下载一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法的技术资料

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本发明属于光学电子器件技术领域,具体为一种椭偏测量系统中偏振元件方位角的差分光谱定标方法。本发明的原理是对由起偏器出射的两束偏振方向相互垂直的线偏光,经过已知介电函数谱的样品后,其反射椭偏光的椭圆方位角的进行差分光谱分析,准确地获得起偏器方...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

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