一种新型结构的石墨坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型结构的石墨坩埚，包括炉体，所述炉体的炉口处安装导流筒，炉体的炉腔内安装保温筒，所述保温筒内设置石墨坩埚、石英坩埚、坩埚支撑组件和坩埚加热组件；所述石墨坩埚嵌合安装于保温筒的筒口处，所述石英坩埚叠放于石墨坩埚内，所述坩埚支撑组件设置于石墨坩埚底部，所述坩埚加热组件设置于坩埚支撑组件的底部。本新型结构的石墨坩埚，将热场设置于石墨坩埚底部，并配合保温筒的保温作用，从而使石墨发热主板与石墨发热次板产生的热量均匀高效的传导至石墨坩埚内，以加速晶体的融化、提高晶体生长的质量。提高晶体生长的质量。提高晶体生长的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种新型结构的石墨坩埚


[0001]本技术涉及晶体加热炉
，具体为一种新型结构的石墨坩埚。

技术介绍

[0002]石墨坩埚是晶体加热炉内用于盛放石英坩埚的导热件，石墨坩埚里面盛放的是氟化钙单晶材料，加热融化后，生长为晶体。合适的热场，能够生长出高质量的单晶，不好的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶；因此，如何使单晶生长保持在一定温度下的热场结构则尤为重要。
[0003]目前的热场采用常规的侧加热器，但随着石墨坩埚的尺寸日益增加，侧加热器所传导的热量无法高效的传递至石墨坩埚的底部，所耗费的时间更长，故而不能满足晶体加热炉热场的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型结构的石墨坩埚，将热场设置于石墨坩埚底部，并配合保温筒的保温作用，从而使石墨发热主板与石墨发热次板产生的热量均匀高效的传导至石墨坩埚内，以加速晶体的融化、提高晶体生长的质量，可以解决现有技术中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型结构的石墨坩埚，包括炉体，所述炉体的炉口处安装导流筒，炉体的炉腔内安装保温筒，所述保温筒内设置石墨坩埚、石英坩埚、坩埚支撑组件和坩埚加热组件；所述石墨坩埚嵌合安装于保温筒的筒口处，所述石英坩埚叠放于石墨坩埚内，所述坩埚支撑组件设置于石墨坩埚底部，坩埚支撑组件包括坩埚托盘和托盘撑杆，所述坩埚加热组件设置于坩埚支撑组件的底部，坩埚加热组件包括石墨发热主板、石墨发热次板和石墨电极柱。
[0006]优选的，所述坩埚托盘的中部设置弧块，弧块与石墨坩埚底部设置的弧槽对应匹配，所述弧块嵌入弧槽内，并使坩埚托盘的表面与石墨坩埚底面紧密贴合；所述坩埚托盘的底部设置插槽，插槽与托盘撑杆的一端对应匹配，所述托盘撑杆的一端插装于插槽内，托盘撑杆的另一端贯穿保温筒与炉体的底壁，并延伸至出炉体外。
[0007]优选的，所述石墨发热主板设置于坩埚托盘的底部两端，并且石墨发热主板的一端还设置柱孔，所述石墨发热次板均匀排列于石墨发热主板的两侧，所述石墨发热主板与相邻石墨发热次板的一端连接，所述石墨发热次板之间相互连接，所述石墨电极柱设置于石墨发热主板的底部，石墨电极柱的一端插装于柱孔内，石墨电极柱的另一端贯穿保温筒与炉体的底壁，并延伸至出炉体外。
[0008]优选的，所述保温筒的筒口处还设置L型环板，L型环板的一端与保温筒的筒口侧壁连接，L型环板的另一端贴附于石墨坩埚的外表面。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0010]本新型结构的石墨坩埚，通过将坩埚加热组件设置于石墨坩埚的底部，且石墨发
热主板与石墨发热次板呈同心圆结构，使得板体发热传导至石墨坩埚上的热量均匀，提高晶体生长的质量；通过在保温筒的筒口处设置L型环板，使得石墨发热主板与石墨发热次板所散发的热量不会从保温筒的筒口挥发，保证筒内处于恒定合适的温度，加速热量的传导，提高晶体的融化速度。
附图说明
[0011]图1为本技术的整体结构；
[0012]图2为本技术的坩埚支撑组件结构装配图；
[0013]图3为本技术的坩埚加热组件结构俯视图。
[0014]图中：1、炉体；2、导流筒；3、保温筒；31、L型环板；4、石墨坩埚；41、弧槽；5、石英坩埚；6、坩埚支撑组件；61、坩埚托盘；611、弧块；612、插槽；62、托盘撑杆；7、坩埚加热组件；71、石墨发热主板；711、柱孔；72、石墨发热次板；73、石墨电极柱。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1
