双倍率观察镜头制造技术

本实用新型专利技术公开了双倍率观察镜头，包括透反镜座一、透反镜座二、大倍率镜头和小倍率镜头，大倍率镜头的顶部设置相机接口一，小倍率镜头的顶部设置相机接口二，大倍率镜头下部一侧面连接透反镜座一，大倍率镜头和小倍率镜头的底部之间连接透反镜座二，大倍率镜头的下方位于透反镜座二的底部连接物镜接口，透反镜座一内安装有反射镜一和透反镜片一，透反镜座二内安装有反射镜二和透反镜片二。本实用新型专利技术的观察镜头能对半导体芯片进行检测，有大倍率镜头和小倍率镜头，镜头是双倍率的，可以同时看整颗芯片的外形，又可以局部放大进行细节缺陷的检测，提高了检测精度。提高了检测精度。提高了检测精度。

【技术实现步骤摘要】
双倍率观察镜头


[0001]本技术涉及一种观察镜头，具体涉及一种双倍率观察镜头。

技术介绍

[0002]金相显微镜系统是将传统的光学显微镜与计算机通过光电转换有机的结合在一起，不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机显示屏幕上观察实时动态图像。
[0003]但在半导体芯片检测行业中，需要看到整颗芯片的外形，一般的镜头倍率不够，无法很清晰的局部放大，不能很好的进行细节缺陷检测。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种双倍率观察镜头。
[0005]本技术提供如下技术方案：
[0006]双倍率观察镜头，包括透反镜座一、透反镜座二、大倍率镜头和小倍率镜头，所述大倍率镜头的顶部设置相机接口一，所述小倍率镜头的顶部设置相机接口二，所述大倍率镜头下部一侧面连接透反镜座一，所述大倍率镜头和小倍率镜头的底部之间连接透反镜座二，所述大倍率镜头的下方位于透反镜座二的底部连接物镜接口，所述透反镜座一内安装有反射镜一和透反镜片一，所述透反镜座二内安装有反射镜二和透反镜片二。
[0007]进一步的，所述反射镜一和透反镜片一倾斜设置，所述反射镜一和透反镜片一相互平行。
[0008]进一步的，所述反射镜二和透反镜片二倾斜设置，所述反射镜二和透反镜片二相互平行。
[0009]进一步的，所述反射镜一处上方为光源。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术的观察镜头能对半导体芯片进行检测，有大倍率镜头和小倍率镜头，镜头是双倍率的，可以同时看整颗芯片的外形，又可以局部放大进行细节缺陷的检测，提高了检测精度。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]图2为图1的侧视图。
[0013]图中：1、光源；2、反射镜一；3；透反镜片一；4、透反镜座一；5、物镜接口；6、透反镜片二；7、大倍率镜头；8、相机接口一；9、透反镜座二；10、反射镜二；11、小倍率镜头；12、相机接口二。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
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2，本技术的双倍率观察镜头，包括透反镜座一4、透反镜座二9、大倍率镜头7和小倍率镜头11，大倍率镜头7的顶部设置相机接口一8，小倍率镜头11的顶部设置相机接口二12，大倍率镜头7下部一侧面连接透反镜座一4，大倍率镜头7和小倍率镜头11的底部之间连接透反镜座二9，大倍率镜头7的下方位于透反镜座二9的底部连接物镜接口5，透反镜座一4内安装有反射镜一2和透反镜片一3，透反镜座二9内安装有反射镜二10和透反镜片二6。
[0016]反射镜一2和透反镜片一3倾斜设置，反射镜一2和透反镜片一3相互平行。
[0017]反射镜二10和透反镜片二6倾斜设置，反射镜二10和透反镜片二6相互平行。
[0018]反射镜一2处上方为光源1。
[0019]光源1点亮，光线通过反射镜一2反射到透反镜片一3，再经过透反镜片一3反射，进入物镜接口5接的物镜，然后照射到被观察物体表面；照射到观察物表面的光线部分返回到物镜接口5接的物镜里面，这些光线经过透反镜片二6一分为二，其中一半透过透反镜片二6，经过大倍率镜头7，在相机接口一8接的相机里面成像；另外一半经过透反镜片二6反射到反射镜二10上，再经过反射镜二10反射进入小倍率镜头11，在相机接口二12接的相机里面成像。
[0020]这种观察镜头能对半导体芯片进行检测，有大倍率镜头7和小倍率镜头11，镜头是双倍率的，可以同时看整颗芯片的外形，又可以局部放大进行细节缺陷的检测，提高了检测精度。
[0021]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双倍率观察镜头，其特征在于：包括透反镜座一(4)、透反镜座二(9)、大倍率镜头(7)和小倍率镜头(11)，所述大倍率镜头(7)的顶部设置相机接口一(8)，所述小倍率镜头(11)的顶部设置相机接口二(12)，所述大倍率镜头(7)下部一侧面连接透反镜座一(4)，所述大倍率镜头(7)和小倍率镜头(11)的底部之间连接透反镜座二(9)，所述大倍率镜头(7)的下方位于透反镜座二(9)的底部连接物镜接口(5)，所述透反镜座一(4)内安装有反射镜一(2)和透反镜片一(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁旭剑，
申请(专利权)人：南京维埃迪光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：