一种椭偏仪光强自动调节方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种椭偏仪光强自动调节方法及装置，该方法包括：在设定的积分时间内，对采集点积分得到的光强谐波信号；根据设定的采样点数目，求解测量信号的傅里叶系数，当光强信号饱和或欠饱和时，则通过光强信号阈值判断调节探测器的积分时间，以使得光强信号采集帧数大于测量信号的傅里叶系数。该方案在不改变电机转速和改变机械硬件结构的情况下,通过调节积分时间实现光强快速调节，光强自动调节的响应速度快，并保证椭偏仪高信噪比测量。并保证椭偏仪高信噪比测量。并保证椭偏仪高信噪比测量。

【技术实现步骤摘要】
一种椭偏仪光强自动调节方法及装置


[0001]本专利技术涉及椭偏仪领域，尤其涉及一种椭偏仪光强自动调节方法及装置。

技术介绍

[0002]椭偏仪作为一种光学测量手段，利用光的偏振特性得到待测样品的相关信息，依靠其无损、快速的测量优势在集成电路等半导体行业中得到了广泛的应用。椭偏仪通过对其起偏臂端的入射光进行偏振态调制后，照射到待测样品的表面，经过样品反射或透射后，光束的偏振态发生了变化。再通过对检偏臂收集的光束偏振态进行解调，从而得到待测样品的相关信息。
[0003]椭偏仪按照偏振调制方式，可以分为旋转器件型椭偏仪和液晶调制型椭偏仪，其中液晶调制型通过外部电压控制液晶分子的方向，从而实现偏振光的调制与解调，但是液晶材料在紫外波段有严重的吸收特性，因此该类椭偏仪难以实现宽光谱测量，而在较窄的光谱波段，探测器的响应曲线，器光学元件的透过率，待测样品的反射率或透过率等变化都不明显，因此光强调节的必要性很小。旋转器件型椭偏仪利用旋转电机带动偏振器件匀速转动，实现光束偏振态的调制与解调。由于光学偏振器件在宽光谱波段具有优良的性能，因此该类椭偏仪可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种椭偏仪光强自动调节方法，其特征在于，包括：在设定的积分时间内，测量第j个采集点积分得到的光强谐波信号S
j
：其中，式中t表示表示光谱仪开始采集后补偿器旋转的时间，I(t)为谐波信号的光强，α
2n
、β
2n
表示光强谐波信号2n倍频的傅里叶系数，2n对应光强谐波信号2n倍频的谐波分量，I0表示光强谐波信号S
j
的直流分量，N表示采样点数目，m、n表示计量系数，ω表示基准角频率；根据设定的采样点数目，求解测量信号的傅里叶系数；当光强信号饱和或欠饱和时，则通过光强信号阈值判断调节探测器的积分时间，以使得光强信号采集帧数大于测量信号的傅里叶系数。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在设定的积分时间内具体为：将椭偏仪探测器的积分时间设定为T＝π/Nω，其中，T为积分时间，N表示采样点数目，ω表示基准角频率。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述积分时间与椭偏仪参数相匹配，根据椭偏仪的不同，探测器的积分时间设定也不同。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据设定的采样点数目，求解测量信号的傅里叶系数包括：通过回归迭代算法，对实际测量信号的傅里叶系数与系统模型的理论傅里叶系数进行拟合，校准系统模型参数。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马骏，李伟奇，史玉托，陈军，张传维，郭春付，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：