355nm F-theta紫外场镜光路构造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置中。本发明专利技术通过合理的光路构型，在有效保证入射光束直径的情况下，实现了大视场、高质量扫描。

【技术实现步骤摘要】
355nmF-theta紫外场镜光路构造装置
本专利技术涉及激光打标、刻蚀等激光加工领域，具体地，涉及一种355nmF-theta紫外场镜光路构造装置。
技术介绍
355nm紫外激光由于热效应小，在硅晶圆片、薄片陶瓷，以及纺织品、聚合物薄膜等一些特殊材料打标、刻蚀领域展现出很大优势，紫外场镜的设计受到光学材料透过效率影响较大，大光束直径、大扫描视场、低F-theta畸变场镜是此领域的难点。现有F-theta紫外场镜光路多采用(-+++)四片透镜部件构型。经检索，专利文献CN101236291A和专利文献CN105527706A各自公开了代表的光路构型，其光束入射方向第一透镜部件多采用双凹透镜部件，第四透镜部件为双凸或平凸透镜部件，该光路构型光束经过第一透镜部件后发散角较大，第四透镜部件焦距较短，不利于实现场曲和像差控制。专利文献CN207181801U公开了一种(-++)三片透镜部件构型，光束入射方向第一透镜部件为凸凹透镜部件的355nm紫外场镜，但是由于仅使用三片透镜部件，其像差较大，因此采用平板保护玻璃进行进一步像差修正，该构型像差本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；/n所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；/n所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；/n所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；/n所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；/n所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nm F-theta紫外场镜光路构造装置中。/n

【技术特征摘要】
1.一种355nmF-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；
所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；
所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；
所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；
所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；
所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nmF-theta紫外场镜光路构造装置中。


2.根据权利要求1所述的355nmF-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，还包括：聚焦平面；
所述聚焦平面设置于第四透镜部件的后方。


3.根据权利要求1所述的355nmF-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第一透镜部件的焦距f1与扫描场镜焦距f的比值f1/f的取值如下：
-0.41≤f1/f≤-0.28。


4.根据权利要求3所述的355nmF-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第一材料折射率Nd1的取值如下：
1.45≤Nd1≤1.51。


5.根据权利要求4所述的355nmF-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第一阿贝尔系数Vd1的取值如下：

【专利技术属性】
技术研发人员：谷朝臣，王臻，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海;31