端便不会因已加工结构的特殊性,而沿
着固定端偏移滑动,当设备需要对另一端进行加工时,只需利用转动板的转动调转方向,让另一端对准设备的加工打磨体,此过程无需将硅棒拆卸下来进行重新安装,简化了工件加工转换的步骤。
[0016]2.本专利技术因市面上的硅棒大都是方形棒体与圆柱棒体结构,将夹合结构设置成两个结构不相等的贴合端,根据加工硅棒的结构形状,翻转出相应的夹合结构,使得设备夹合结构与硅棒的夹合边缘更加匹配,增加工件的夹合力度,加工零件时便不会因夹合支撑结构的不匹配,受到抛光倒角的冲击力,导致硅棒偏移夹合固定端。
附图说明
[0017]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0018]图1为本专利技术一种硅棒磨面抛光倒角一体机的整本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒磨面抛光倒角一体机,其特征在于:其结构包括固定器(1)、机体(2)、控制箱(3)、打磨体(4)、校准块(5),所述机体(2)的两侧均设有打磨体(4),所述固定器(1)与机体(2)活动连接,所述校准块(5)设在机体(2)的侧端,所述校准块(5)与机体(2)嵌合,所述机体(2)上设有控制箱(3),。所述固定器(1)设有驱动块(1a)、升降体(1b)、调节器(1c)、安装座(1d)、支撑体(1e),所述驱动块(1a)与调节器(1c)间隙配合,所述驱动块(1a)两侧均设有升降体(1b),所述升降体(1b)与支撑体(1e)嵌合,所述驱动块(1a)底部设有安装座(1d)。2.根据权利要求1所述一种硅棒磨面抛光倒角一体机,其特征在于:所述调节器(1c)设有操作器(c1)、组装板(c2)、支撑器(c3)、翻转块(c4)、移动道(c5)、转动板(c6),所述组装板(c2)的表面设有转动板(c6),所述翻转块(c4)与组装板(c2)嵌合,所述翻转块(c4)的两侧均安装有移动道(c5),所述翻转块(c4)与操作器(c1)固定连接,所述支撑器(c3)设在操作器(c1)两侧,所述移动道(c5)与支撑器(c3)间隙配合。3.根据权利要求2所述一种硅棒磨面抛光倒角一体机,其特征在于:所述操作器(c1)设有固定板(c11)、转动块(c12)、转动体(c13)、夹合器(c14),所述固定板(c11)上设有转动块(c12),所述固定板(c11)与转动体(c13)嵌合,所述转动体(c13)内部安装有夹合器(c14),所述夹合器(c14)与转动体(c13)固定连接。4.根据权利要求3所述一种硅棒磨面抛光倒角一体机,其特征在于:所述夹合器(c14)设有抵块(141)、组合板(142)、组合轴(143)、组合块(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:董文文
申请(专利权)人:董文文
类型:发明
国别省市:

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