【技术实现步骤摘要】
显微镜清洁度检测用滤膜负压吸平结构
[0001]本技术涉及显微镜滤膜固定
，尤其是涉及一种显微镜清洁度检测用滤膜负压吸平结构
。
技术介绍
[0002]清洁度是指零件
、
总成和整机特定部位被杂质污染的程度
。
清洁度的测定方法很多，主要包括：目视检查法
、
接触角法
、
荧光发光法
、
重量法
、
颗粒尺寸数量法等
。
其中，颗粒尺寸数量法是一种清洁度测试的新方法，其基本原理是根据被检测的表面与污染物颗粒具有不同的光吸收或散射率其杂质收集方法与重量法相同，待滤膜干燥后，使用显微镜在光照射下检测，按颗粒尺寸和数量统计污物颗粒，即可得到所测物体零件的固体颗粒污染物结果
。
[0003]然而，显微镜清洁度扫描滤膜时，由于滤膜变形
(
一般是烘干后不规则翘曲
)
导致变形量超出显微镜物镜的景深，显微镜成像不清晰，从而大大影响显微镜图像中的颗粒的计数和尺寸信息统
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种显微镜清洁度检测用滤膜负压吸平结构，其特征在于，包括安装座
、
滤膜
、
压圈
、
透气芯
、
密封板和负压接头；所述安装座上设有安装孔，所述透气芯设于所述安装孔内，所述透气芯具有若干个均匀透气孔，所述滤膜平铺在所述透气芯上，所述压圈抵靠在安装座上并压住所述滤膜的周向边沿；所述密封板可拆卸设于所述透气芯下方并与所述透气芯间隔开以形成负压腔，所述负压接头设于所述安装座上，所述安装座内设有负压孔，所述负压接头通过所述负压孔与所述负压腔连通
。2.
根据权利要求1所述的显微镜清洁度检测用滤膜负压吸平结构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑诚，
申请(专利权)人：南京维埃迪光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。