带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板制造技术

本发明专利技术公开了水冷板技术领域的带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板之间设有循环水道，所述循环水道的进水口连通有进水管，所述进水管位于底板的顶端左侧，所述循环水道的出水口连通有回水管，所述回水管位于底板的底端右侧，且进水管上连接有流量阀，所述盖板的前端面设有温度传感器，且温度传感器电性连接流量阀，所述底板的左侧外壁可拆卸连接有连接罩，且连接罩内设置有散热风扇，所述散热风扇的出风口正对循环水道的一侧，且底板的右侧外壁开设有若干组散热孔，本发明专利技术通过循环水道和通入的冷气可加速水冷板的散热，冷却效率高，且散热风扇加速了空气的流动，水冷配合风冷的冷却效率更高，使用效果好。使用效果好。

【技术实现步骤摘要】
带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板


[0001]本专利技术涉及水冷板
，具体为带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板。

技术介绍

[0002]在液晶半导体成膜过程中，靶体受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶体损坏，于是需要通过冷却背板，对靶体持续进行冷却，但是目前的水冷板内部结构简单，大多都是通过单一的水循环管道进行冷却，冷却效率低，进水侧与回水侧温差大，整板温度均匀性差，且现有的水冷板仅通过自然的空气流动带走水冷板上的热量，这样的风冷方式散热效率非常低，使用效果差，为此，我们提出带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的水冷板冷却效率低的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板之间设有循环水道，所述循环水道的进水口连通有进水管，所述进水管位于底板的顶端左侧，所述循环水道的出水口连通有回水管，所述回本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板(1)和盖板(2)，其特征在于：所述底板(1)和盖板(2)之间设有循环水道(10)，所述循环水道(10)的进水口连通有进水管(4)，所述进水管(4)位于底板(1)的顶端左侧，所述循环水道(10)的出水口连通有回水管(9)，所述回水管(9)位于底板(1)的底端右侧，且进水管(4)上连接有流量阀(3)，所述盖板(2)的前端面设有温度传感器(14)，且温度传感器(14)电性连接流量阀(3)，所述底板(1)的左侧外壁可拆卸连接有连接罩(12)，且连接罩(12)内设置有散热风扇(22)，所述散热风扇(22)的出风口正对循环水道(10)的一侧，且底板(1)的右侧外壁开设有若干组散热孔(7)。2.根据权利要求1所述的带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，其特征在于：相邻所述循环水道(10)之间设置有进气管(6)，且进气管(6)竖直插接在底板(1)和盖板(2)之间，所述进气管(6)的顶端连通有通气管(5)，所述通气管(5)位于底板(1)的顶端，且进气管(6)的管壁上开设有若干组开孔(8)，所述开孔(8)正对循环水道(10)，所述盖板(2)的前端面开设有若干组气孔(15)。3.根据权利要求1所述的带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，其特征在于：所述进水管(4)与循环水道(10)的连接处设有连接管道(16)，且连接管道(16)通过法兰(19)连接进水管(4)和循环水道(10)，所述连接管道(16)截面呈圆形，且连接管道(16)的内壁固定连接有限位环(18)，所述限位环(18)呈圆形，且限位环(18)的顶端活动连接有过滤网(17)。4.根据权利要求1所述的带有循环水道的液晶半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本光裕，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：