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3，一种新型结构的石墨坩埚，包括炉体1，炉体1的炉口处安装导流筒2，炉体1的炉腔内安装保温筒3，该保温筒3内设置石墨坩埚4、石英坩埚5、坩埚支撑组件6和坩埚加热组件7；石墨坩埚4嵌合安装于保温筒3的筒口处，石英坩埚5叠放于石墨坩埚4内；坩埚支撑组件6设置于石墨坩埚4底部，且坩埚支撑组件6包括坩埚托盘61和托盘撑杆62；坩埚加热组件7设置于坩埚支撑组件6的底部，且坩埚加热组件7包括石墨发热主板71、石墨发热次板72和石墨电极柱73。
[0017]坩埚托盘61的中部设置弧块611，该弧块611与石墨坩埚4底部设置的弧槽41对应匹配，弧块611可嵌入弧槽41内，并使坩埚托盘61的表面与石墨坩埚4底面紧密贴合；通过该装配方式，使得石墨坩埚4可稳定的放置在坩埚托盘61上，不会在盛装晶体时坩埚从托盘上滑落；坩埚托盘61的底部设置插槽612，该插槽612与托盘撑杆62的一端对应匹配，托盘撑杆62的一端插装于插槽612内，托盘撑杆62的另一端贯穿保温筒3与炉体1的底壁，并延伸至出炉体1外。
[0018]石墨发热主板71设置于坩埚托盘61的底部两端，并且石墨发热主板71的一端还设置柱孔711，石墨发热次板72均匀排列于石墨发热主板71的两侧，因石墨发热主板71与相邻石墨发热次板72的一端连接，石墨发热次板72之间相互连接，故石墨发热主板71与石墨发热次板72呈同心圆结构，使得板体发热传导至石墨坩埚4上的热量均匀，提高晶体生长的质量，石墨电极柱73设置于石墨发热主板71的底部，石墨电极柱73的一端插装于柱孔711内，石墨电极柱73的另一端贯穿保温筒3与炉体1的底壁，并延伸至出炉体1外。
[0019]保温筒3的筒口处还设置L型环板31，该L型环板31的一端与保温筒3的筒口侧壁连接，L型环板31的另一端贴附于石墨坩埚4的外表面；通过在L型环板31将石墨发热主板71与石墨发热次板72所散发的热量封闭在保温筒3内，使筒内处于恒定合适的温度，以此加速热
量的传导，提高晶体的融化速度。
[0020]本新型结构的石墨坩埚，通过将坩埚加热组件7设置于石墨坩埚4的底部，且石墨发热主板71与石墨发热次板72呈同心圆结构，使得板体发热传导至石墨坩埚4上的热量均匀，提高晶体生长的质量；通过在保温筒3的筒口处设置L型环板31，使得石墨发热主板71与石墨发热次板72所散发的热量不会从保温筒3的筒口挥发，保证筒内处于恒定合适的温度，加速热量的传导，提高晶体的融化速度。
[0021]综上所述：本新型结构的石墨坩埚，将热场设置于石墨坩埚4底部，并配合保温筒3的保温作用，从而使石墨发热主板71与石墨发热次板72产生的热量均匀高效的传导至石墨坩埚4内，以加速晶体的融化、提高晶体生长的质量，因而有效解决现有技术问题。
[0022]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型结构的石墨坩埚，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的炉口处安装导流筒(2)，炉体(1)的炉腔内安装保温筒(3)，所述保温筒(3)内设置石墨坩埚(4)、石英坩埚(5)、坩埚支撑组件(6)和坩埚加热组件(7)；所述石墨坩埚(4)嵌合安装于保温筒(3)的筒口处，所述石英坩埚(5)叠放于石墨坩埚(4)内，所述坩埚支撑组件(6)设置于石墨坩埚(4)底部，坩埚支撑组件(6)包括坩埚托盘(61)和托盘撑杆(62)，所述坩埚加热组件(7)设置于坩埚支撑组件(6)的底部，坩埚加热组件(7)包括石墨发热主板(71)、石墨发热次板(72)和石墨电极柱(73)。2.根据权利要求1所述的一种新型结构的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚托盘(61)的中部设置弧块(611)，弧块(611)与石墨坩埚(4)底部设置的弧槽(41)对应匹配，所述弧块(611)嵌入弧槽(41)内，并使坩埚托盘(61)的表面与石墨坩埚(4)底面紧密贴合；所述坩埚托盘(61)的底部设置插槽(612)，插槽(612)与托盘撑杆(62...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴帅波，韩春霞，
申请(专利权)人：河北烁光晶体有限公司，
类型：新型
国别省市：