压电器件及压电器件的制造方法技术

改善压电器件的光学特性与压电特性的至少一者。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极与第2电极之间所配置的至少1层压电体层，上述压电体层将纤锌矿型的结晶材料作为主成分，并添加有通过形成氧化物而具有透明性的元素1种以上，雾度值为3.0％以下，相对于波长380nm的光的透射率为50％以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电器件及压电器件的制造方法
本专利技术涉及压电器件及其制造方法。
技术介绍
一直以来，使用了利用物质的压电效应的压电元件。压电效应是指通过对物质施加压力，从而获得与压力成比例的极化的现象。利用压电效应，制作出压力传感器、加速度传感器、检测弹性波的AE(声发射)传感器等各种传感器。近年来，作为智能电话等电子设备的输入界面，使用触摸面板，压电元件在触摸面板中的应用也多。触摸面板与电子设备的显示装置一体地构成，为了提高可见性，要求对于可见光的高透明性。另一方面，为了准确地检测手指的操作，期望压电体层具备高压力响应性。已知将包含添加有镁(Mg)、钙(Ca)等碱土金属的纤锌矿型晶体结构的化合物的化学溶液利用溶胶凝胶法进行涂布并烧成的压电体的烧结膜(例如，参照专利文献1)。此外，已知在由气相传输法形成的取向性ZnO膜上，涂布将MgO与清漆进行了混炼的糊料，通过热扩散，使Mg扩散至取向性的ZnO膜的方法(例如，参照专利文献2)。在该方法中，以MgO相对于取向性ZnO的比例以重量比率计成为0.05～2.0wt％的方式涂布糊料。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电器件，其特征在于，具有：/n第1电极层、/n第2电极层、以及/n所述第1电极层与所述第2电极层之间所配置的至少1层压电体层，/n所述压电体层将纤锌矿型的结晶材料作为主成分，并添加有1种以上通过形成氧化物而具有透明性的元素，/n雾度值为3.0％以下，相对于波长380nm的光的透射率为50％以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180928 JP 2018-185550;20190327 JP 2019-0616301.一种压电器件，其特征在于，具有：
第1电极层、
第2电极层、以及
所述第1电极层与所述第2电极层之间所配置的至少1层压电体层，
所述压电体层将纤锌矿型的结晶材料作为主成分，并添加有1种以上通过形成氧化物而具有透明性的元素，
雾度值为3.0％以下，相对于波长380nm的光的透射率为50％以上。


2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，
所述压电体层在具有纤锌矿型晶体结构的主成分中，包含选自Mg、Si、Ca、Ti、Zr、Sr、V、Li或它们的混合物中的副成分。


3.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，
所述压电体层将ZnO作为主成分，作为所述元素添加Mg，Mg的添加量相对于Zn和Mg的总量为5原子％～30原子％。


4.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，
所述压电体层将ZnO作为主成分，作为所述元素添加Si，
Si的添加量相对于Zn和Si的总量为3原子％～10原子％。


5.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，
所述压电体层层叠有将ZnO作为主成分的2层以上的压电体层，
在基板的第1表面侧所形成的第1压电膜中添加有Si。


6.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，
所述压电体层为将ZnO作为主成分的第1压电膜和第2压电膜相对于基板的第1表面依次层叠而成，
向所述第1压电膜中添加Si，Si的添加量相对于Zn和Si的总量为3原子％～10原子％，
向所述第2压电膜中添加Mg，Mg的添加量相对于Zn和Mg的总量为5原子％～30原子％。


7.根据权利要求6所述的压电器件，其特征在于，
所述第1压电膜的厚度为20～100nm。


8.根据权利要求6所述的压电器件，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村大辅，永冈直树，黑濑爱美，待永广宣，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP