【技术实现步骤摘要】
具有PMNPT层的压电装置的制造
本专利技术涉及压电装置的制造，更特定地说，涉及包括PMNPT作为压电层的压电装置。
技术介绍
压电材料已经在例如喷墨印刷、医学超声和陀螺仪的各种技术中使用了几十年。传统上，压电层是通过制造块状晶体形式的压电材料，然后将该材料加工成所需厚度，或通过使用溶胶-凝胶技术来沉积层而制成的。锆钛酸铅(PZT)，通常为Pb[ZrxTi1-x]O3的形式，是常用的压电材料。已经提出了PZT的溅射。最近，弛豫-钛酸铅(弛豫-PT)材料，诸如铌镁酸铅-钛酸铅(PMNPT)，通常是(1-x)[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]-x[PbTiO3]；以及铌钇酸铅-钛酸铅(PYN-PT)，诸如(1-X)[Pb(Y1/3Nb2/3)O3]-X[PbTiO3]；铌锆酸铅-钛酸铅(PZN-PT)，诸如(1-X)[Pb(Zr1/3Nb2/3)O3]-X[PbTiO3]；和铌铟酸铅-钛酸铅(PIN-PT)，诸如(1-X)[Pb(In1/3Nb2/3)O3]-X[PbTiO3]已被提出用作压电材料。与更常用的PZT材料...
【技术保护点】
1.一种压电装置，包括：/n基板；/n位于晶片上的热氧化物层；/n位于所述热氧化物层上的金属或金属氧化物粘附层；/n位于所述金属氧化物粘附层上的下部电极；/n位于所述下部电极上的种晶层；/n位于所述种晶层上的铌镁酸铅-钛酸铅(PMNPT)压电层；和/n位于所述PMNPT压电层上的上部电极。/n
【技术特征摘要】
1.一种压电装置，包括：
基板；
位于晶片上的热氧化物层；
位于所述热氧化物层上的金属或金属氧化物粘附层；
位于所述金属氧化物粘附层上的下部电极；
位于所述下部电极上的种晶层；
位于所述种晶层上的铌镁酸铅-钛酸铅(PMNPT)压电层；和
位于所述PMNPT压电层上的上部电极。
2.如权利要求1所述的装置，其中所述晶片包括硅基板，并且所述热氧化物是氧化硅。
3.如权利要求2所述的装置，其中所述金属或金属氧化物粘附层包括钛、镍、铬中的一种或多种。
4.如权利要求3所述的装置，其中所述金属或金属氧化物粘附层由氧化钛构成。
5.如权利要求3所述的装置，其中所述金属或金属氧化物粘附层由金属铬、镍或其合金构成。
6.如权利要求3所述的装置，其中所述金属氧化物粘附层包括氧化铌或氧化钛。
7.如权利要求1所述的装置，其中所述下部电极由铂构成。
8.如权利要求1所述的装置，其中所述PMNPT材料由(1-x)[Pb(Mg(1-y)Nby)O3]-x[PbTiO3]构成，其中x为约0.2至0.8，并且y为约0.8至0.2。
9.如权利要求1所述的装置，其中所述PMNPT压电层具有<001>晶体学取向。
10.如权利要求1所述的装置，其中所述上部电极具有与所述铂下部电极相同的组成。
11.一种制造压电装置的方法，包括：
在基板的热层上形成粘附层；
在所述粘附层上沉积下部电极；
在所述下部电极上形成种晶层；
通过物理气相沉积在所述种晶层上沉积铌镁酸铅-钛酸铅(PMNPT)压电层；和
在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔，维杰·班·夏尔马，薛元，乌代·派，巴拉特瓦·罗摩克里希南，安库·卡达姆，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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