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本发明提供了一种355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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