一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法技术方案

本发明专利技术属于光学电子器件技术领域，具体为一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法。本发明专利技术的原理是对由起偏器出射的两束偏振方向相互垂直的线偏光，经过已知介电函数谱的样品后，其反射椭偏光的椭圆方位角的进行差分光谱分析，准确地获得起偏器方位角的位置。其中通过可旋转检偏器以及光栅光谱仪，对550

【技术实现步骤摘要】
一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法


[0001]本专利技术属于光学电子器件
，具体涉及一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法。

技术介绍

[0002]椭偏测量方法是通过对探测光与被测材料作用后偏振态的变化进行分析来获得被测材料的光学常数、表面粗糙度以及薄膜厚度等信息的光学手段。椭圆偏振测量技术具有测量灵敏度高、精确度高、非接触式、非破坏性等优点，在科学研究及制造业领域中有广泛应用。在科研领域，可应用于测量材料的光学性质即光学常数随波长的变化关系(色散曲线)；也可以用于监控有关表面的各种状况，包括从准单分子层开始的薄膜生长或这类膜层的清除；还可以用于测量电场、磁场、应力或温度等物理因素对材料光学性质的影响等。在工业领域，如整个芯片制造流程中，通常需要经过几十次椭偏测试对芯片的质量进行监控。
[0003]在椭偏测量系统中，通常采用改变偏振棱镜方位角的方式来获得不同的偏振状态，进一步通过对探测到的不同光强信息进行分析获取材料的椭偏参数。因此，在椭偏测量系统中，由于探测器处接收到的光强大小对偏振态的变化极为灵敏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法，其特征在于，测量定标系统包括：连续辐射光源，起偏器，样品台及已知介电函数谱的样品，检偏器，光谱仪，计算机控制系统；光谱仪上设有面阵列探测器，作为光强数据采集装置；起偏器与检偏器由可旋转的支架固定，并与步进电机相连接，由计算机控制系统通过步进电机对其旋转角度进行精确控制；定标的具体步骤如下：(1)首先将起偏器固定于某一未知方位角，由连续辐射光源发出的光入射到起偏器上，经起偏器出射线偏振光，再以70度入射角入射到已知介电函数谱的样品表面，经样品反射后进入检偏器，由检偏器出射的光传输到光谱仪中，完成一次光谱光强分布数据的采集；(2)假定光线传播方向为z轴正方向，垂直于入射面向外为x轴正方向，按照右手定则在入射面内向上或者斜向上的为y轴正方向；在xy平面内，s光偏振方向沿x轴，p光偏振方向沿y轴，并设x轴的正方向为偏振方位角的零度角，迎着光线方向顺时针方向旋转为偏振角度变化的正方向；将检偏器在0
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【专利技术属性】
技术研发人员：涂华恬，郑玉祥，陈良尧，张荣君，王松有，李晶，赵海斌，杨月梅，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：