一种压电执行器制造技术

本发明专利技术提供一种压电执行器，包括：金属基片，所述金属基片上设有陶瓷片，所述陶瓷片上设有第一铜电极；所述陶瓷片通过匹配层与所述金属基片连接，所述陶瓷片与所述匹配层之间设有第二铜电极，所述第二铜电极与所述金属基片连通；所述第一铜电极设于所述陶瓷片上表面，所述第一铜电极的面积小于所述陶瓷片的面积，设有留边部。本发明专利技术压电执行器采用铜电极，在高温高压大功率的条件下驱动，也不会发生离子的迁移，不会影响产品的性能，从而提高产品的可靠性和保证产品的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种压电执行器
本专利技术涉及压电执行器
，尤其指一种可在大功率高电压驱动下实现触觉反馈的压电执行器。
技术介绍
传统的压电执行器其驱动电压比较低(100～500v/mm),通常采用单方向加压方式进行驱动，按照常规的方式采用银或者银钯电极可以满足产品的使用及可靠性要求。但随着压电执行器微型化的发展，压电执行器的驱动场强需要提高到1000～3000v/mm,在这种情况下，由于银或者银钯电极从机理上存在者迁移的现象(如图1)。为了进一步提升器件的使用效果，常常会使用偏置的方式给压电器件进行驱动(比如说正向300v,反向100v)，而这种使用会加剧离子的迁移。压电执行器在高电压下工作一段时间后，由于离子迁移导致，正负电极距离变小，产品耐压下降，产品出现打火或者短路，产品的寿命及可靠性不能得到有效保证。针对该压电执行器可靠性的解决，市面上常用的方式包括：提升陶瓷致密度、改善压电器件的密封性、增加压电器件正负极距离，上述的方式只能延缓迁移发生的速度，不能从根本上解决器件寿命及可靠性问题。压电执行器的应变与驱动电压从原理上表现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电执行器，其特征在于，包括：/n金属基片，所述金属基片上设有陶瓷片，所述陶瓷片上设有第一铜电极；/n所述陶瓷片通过匹配层与所述金属基片连接，所述陶瓷片与所述匹配层之间设有第二铜电极，所述第二铜电极与所述金属基片连通；/n所述第一铜电极设于所述陶瓷片上表面，所述陶瓷片上表面设有留边部和所述第一铜电极；/n所述第一铜电极的面积小于所述陶瓷片的面积。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电执行器，其特征在于，包括：
金属基片，所述金属基片上设有陶瓷片，所述陶瓷片上设有第一铜电极；
所述陶瓷片通过匹配层与所述金属基片连接，所述陶瓷片与所述匹配层之间设有第二铜电极，所述第二铜电极与所述金属基片连通；
所述第一铜电极设于所述陶瓷片上表面，所述陶瓷片上表面设有留边部和所述第一铜电极；
所述第一铜电极的面积小于所述陶瓷片的面积。


2.如权利要求1所述的压电执行器，其特征在于：所述第一铜电极和所述第二铜电极通过烧渗的方式将所述铜电极附于所述陶瓷片上。


3.如权利要求1所述的压电执行器，其特征在于：所述第一铜电极和所述第二铜电极采用厚膜结构，所述铜电极的厚度为7～13微米。


4.如权利要求1所述的压电执行器，其特征在于：所述第一铜电极和所述第二铜电极是由铜浆料形成，所述铜浆料由粒径0.1～5.0um的铜粉及微量氧化物或者玻璃组成。


5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱兆焱，秦小勇，石璐绿，张喆斯，田佳琦，石鹏，
申请(专利权)人：广东奥迪威传感科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44